Лазерный интерференционный плоскомер Советский патент 1991 года по МПК G01B11/30 

К

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскости. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.

С О 00 00

о

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскостности.

Цель изобретения - повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности.

На чертеже представлена схема плоско- мера.

Лазерный интерференционный плоско- мер содержит последовательно расположенные лазерный интерферометр 1, плоское зеркало 2, установленное с возможностью вращения перпендикулярно оптической оси, визирную, марку 3 и блок обработки информации, измерительный блок в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса 5 с тремя наконечниками 6-8, один из которых установлен с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оптической оси корпуса 5 уголкового отражателя 9, двух пар оптических клиньев 10, 11 и 12, 13 и второго уголкового отражателя 14. Плоскомер содержит также две оптические пластины 15 и 16, расположенные с противоположных сторон корпуса 5 и предназначенных для создания замкнутой оптической системы.

Плоскомер работает следующим образом.

Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, отразившись от которого проходит оптические клинья 10 и 11, отражатель 9, отразившись от него, луч проходит вторую оптических клиньев

0

5

0

5

0

5

12 и 13, преломляется и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности наконечник 7 и измерительный блок перемещаются в вертикальной плоскости, что влечет за собой изменение оптической длины пути лазерного луча, величина которого характеризует отклонение от прямолинейности и плоскостности,

Формула изобретения Лазерный интерференционный плоско- мер, содержащий последовательно расположенные лазерный интерферометр, плоское зеркало, установленное с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси, визирную марку и блок обработки информации, связанный с лазерным интерферометром, о т- личающийся тем, что, с целью повышения точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности, он снабжен измерительным блоком, выполненным в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса с тремя наконечниками, один из которых установлен симметрично относительно двух других с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оси корпуса уголкового отражателя, ориентированного основанием параллельно оптической оси и скрепляемого с подвижным наконечником, двух пар оптических клиньев, ориентированных основаниями в противоположные стороны, и второго уголкового отражателя, ориентированного аналогично первому.