Регулируемая контрольная течь Советский патент 1990 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к испытательной технике, конкретнее к средствам, обеспечивающим калиброванную . подачу контрольного газа при тестиро- пании систем испытаний на герметичность с использованием масс-спектро- метрических методов.

Цель изобретения расширение диапазона регулирования и повышение точности регулирования путем снижения инерционности запорного органа и уменьшения износа подвижных деталей. На фиг.1 схематично представлена контрольная течь, продольный разрез; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг.З - распределение магнитных силовых линий в зазоре.

Контрольная течь содержит корпус 1, выполненный из немагнитного материала, например Д16Т, в котором неподвижно установлен якорь 2 из стали ЭИ-618 с немагнитной (Д16Т) вставкой 3, герметично вклеенной в паз якоря 2 Вставка 3 имеет переменную по длине высоту сечения h. В кольцевом зазоре 4 между корпусом 1 и якорем 2 размещен запорный орган в виде слоя 5 маг нитореологической (ферромагнитной) жидкости, представляющей собой колло .идный раствор окиси-закиси железа в вакуумном масле на силиконовой основе, например, ДС-703, с упругостью паров порядка рт.ст. На корпсе 1 с возможностью осевого перемещения и фиксации установлен кольцевой магнит 6 с радиальной намагниченностью, например, из кобальт-цер- риевого сплава КС-37.

Устройство работает следующим образом.

В крайнем левом положении магнита 6 (показано пунктиром) магнит 6 и якорь 2 через слой 5 феррожидкости создают замкнутый магнитопровод, при этом в зазоре 4 создается симметричное магнитное поле, напряженность которого удерживает слой 5 феррожидкости от воздействия перепада давления в вакуумной магистрали и магистрали контрольного газа. Герметичность

такого соединения при ширине магнита 10 мм и зазоре 0,05 мм получена на . уровне 10 л мкм рт.ст./с. При

перемещении вправо магнит 6 увлекает за собой слой 5, в зоне .немагнитной вставки 3 в зазоре 4 поле перестает быть симметричным, магнитные силовые линии искривляются и слой 5 феррожид. кости, располагающийся вдоль силовых линий, образует капилляроподобный разрыв 7 (заштрихован на фиг.З), проводимость которого по газу определяет- величину натекания через контрольную

5 течь. При дальнейшем перемещении магнита 6 вправо за счет уменьшения магнитной массы якоря 2 в зоне вставки 3 (увеличение глубины паза) магнитные линии еще более искривляются,

0 увеличивая площадь капилляра 7 и величину натекания. Крайнее правое положение магнита 6 соответствует максимальной величине потока через контрольную течь. Контрольная течь

5 обеспечивает устойчивое регулирование потока контрольного газа от 10 до 10 Л мкм рт.ст./с. Отсутствие подвижных изнашивающихся элементов существенно повьш1ает точность созда0 ния калиброванных потоков.

Формула изобретения

Регулируемая контрольная течь, содержащая цилиндрический корпус с установленным внутри него якорем, магнит, установленный на корпусе, и запорный орган, отличающаяся тем, что, с целью расширения диапазона.регулирования и повьш1ения точности регулирования, магнит выполнен кольцевым с радиальной намагниченностью и установлен концентрично корпусу с возможностью осевого пере- мещения, корпус выполнен из немагнитного материала, якорь закреплен в корпусе и имеет немагнитную вставку с переменной в осевом направлении высотой сечения, а запорный орган выполнен в виде размещенного в кольцевом зазоре между корпусом и якорем слоем магнитореологической жидкости.

5

0

45

50

Фиг. г

Фиг.З

Изобретение относится к испытаниям на герметичность, а именно к созданию калиброванных потоков контрольного газа при тестировании испытельных систем. Целью изобретения является расширение диапазона регулирования и повышение точности регулирования калиброванных потоков путем снижения инерционности запорного органа и уменьшения износа подвижных деталей. Корпус 1 выполнен из немагнитного материала, на нем установлен кольцевой магнит 6 с радиальной намагниченностью, на неподвижно установленном якоре 2 имеется немагнитная вставка 3 с переменной по длине высотой сечения, а между корпусом 1 и якорем 2 размещен запорный орган в виде слоя 5 магнитореологической жидкости. 3 ил.