Способ получения интерферограммы для контроля плоскостности прозрачных деталей Советский патент 1991 года по МПК G01B9/21 G01B11/24 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля плоскостности оптических деталей и может быть использовано при изготовлении оптических клиньев плоскопараллельных образцов и т.д.

Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины за счет выделения коррелированных спекл- полей от каждой из двух контролируемых поверхностей.

На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

Устройство включает блок 1 формирования опорного пучка излучения и сигнальный канал, включающий блок 2 формирования когерентного диффузно рассеянного излучения, контролируемый объект 3 с механизмом 4 сдвига и поворота, объектов 5 и фотопластинку 6.

Схема устройства для записи голограммы построена так, что задняя грань контролируемого объекта 3 находится в передней фокальной плоскости объектива 5, который одновременно строит изображение передней грани контролируемого объекта 3 в плоскости фотопластинки 6.

Способ осуществляют следующим образом.

В сигнальном канале диффузно рассеянного когерентного излучения из блока 2 пропускают через контронтролируемый объект 3 и с помощью объектива 5 на фотопластинке 6 с использованием опорного пучка, поступающего на нее из блока 1, записывают одновременно голограмму сфокуо

4 VI ГО

™1

сл

сированного изображения передней грани контролируемого объекта 3 и голограмму Фурье его задней грани. Перед записью второй экспозиции с помощью механизма 4 сдвига и поворота осуществляют поворот контролируемого объекта 3 на 180° вокруг его оптической оси либо смещение его в плоскости, параллельной контролируемым поверхностям, на величину а D/2, где D - размер объекта в направлении смещения,

При восстановлении голограммы регистрация интерферограммы, характеризующей качество задней грани контролируемого объекта 3, проводится в фокальной плоскости линзы, установлен- ной за голограммой, при проведении пространственной фильтрации в плоскости голограммы с помощью, например, непрозрачного экрана с круглым отверстием.

Регистрация интерферограммы, харак- теризующей качество передней грани контролируемого объекта 3, проводится в плоскости изображения голограммы при проведении пространственной фильтрации в частотной плоскости.

По сравнению с известным способом предлагаемый способ позволяет повысить контрастность интерферационной картины за счет обеспечения одновременной записи двухэкспозиционной го- лограммы Фурье и сфокусированного изображения контролируемых поверхностей, что позволяет на стадии восстановления голограммы выделить коррелированные спекл-поля путем проведения пространственной фильтрации.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

1.Способ получения интерферограммы для контроля плоскостности прозрачных деталей, заключающийся в том, что освещают диффузно рассеянным когерентным излучением контролируемый объект, регистрируют прошедшее через него излучение на регистрирующей среде, изменяют положения объекта, вновь регистрируют прошедшее излучение на той же регистрирующей среде и фиксируют интерферограмму, отличающийся тем, что, с целью повышения контраста интерферограммы, регистрацию прошедшего излучения осуществляют путем одновременной записи голограммы Фурье и голограммы сфокусированного изображения поверхностей контролируемого объекта, а интерферограмму фиксируют путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне дифракции.

2.Способ по п. 1,отличающийся тем, что для изменения положения объекта его смещают в плоскости, параллельной поверхности объекта, на величину а, удовлетворяющую соотношению а D/2, где D - размер объекта в направлении смещения.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля плоскостности оптических деталей. Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины за счет выделения коррелированных спекл- полей от каждой из двух контролируемых поверхностей обьекта. Пучок инвертного излучения пропускают через диффузный рассеиватель и контролируемый объект, одновременно записывают на регистрирующей среде голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, смещают объект в плоскости, параллельной контролируемым плокостям, вновь на ту же регистрирующую среду одновременно записывают голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, восстанавливают двухэкспозиционную голограмму и путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне дифракции получают интер- ферограммы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. сл с