Термопарный датчик СВЧ-мощности Советский патент 1990 года по МПК G01R21/00 

Описание патента на изобретение SU1589219A1

Фu,f

Изобретение относится к измерительной технике сперхвь соких частот (СВЧ) и может быть использовано в качестве датчика мощности СВЧ и измерителях малых уровней мощности, в частности среднего во времени значения непрерывной и модулированной мощности СВЧ, однако оно может быть также использовано и в измерителях импульсной (пиковой) мощности.

Цель изобретения - повышение чувствительности датчика.

На фиг.1 представлена конструкция термопарного датчика СВЧ-мощности; на фиг. 2 - линии напряженности эл€;к- трического поля вблизи горячего спая

Термопарный датчик СВЧ-мощности содержит полуметаллический элемент 1 выполненный в виде полуметаллической пленки, диэлектрическую подложку 2, металлическое основание 3 и металлический зонд 4.

Термопарный датчик СВЧ-мощности работает следующим образом.

Один из контактов (малой площади) разогревается протекающим током и служит горячим спаем термопары, в то время как второй контакт (большой площади) практически не разогревается и его температура остается равной температуре окружающей среды.

При выполнении горячего спая термопары в виде контакта тонкой полуметаллической пленки и погруженного в нее заостренного металлического зонда тепловыделение при поглощении СВЧ- мощности происходит в основном в непосредственной близости от контакта малой площади.

Это позволяет увеличить чувствительность датчика за счет уменьще- ния объема полуметаллического элемента, разогреваемого поглощаемой СВЧ- мощностью.

Тонкая полуметаллическая пленка 1 имеет толщину d и нанесена на диэлектрическую подложку 2, находящуюся в углублении металлического основания 3. Полуметаллическая пленка 1 контактирует с металлическим основанием 3 по окружности радиусом R, образуя в месте контакта холодный спай термопары. Эта же полуметаллическая пленка 1 контактирует с заостренным металлическим зондом 4 с малым радиусом закругления, который погружается в нее, прокалывая ее до диэлектрической подложки 2. Из-за большого дав0

5

0

5

0

5

ления в месте соприкосновения зонда 4 с диэлектрической подложкой 2 он деформируется, так что геометрия контакта полуметаллической пленки 1 с заостренным металлическим зондом 4 получается такой, какая показана на фиг.2. Полуметаллическая пленка 1 контактирует с заостренным металлическим зондом 4 по окружности малого радиуса г, образуя в месте этого контакта горячий спай термопары.

Условия для протекания тока через контакт малой площади (горячий спай) практически не зависят от глубины погружения зонда в пленку. В любом случае линии тока радиально расходятся от контакта малой площади к контакту большой площади параллельно поверхностям пленки. Не изменяются также условия для теплоотвода от контакта малой площади при полном и неполном погружениях зонда в полуметаллическую пленку, тепловьщеление протекания тока осуществляется в небольшой окрестности полуметаллической пленки,, теплоотвод в любом случае осуществляется в основном в диэлектрическую подложку. Однако для увеличения устойчивости датчика к механическим воздействиям необходимо, чтобы металлический зонд механически контактировал с диэлектрической подложкой. При этом положение зонда фиксируется, т.е. возможность его перемещения параллельно поверхности пленки значительно уменьшается. Сопротивление термопарного датчика СВЧ-мощности составляет

0

5

0

5

R

Ro-.

iVi

-3

При р 10 Ом-см, R о Гк 3 мм, d 0,3 мкм получается R 12,20 м.

В общем случае сопротивление составляет 10-20 Ом, поэтому при исполь- зовании Н- и особенно П-волноводов он полностью согласуется с СВЧ-трактом, отбирает из тракта всю мощность СВЧ и является датчиком поглощающего типа. 1 .

Не сложно получить полуметаллические пленки с еще меньшей толщиной (d 0,1 мкм), что позволяет получить датчики с еще большей чувствительностью и с большим сопротивлением при сохранении инерционности.

Формула изобретения

Термопарный датчик СВЧ-мощности, содержащий полуметаллический элемент, горячий спай которого выполнен в виде точечного контакта, образованного погружением острия металлического зонда в полуметаллический элемент, а холодный спай образован полуметаллическим

элементом, размещенным на металлическом ос новании, отличающий- с я тем, что, с целью повьппения чувствительности, введена диэлектрическая подложка, размещенная в углублении, вьтолненном в торце металлического основания, полуметаллический элемент вьтолнен в виде пленки и расположен на диэлектрической подложке

Похожие патенты SU1589219A1

название год авторы номер документа
ТЕРМОПАРНЫИ ИНДИКАТОР СВЧ-ИЗЛУЧЕНИЯ 1972
SU336617A1
Термопарный датчик СВЧ-мощности 1989
  • Фурлендер Борис Аврумович
  • Балешенко Сергей Павлович
  • Кутин Петр Федорович
SU1758571A1
ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 1998
  • Косарев А.В.
RU2131156C1
Необремененный вибровискозиметрический датчик 2017
  • Соломин Борис Александрович
  • Конторович Михаил Леонидович
  • Черторийский Алексей Аркадьевич
  • Низаметдинов Азат Маратович
RU2662948C1
ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ 1970
SU272610A1
Многоэлементный термопреобразователь 1987
  • Кромонов Леонтий Ильич
SU1444623A1
ОПТИМИЗИРОВАННЫЙ ТЕРМОПАРНЫЙ СЕНСОР 2017
  • Федирко Валерий Алексеевич
  • Хафизов Ренат Закирович
RU2681224C1
Измеритель электромагнитного поля 1987
  • Климов Александр Юрьевич
  • Нелюбин Александр Сергеевич
  • Пронин Владимир Алексеевич
  • Тарасов Михаил Васильевич
  • Хилов Владимир Павлович
SU1732294A1
ВИБРОВИСКОЗИМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК 2013
  • Соломин Борис Александрович
  • Конторович Михаил Леонидович
  • Черторийский Алексей Аркадьевич
  • Низаметдинов Азат Маратович
RU2574862C2
ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО ПОТОКА 2003
  • Величко А.А.
  • Илюшин В.А.
  • Филимонова Н.И.
RU2242728C2

Иллюстрации к изобретению SU 1 589 219 A1

Реферат патента 1990 года Термопарный датчик СВЧ-мощности

Изобретение относится к измерительной технике сверхвысоких частот. Цель изобретения - повышение чувствительности. Термопарный датчик СВЧ-мощности содержит полуметаллический элемент 1, выполненный в виде пленки, размещенный на диэлектрической подложке 2, металлическое основание 3, металлический зонд 4. 2 ил.

Формула изобретения SU 1 589 219 A1

;

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1990 года SU1589219A1

ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ 0
SU272610A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Авторское свидетельство СССР № 3366617, кл
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 589 219 A1

Авторы

Светличный Вячеслав Михайлович

Плаксий Владимир Тихонович

Баркова Ирина Ивановна

Даты

1990-08-30Публикация

1988-07-27Подача