Способ откачки полости многоступенчатым эжектором Советский патент 1991 года по МПК F04F5/20 

Изобретение относится к струйной технике, преимущественно к многоступенчатым эжекторам для форвакуумной откачки различных полостей.

Цель изобретения - снижение времени откачки и расхода высоконапорного газа.

На чертеже представлена схема многоступенчатого эжектора, на котором реализуется способ откачки полости.

Многоступенчатый эжектор содержит последовательно установленные эжекторные ступени 1-4, линии 5-8 подвода высоконапорного газа которых параллельно через регулирующие вентили 9-12 подключены к источнику активной среды, и линии 13-16 подвода пассивной среды сообщены между собой параллельно при помощи обводных линий 17-20, а последние снабжены регулирующими вентилями 21-24. Линия 16 подвода пассивной среды через регулирующий вентиль 25 подключена к линии 5 подвода высоконапорного газа.

со

С

В режиме запуска эжектора высоконапорный газ при открытом вентиле 21 подается на регулирующие вентили 9-12, которые открываются поочередно, начиная с вентиля 12 (последняя ступень 4), и далее 11, 10 и 9 по мере выхода каждой ступени на режим, близкий к расчетному.

Схема позволяет форсированно проводить режим промежуточного вакуумирова- ния, т.е. вести постепенную откачку, непосредственно подключая поочередно эжекторные ступени к полости откачки. При этом пуске одновременно с вентилем 12 открывается вентиль 24.

При достижении достаточной степени вакуумирования подключается предыдущая ступень (третья), для чего закрывается вентиль 24 и одновременно с вентилем 11 открывается вентиль 23. Далее подключается вторая ступень, при этом закрывается вентиль 23, а открывается вентиль 22. При подключении первой ступени вентиль 22

с

СП

о ел

со

закрывается и система откачивается всеми ступенями эжектора в режиме предельного

вакуумирования.

При работе в этом режиме в целях экономии рабочего газа возможна подача части смеси сред из линии 16 через вентиль 25 в эжекторную ступень 1 в качестве высоконапорного газа. При этом вентиль 9 на линии 5 закрыт.

Таким образом, путем поочередного подключения ступеней эжектора в период запуска достигается сокращение времени откачки и расхода высоконапорного газа.

Формула изобретения

1. Способ от качки полости многоступенчатым эжектором, включающий подвод высоконапорного газа к активным соплам

ступеней эжектора и последовательную подачу смеси от предыдущей ступени к( низконапорной части последующей ступени, отличающийся тем, что, с целью

снижения времени откачки и расхода высоконапорного газа, подвод высоконапорного газа к активным соплам ступеней эжектора осуществляют последовательно, начиная с последней от откачиваемой полости по мере

достижения рабочего давления в низконапорной части включенной ступени эжектора.

2. Способ по п. 1,отличающийся тем, что подачу газа из откачиваемой полости осуществляют непосредственно в низконапорную часть последней из включаемых в работу ступеней.

Изобретение относится к струйной технике, преимущественно к многоступенчатым эжекторам для откачки полостей. Целью изобретения является снижение времени откачки и расхода высоконапорного газа. Многоступенчатый эжектор, в котором реализован способ откачки, содержит последовательно установленные эжекторные ступени 1-4 и линии 13-16 подвода пассивной среды, сообщены между собой параллельно при помощи обводных линий 17-20. В период запуска подвод высоконапорного газа в ступени 1-4 осуществляют последовательно, начиная с последней от откачиваемой полости по мере достижения рабочего давления в низконапорной части включенной ступени эжектора. 1 з.п.ф-лы. 1 ил.