Способ определения параметров шероховатости оптической поверхности Советский патент 1991 года по МПК G01B11/30 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности для определения параметров шероховатости оптической поверхности.

Целью изобретения является повышение точности измерения и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения, кроме величины среднеквадратичного отклонения поверхности, еще и характерного периода (шага) и интервала корреляции шероховатости поверхности.

Способ осуществляют следующим образом.

На оптическую поверхность напоавляют пучок когерентного излучения под острым углом к ней, затем измеряют интенсивность падающего и рассеянного от поверхности излучения и определяют параметры шероховатости. Предварительно на базе контролируемой поверхности создают пленарный оптический волновод. Острый угол падения излучения изменяют до момента возбуждения основной моды в пленке, затем фиксируют угол р, измеряют зависимость интенсивности рассеянного излучения основной моды от угла рассеяния в плоскости падения, получают индикатриссу рассеяния, по которой определяют функцию спектральной плоскости шероховатости поверхности. По максимальному значению рассеянной в плоскости падения мощности излучения определяют величину среднеквадратичного

Os 45

о

00

со

отклонения поверхности, а по углу р определяют характерный период и интервал ЕГ корреляции шероховатостей

поверхности, характерный период Я (° / определяют по формуле:

д(о) гА|

t (yt°J -rkpsinp) Г

где Л-длина волны источника когерентного излучения;

}Л - эффективный показатель преломления основной (нулевой) моды;

пср - показатель преломления среды, в которой определяется угол р падения излучения. Интервал корреляции шероховатостей определяют по формуле

В(°) A(°)/2JT.

Формула изобретения

Способ определения параметров шероховатости оптической поверхности, заключающийся в том, что направляют на поверхность пучок когерентного излучения под острым углом к ней, измеряют интенсивность падающего и рассеянного от поверхности

5 излучения и определяют параметры шероховатости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения информативности способа за счет определения функции спектральной

10 плотности шероховатости, наносят на поверхность тонкую диэлектрическую пленку, изменяют угол падения излучения до момента возбуждения основной моды в пленке, фиксируют этот угол р, измеряют зависимость

15 интенсивности рассеянного излучения основной моды от угла рассеяния в плоскости падения, получают индикатриссу рассеяния, по которой определяют функцию спектральной плотности шероховатости по20 верхности, по максимальному значению рассеянной в плоскости падения мощности излучения определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности, а по углу определяют характерный период и

25 интервал корреляции шероховатостей поверхности.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для определения параметров шероховатости оптической поверхности. Цель изобретения - повышение точности измерения и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения еще и характерного периода и интервала корреляции шероховатости поверхности. Предварительно на базе контролируемой поверхности создают пленарный оптический волновод. Пучком света из свободного пространства возбуждают основную моду волновода, после чего производят измерение основных и вспомогательных параметров волновода. По индикатриссе рассеяния света определяют спектральную плотность шероховатости поверхности, по углу возбуждения основной моды определяют характерный период (шаг) и интервал корреляции шероховатости, а по рассеянной мощности определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности. w fe