Датчик линейных перемещений Советский патент 1991 года по МПК G01B11/00 

Изобретение к измеоит-тн- ной технике и может быть испэльзпг ;ио при измерениях перемещений деталей машин и поибооов

Целью изобретения является голыше ние точности за счет устоаненир РПИЯМЧЯ г, результаты измерений погрешней i изго тсвления дифракционных решеток и ряс и и рение класса исследуемых объектов зс объектов с повышенной скоростью прреме щения.

На чертеже изображен дьтчик линейных перемещений

Датчик содержит источник 1 и пучечия и расположенные по ходу излучения кон денсор 2, пропускающую дифракционную решетку 3 с системой параллельных штрихов 4, отражающую дифракционную решо ку 5 предназначенную для кре глечич на контролируемом объекте дне собирдющ е линзы 6, 7 и два фотоприемника 8 0 ртпо

ложечные к, - фокусе соответствующей ни R, 7. гыоскопараллельную пластин, iO выполненную в центре и по краям разнот пи инной, ориентированную грани цами р,дз,г ла перпендикулярно штрихам рратTI w 2 5 и С|Знодленную решет k drii 3 5 до тслнительную линзу 11, распо- .|.t с румя другими л нлзми 6 7 на одной линии пзрзллетьной штрихам реше ток 3 с догюгнительный фотоприемник 12. о-эсг с -конный в фокусе дополнительной ТИЧЗ-У I Фоггприемники 8, 9 расположен- rib F крайни двух пинз б, 7, соединен, п) ,|- ьно друг с другом

Дaтs .к работает следующим образом.

И п. ение от источника 1, расположенной Р 4-Окаг,ьной плоскости конденсора 2. npeof p ,егся им в параллельный пучок и noc yiat T на пропускающую дифракционную Т Ди } рагировавшее на штри- -ix 1 решетки 3 H3flv4enne попадает на

ON СЛ

ГО

плоскопаралльную пластину 10, проходит ее и попадает на отражательную решетку 5. Дифрагировав на отражательной решетке 5, излучение вновь проходит плоскопараллельную пластину 10 и решетку 3, а затем фокусируется линзами 6, 7, 11 на фотоприемники 8, 9, 12,

Для получения сдвига по фазе на

2 сигнала с фотоприемника 12 относительно сигналов с фотоприемников 8, 9 плоскопараллельную пластину 10 разворачивают при юстировке на определенный расчетными соотношениями угол в плоскости, перпендикулярной штрихам 4 решетки 3,

Формула изобретения Датчик линейных перемещений, содержащий источник излучения и расположенные по ходу излучения конденсор, пропускающую дифракционную решетку с системой параллельных штрихов, отражающую дифракционную решетку, предназначенную для крепления на контролируемом объекте, две собирающие линзы и два фотоприемника, расположенных каждый в

фокусе соответствующей линзы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения, он снабжен

плоскопараллельной пластиной, выполненной в центре и по краям разнотолщин- ной, ориентированной границами раздела перпендикулярно штрихам решеток, и установленной между решетками

дополнительной линзой, расположенной с основными линзами на одной линии, параллельной штрихам решеток, дополнительным фотоприемником, расположенным в фокусе дополнительной линзы,

а фотоприемники, расположенные в фокусах крайних двух линз, соединены последовательно друг с другом.

Изобретение OIHOC -тся -inept -jni н-м, технике и - ет бить игпопьгаазк ,р i ic двоениях перемещении па, мн приборов Целью изобретение 1ляется го вышение ,очности за ст0амрн , вп /-ц нгя иг. о зультзты измерений погрешно- и о i озлечмя дифракционных ре легок и ср иирение класса исследуемых объектов з с jei объектов с повышенной скоростью п емещения Излучение от источника из- / вн,; прсо оазуется конденсором в па- рэл/,--(ьн ь й пучок и поступает на рг П/счающую дифоакииоьную решетчу гно проходи плоскопараллельную П (зсгин топадае на отражающую решетку и - ф|1эп., на ней, вновь проходит гыа,ко,.1-;ы- ю пластину и пропуска- юи,ую пешетку Пссле этого излучение фоку- сир/е 1 я л /мззми .id фотоприемники. 1 ил

вид В