СТЕРЕОСКОПИЧЕСКИЙ ОДНООБЪЕКТИВНЫЙ МИКРОСКОП Советский патент 1994 года по МПК G02B21/00 

Изобретение относится к приборостроению, а именно к стереоскопическим микроскопам.

Одним из применений стереомикроскопов является контроль микросхем.

Цель изобретения - обеспечение контроля микроструктур с малорельефными элементами.

На чертеже показана принципиальная схема микроскопа.

Микроскоп имеет: 1 - наблюдаемый объект, 2 - объектив, 3 - дополнительные линзы, 4 - оборачивающая призменная система, 5 - окуляры, 6, 7 - системы Галилея устройства изменения увеличения, 8 - первый съемный полупрозрачный элемент, 9 - второй съемный полупрозрачный элемент, 10 - источник света, 11 - конденсор. Элементы 10 и 11 образуют переставной осветитель, который в штатном состоянии микроскопа позволяет осуществлять наблюдение в проходящем свете и при косом освещении. Полупрозрачные отражатели 8 и 9 пересекаются с осями Галилея под одинаковыми углами, преимущественно равными 45^о. Световые размеры этих отражателей согласованы с максимальными световыми размерами обращенных к ним элементов систем Галилея. В зависимости от характера индикатриссы рассеяния наблюдаемых структур полупрозрачные отражатели 8 и 9 имеют коэффициенты отражения, находящиеся в одном из соотношений
ρ₁= ρ₂-ρ22

Микроскоп работает следующим образом. Свет от осветителя (10, 11) попадает на первый полупрозрачный отражатель 8. Часть ρ₁ этого света отражается в сторону объектива 2 и фокусируется им на наблюдаемом объекте 1. Вторая часть (1-ρ₁) света проходит сквозь отражатель 8, попадает на второй полупрозрачный отражатель 9, частично ( ρ₂) отражается им в сторону объектива 2 и тоже фокусируется им на наблюдаемом объекте 1. Если индикатрисса рассеиваемого наблюдаемым объектом света имеет направленность в сторону падающего на объект света, то использование отражателей с коэффициентами отражения по соотношению (1) обеспечивает одинаковую освещенность изображений в обоих каналах наблюдения 3, 4, 5, 6 (или 7), причем эта освещенность будет максимальной, если ρ₁ = 0,25, а ρ₂ = 0,5. В случае, когда индикатрисса рассеиваемого наблюдаемым объектом света направлена под углом отражения (угол отражения равен углу падения света на объект), то для получения одинаковой освещенности изображений в обоих каналах наблюдения используют отражатели с коэффициентами отражения по соотношению (2). Освещенность будет максимальной в этом случае при ρ₁ = 0,36 и ρ₂ = 0,46. (56) Бабушкин С. Г. и др. Оптико-механические приборы, Машиностроение, 1965, с. 26-29.

Чуриловский В. Н. Теория оптических приборов. Машиностроение, 1966, с. 445.

Изобретение относится к приборостроению, а именно к стереоскопическим микроскопам. Цель изобретения - обеспечение контроля микроструктур с малорельефными элементами. В устройство введены съемные полупрозрачные отражатели, установленные между объективом и элементами блока изменения увеличения. Отражатели установлены друг за другом и пересекаются с осью блока изменения увеличения под углом 45. Для наблюдения объектов с разными свойствами съемные отражатели образуют комплексы с соответствующими соотношениями коэффициентов отражения. Приведены соотношения. 4 п. ф-лы, 1 ил.

1. СТЕРЕОСКОПИЧЕСКИЙ ОДНООБЪЕКТИВНЫЙ МИКРОСКОП, содержащий переставной осветитель, объектив и два оптических канала, в каждом из которых последовательно установлены блок изменения увеличения, ахроматическая линза и оборачивающая призма, а также окуляр, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности контроля микроструктур с малорельефными элементами, в оптические каналы между объективом и блоком изменения увеличения введены съемные полупрозрачные отражатели, плоскость установки которых находится под одинаковым углом к оси блока изменения увеличения, преимущественно равным 45^o. 2. Микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля микроструктур, полученных травлением, коэффициенты отражения первого и второго полупрозрачных отражателей находятся в соотношении
ρ₁= ρ₂-ρ₂²
3. Микроскоп по п. 2, отличающийся тем, что, с целью получения максимальной освещенности, коэффициенты отражения первого и второго полупрозрачных отражателей равны 0,25 и 0,5 соответственно. 4. Микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля микроструктур, полученных резанием, он снабжен комплектом съемных полупрозрачных отражателей, коэффициенты отражения которых находятся в соотношении
ρ₂=
5. Микроскоп по п. 4, отличающийся тем, что, с целью получения максимальной освещенности, коэффициенты отражения первого и второго отражателей равны 0,36 и 0,46 соответственно.