Способ измерения величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхностями Советский патент 1990 года по МПК G01B7/14 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении.

Целью изобретения является обеспеченно возможности измерения величины зазора меньще длины волны и повышение точности измерений.

Способ осуществляется следующим образом.

Пучок монохроматического поляризованного излучения направляют на поверхности, между которыми из.меряют зазор. Поляризацию освещающего пучка ориентируют под углом ±л/4 к плоскости падения. Регистрируют отражение излучения и, одновременно (Изменяя угол падения пучка и фиксируя .величину сдвига фаз между Р- S-компо-. нентами, определяют угол фо, гфи достижении которого начинает происходить изменение . сдвига фаз с изменением угла падения осве- щающего пучка.

Рассчитывают по полученным данным показатель П1 преломления диэлектрика. После этого освещают поверхность под углом ф, удовлетворяющим соотношению , :и при этом угле сопротивления величину | сдвига фаз между Р- и 5-компонентами. Затем по полученным значениям П|, ф и g по номограмме определяют величину зазора.

Формула изобретения

Способ измерения величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхностями, заключающийся в том, что освещают зазор пучком монохроматического излучения под углом к поверхности и регистрируют отраженное излучение, по параметру которого судят о величине зазора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения зазора меньше длины волны и повышения точности, освещение осуществляют пучком с плоскостью поляризации, ориентированной под углом dzii/4 к плоскости падения, при освещении поверхности одновременно изменяют угол падения пучка излучения и регистрируют сдвиг фаз между Р- и S компонентами отраженного излучения, фиксируют значение угла фо, при котором возникает изменение сдвига фаз, и фиксируют направление освещения под углом ф, удовлетворяющим соотношению , а в качестве параметра излучения, по которому судят о величине зазора, используют сдвиг фаз .между Р- и S-компонеитами.

а

ю ю

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении. Целью изобретения является обеспечение возможности измерения величины зазора меньше длины волны и повышение точности измерений. Освещают поверхности, между которыми измеряют зазор, пучком монохроматического плоскополяризованного излучения, плоскость поляризации которого составляет угол φ/4 с плоскостью падения. Изменяя угол падения и одновременно регистрируя сдвиг фаз между P-и S-компонентами, определяют угол φ^*, при котором начинает изменяться сдвиг фаз, после этого освещают под углом φ^*(φ_O*98ф^**98п/2), регистрируют сдвиг фаз ξ и по полученным данным рассчитывают величину зазора.