Способ контроля геометрических параметров элементов изделий с периодической структурой Советский патент 1990 года по МПК G01B9/00 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производства волоконно-оптических изделий.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов вoлoкoн; o-oпти- ческих изделий.

На фиг. 1 показана форма выполнения светопоглощающего покрытия; на фиг. 2 - блок-схема устройства, реализующего способ контроля геометрических параметров элементов.

Способ реализуется изготавливанием контрольной микроканальной пластины (МКП) , содержа1цей тест-объект, и последующим использованием установки для автоматизации процесса измерения .

Для изготовления контрольной МКП,, содержащей тест-объект, на ее рабочую поверхность наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, вь:полненной в ви.пе перекрестия (фиг. 1 ) , 1 ирина полос перекрытия установлена в пределах размеров от одного до трех элементов.

О5

о ел

(«м

со

СО

в качестве тест-объекта выбирают микроэлемент 1 , расположенный в центре перекрестия. Для нанесения покрытия на рабочей поверхности контрольной МКП укрепляют трафарет - две пересекающиеся под углом, близким или равным 90, проволоки j А. 0,03 мм, проводят напыление, например, углерода при остаточном давлении не выше 4-10 ГПа, убирают трафарет.

На поверхности МКП останутся две пересекающиеся полосы без покрытия. С помощью микроскопа необходимо выбрать один канал, находящийся в центре перекрытия полос, и определить его контрольные параметры с учетом всех погрешностей. Нижний предел ширины полос, свободных от поглощающего покрытия, объясняется необходимостью иметь в центре перекрестия не менее одного полного контролируемого микроэлемента при случайном расположении теневого трафарета, если микроэлементом считать отдельную структурную единицу: либо канал (сердцевину) либо перемычку (оболочку) . Верхний предел - не более двух полных микроэлементов, чтобы нахождение тест-объекта не вызывало затруднений (фиг. 1).

Установка для автоматизации процесса измерений (фиг. 2) содержит микроскоп 2, телевизионную камеру 3, измеритель 4, видеоконтрольное устройство 5, пульт 6 управления, управляющее вычислительное 7 и цифропеча- тающее 8 устройства.

Перед началом измерений оператор устанавливает на пре дметный столик микроскопа 2 контрольную МКП, содержащую тест-объект 1. По двум пересекающимся полосам, свободным от поглощающего покрытия, оператор находит его по видеоконтрольному устройству 5, измеряет с помощью измерителя k

контролируемый параметр, вводит в память управляющего вычислительного устройства 7, документально фиксирует на цифропечатающем устройстве 8,

убиргет контрольную МКП, устанавливает на пр€;дметный другую (текущую) МКП и производит контроль необходимого количества каналов

(перемычек) путем сравнения их параметров с параметром, находящимся в памяти установки (устройство 7). У равляющее вычислительное устройство 7 будет давать величину отклонения

от парг .метра тест-объекта.

Выполнение тест-объекта в виде эталонного микроэлемента, находящегося в центре контрастного перекрестия, позволяет применить автоматизированный способ контроля геометрических параметров путем сравнения с параметрг;ми тест-объекта для микроэлементов волоконно-оптических изделий, что рс- сширяет технологические

возможности данного способа.

Формула изобретения

Способ контроля геометрических параметров элементов изделий с периодической структурой, заключающийся в сравнении измеряемого параметра с эталонным параметром тест-объекта, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий, на рабочую поверхность контрольного изделия наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, выполненной в виде перекрестия с шириной полос в пределах размеров от одного до трех микроэлементов, и в качестве тест-объекта выбирают микроэлемент, расположенный

в центре перекрестия.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии производства волоконно-оптических изделий. Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа путем обеспечения возможности контроля микроэлементов волоконно-оптических изделий. Способ заключается в изготовлении контрольной микроканальной пластины (МКП), содержащей тест-объект, и использовании установки для автоматизации процесса измерения. Для изготовления контрольной МКП на ее рабочую поверхность наносят поглощающее покрытие в форме секторов с границей между секторами, выполненной в виде перекрестия. Ширина полос перекрестия установлена в пределах размеров от одного до трех микроэлементов. В качестве тест-объекта выбирают микроэлемент, расположенный в центре перекрестия. Перед началом измерений устанавливают на предметный столик микроскопа контрольную МКП, содержащую тест-объект, отыскивают тест-объект в центре перекрестия, замеряют эталонные значения контролируемых параметров, вводят их в "память" устройства, заменяют контрольную МКП на контролируемую и ведут контроль параметров, сравнивая их текущие значения с эталонными. 2 ил.

./