Устройство для контроля процесса нанесения покрытий Советский патент 1991 года по МПК G01B21/08 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при толщинометрии в микроэлектронике, приборостроении, электрохимии, при научных исследованиях различных материалов, а также при фотометрических исследованиях.

Цель изобретения - повышение точности и надежности за счет отсутствия механических элементов, применения электронного сканирования и автоматизации процесса измерения.

На фиг. 1 изображена структурная схема устройства для контроля процесса нанесения покрытия; на фиг. 2 - временная диаграмма работы устройства; на фиг. 3 - зависимость величины управляемого сопротивления Ry в функции от управляющего напряжения Оу.

Устройство (фиг. 1) содержит лазерный источник 1 излучения, расщепитель 2 потока излучения, зеркальный отражатель 3, направляющий один из потоков на эталон 4, второй поток предназначен для направления на контролируемое изделие 5, эталон и изделие могут быть помещены в гальваническую ванну 6, диссектор 7, приемник с электронным сканированием изображения фотокатода, аналого-цифровой преобразователь 8, электронные ключи 9 и 10 с разными каналами проводимости, дифференцирующий каскад 11, реверсивный счетчик 12 строчной развертки, первую схему 13 сравнения кода, каскад 14 управления строчной разверткой, формирователь 15 строчной развертки, реверсивный счетчик 16 кадровой развертки,вторую схему 17 сравнения кода (ССК), каскад 18 управления

О

со ю VI

00

со

кадровой разверткой, формирователь 19 кадровой развертки, предварительный усилитель 20, формирователь 21 интервала выборки, управляемый делитель 22, узел 23 выборки-хранения (УВХ), формирователь 24 интервала хранения, компенсирующий по- вторитепь 25, управляемое сопротивление 26, Т-триггер 27, токовые ключи 28 и 29 с разными каналами проводимости, преобразователь 30 ток-напряжение, цифроанало- говый преобразователь (ЦАП) 31, усилитель-ограничитель 32, мостовой переключатель 33 выхода, фазоинверсный каскад 34 преобразователь 35 кода, сумматор 36, детектор 37 нуля, арифметико-логический узел (АЛУ) 38 и каскад 39 знака рассогласования,

Устройство работает следующим образом,i

Поток излучения лазера 1 падает на расщепитель 2 потока излучения, с выходов которого поток рабочего канала и поток эталонного после отражения от отражателя 3 направляются на эталон 4 и изделие 5 (например, электроды, расположенные в гальванической ванне 6), Отражаясь, оба потока падают на две области фотокатода диссектора 7, симметрично расположенные по отношению к центру фотокатода.

Рассмотрим сущность формирования и развертки диссектора. Так как в качестве АЦП двойного интегрирования может быть использована любая из серийно выпускаемых микросхем (например, микросхема типа 1107ПВ2), то для формирования строчной и кадровой разверток диссектора удобно использовать высокочастотное выходное напряжение этих микросхем. Выходное напряжение U частоты f (фиг. 2) АЦП 8 с его первого выхода подается на электронные ключи 9 и 10 с противоположными каналами проводимости. С второго выхода АЦП 8 на дифференцирующий каскад 11 поступает выходное пилообразное напряжение прямого и обратного интегрирующего тактов АЦП 8. В зависимости от полярности измеряемого АЦП напряжения его выходное пилообразное напряжение может быть положительным или отрицательным. Так как ключи 9 и 10 с противоположными каналами проводимости, то независимо от полярности пилообразного напряжения один их этих ключей во время длительности прямого и обратного тактов интегрирования всегда открыт, и поэтому на общем выходе ключей во все время длительности пилообразного напряжения присутствует напряжение U частоты f АЦП 8. С выхода ключей напряжение U поступает на вход реверсивного счетчика 12 строчной развертки.

