Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологическим установкам для проведения процессов при нагреве.
Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакционной камере и продолжительности процесса.
На фиг. 1 показано устройство, общий вид, разрез; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1.
Устройство содержит герметичную прозрачную реакционную камеру 1, внутри которой на держателе 2 размещена обрабатываемая полупроводниковая пластина 3. Снаружи реакционной камеры 1 в герметичном корпусе 4 установлены галогенные лампы 5. Корпус 4 охлаждают водой, подаваемой в трубки 6. Корпус 4 имеет патрубок 7 для ввода в его полость дополнительного прозрачного хладагента, например дистиллированной воды. Реакционная камера 1 снабжена патрубками для ввода 8 и вывода 9 газовых реагентов. В
корпусе 4 размещена герметичная емкость 10 из эластичного материала, соединенная с объемом реакционной камеры 1 через трубку 11.
Устройство работает следующим образом.
В корпус 4 заливают дистиллированную воду с температурой 18°С, объем которой составляет 3000 см . В корпусе 4 установлено 22 галогенные лампы 5 и четыре стальные трубки 6 с общим расходом охлаждающей воды 80 л/мин. Герметичная емкость 10 представляет собой сильфон из полиэтилена и имеет объем 150 см , На держатель 2 загружают кремниевую пластину 3; держатель 2 перемещают в реакционную камеру 1 и закрывают ее запорным устройством 12. Через трубки 6 подают охлаждающую воду, а через патрубок 8 подают смесь газов С02 и Н2 до давления 30 эти. Время процесса составляет 100 с, температура 1200°С. В конце процесса температура дистиллированной воды составляет 48°С. Расширение 3000 см воды при нагреве ее на 30°С составляет приблизительно 30 см , т. е. меньЁ
О
о ел
00
VI
о
со
ше объема герметичной емкости 10, что позволяет скомпенсировать изменение ее объема при нагреве или откачке внутреннего объема камеры 1. После окончания процесса реакционную камеру 1 продувают воздухом и затем извлекают окисленную кремниевую пластину, толщина окисла составляет 2,5 мкм.
Таким образом, полное заполнение пространства между корпусом и реакционной камерой охлаждающей жидкостью позволяет подавать в реакционную камеру газ под давлением в несколько десятков атмосфер. При этом предотвращается разрушение
реакционной камеры за счет компенсирующего воздействия противодавления жидкости на ее стенки. В связи с тем, что лампы и реакционная камера погружены в жидкость, создаются условия эффективного охлаждения их внешней поверхности. Стенки реакционной камеры практически не негреваются, фоновое подлегирование отсутствует, что позволяет проводить процессы термообработки в течение длительного времени. В качестве охлаждающей прозрачной жидкости используют также органические жидкости, например полифенилметилсилокса- новый эфир (ПФМС-4).
Формула изобретения Устрой9тво для термообработки полупроводниковых пластин, содержащее прозрачную герметичную реакционную камеру со средствами подачи газов и установленные снаружи в водоохлаждаемом корпусе лампы нагрева, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных
возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакционной камере и продолжительности процесса, оно снабжено герметичной емкостью из эластичного материала, соединенной с объемом реакционной камеры и размещенной в корпусе, который выполнен герметичным и имеет патрубок для ввода в полость корпуса дополнительного прозрачного хладагента.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ БЕЗКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ | 1993 |
|
RU2054749C1 |
БЫТОВОЙ КОМПРЕССИОННЫЙ ХОЛОДИЛЬНИК | 2003 |
|
RU2234645C1 |
КАМЕРА НАДЕВАНИЯ ПЕРЧАТКИ И КАССЕТА КАМЕРЫ НАДЕВАНИЯ ПЕРЧАТКИ | 1998 |
|
RU2131204C1 |
Вакуумный комплекс термического отжига полупроводниковых пластин | 2021 |
|
RU2764877C1 |
Осветительное устройство | 1974 |
|
SU535434A1 |
Биологический батометр | 1987 |
|
SU1490547A1 |
ДИСТИЛЛЯТОР-ТРАНСФОРМЕР | 2021 |
|
RU2792105C2 |
ОДНОРАЗОВАЯ ГЕМОСОРБЦИОННАЯ КОЛОНКА "ГЕМОС-КС" | 2010 |
|
RU2422160C1 |
ВАКУУМНЫЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРИБОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ ВОДЯНОГО ПАРА И АКТИВНОСТИ ВОДЫ В ПИЩЕВЫХ ПРОДУКТАХ С ОХЛАЖДАЮЩИМИ УЛЬТРАТЕРМОСТАТАМИ НА ОСНОВЕ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХОЛОДИЛЬНИКОВ | 2011 |
|
RU2463572C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ЖИДКОСТИ | 2005 |
|
RU2338573C2 |
Изобретение относится к электронной технике и обеспечивает расширение функциональных возможностей устройства за счет увеличения диапазона давлений в реакцитонной камере и продолжительности процесса. Устройство содержит прозрачную реакционную камеру для обрабатываемой пластины. Снаружи камеры в герметичном корпусе, заполненном прозрачным хладагентом, размещены галогенные лампы и трубки, в которые подают хладагент. В корпусе установлена герметичная емкость из эластичного материала, соединенная с реакционной камерой. 2 ил.
Газ
Редактор О. Хрипта
Техред М.Моргентал
Заказ 2403Тираж 260Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород. ул.Гагарина, 101
Фиг.2
Корректор М. Кучерявая
Авторы
Даты
1991-07-23—Публикация
1989-08-16—Подача