Значение кода Npc (фиг. 2) реверсивного счетчика 12 увеличивается от нуля до значения Nc и поступает на первую схему 13 сравнения кода (ССК), в которой при переходе

кода через значения 0, Nc/2 и Nc формируются импульсы напряжения Uc. Импульсы ССК 13, соответствующие нулевому и коду Nc реверсивного счетчика, дальше подаются на каскад 14 управления строчной разверткой. Выходное напряжение Upc каскада 14, представляющего собой последовательно соединенные двухвходовую схему ИЛИ и Т-триггер, подается на управляющий вход реверсивного счетчика 12 и используется в

нем для включения прямого или реверсивного счета соответственно при нулевом и Nc значении кода Npc.

Таким образом, значение кода Npc изменяется по треугольному закону. Код Npc

поступает также в формирователь .строчной развертки, который представляет собой соединенные последовательно ЦАП и преобразователь ток-напряжение с парафаз- ным выходом, выходное напряжение

которого подается на вход горизонтально отклоняющих пластин диссектора 7 и используется для развертки изображения по строке. После каждого хода развертки по строке туда и обратно формируется ступенька перемещения развертки по кадру. С этой целью выходные импульсы первой схемы 13 сравнения кодов, соответствующие переходу кода через нуль, с ее выхода подаются на реверсивный счетчик 16 кадровой развертки, выходной код Мрк которого с помощью второй ССК 17, каскада 18 управления кадровой разверткой и формирователя 19 кадровой развертки, аналогично рассмотренному при строчной развертке, изменяется по треугольному закону от 0 до NK, преобразуется в парафазное напряжение и используется в диссекторе 7 для развертки изображения по кадру.

Таким образом, в результате развертки

изображения фотокатода диссектора 7 по строке и кадру на выходе диссектора появляется непрерывная последовательность импульсов, амплитуды которых U3 и Up (фиг. 2) пропорциональны интенсивностям отраженных от эталонного и рабочего

электродов потоков и равны соответственно

иэ ЯфуК(НэФ +Фш) + ишК; (1)

Up Рф у К (ЯрФ + Фш)+ишК; (2)

где РФ - величина сопротивления нагрузки

диссектора;

у- анодная чувствительность диссектора;

К- коэффициент усиления предусилите- ля;

Ф- поток излучения;

Фш - поток фона;

Um - приведенный к входу уровень напряжения дрейфа нуля предусилителя.

Импульсы иэ и Up поступают на вход формирователя 21 интервала времени выборки информации и управляемый делитель 22. Усиленные формирователем 21 импульсы иэ и Up поступают на управляемый делитель 22 и управляют его коэффициентом передачи так, что на вход управляемого делителя поступают только импульсы Ua и Up. С выхода управляемого делителя импульсы иэ и Up подаются на выход УВХ 23. Импульсы формирователя 21 подаются также на вход формирователя 24 интервала хранения информации, на другой вход которого поступает выходное напряжение U с первого выхода АЦП 8. Формирователь 24 интервала хранения по истечении импульса формирователя 21 из высокочастотного напряжения U формирует импульсы такой длительности, что длительность выходных импульсов г УВХ 23 находится в пределах 0,15ТС, где Тс - длительность развертки информации по строке {фиг. 2).

Выходные импульсы УВХ поступают на вход компенсирующего повторителя 25, собранного на ОУ, работающем в режиме инвертирующего повторителя с сопротивлением Ro на инвертирующем входе и управляемым сопротивлением 25 в цепи обратной связи, соединенным последовательно с постоянным сопротивлением R.

В качестве управляемого сопротивления может быть использован полевой транзистор.

Импульсы Uc первой ССК 13, соответствующие моменту перехода кода Npc через значения Мс/2, поступают с выхода ССК 13 на вход Т-триггера 27 и формируют на его выходе напряжение Ur (фиг. 2), которое поступает на управляющие входы токовых электронных ключей 28 и 29 с противоположными каналами проводимости. В течение интервала времени Тр открыт ключ 29, а в течение Тэ - ключ 28 (фиг. 2). В интервале времени Тэ усиливаются импульсы напряжения иэ от эталонного электрода. В этом интервале на вход ключа 28 подается такой уровень тока lo, при котором коэффициент передачи компенсирующего повторителя 25 равен единице.

Очевидно, в этом случае ток 0 в преобразователе 30 ток - напряжение преобразуется в уровень напряжения U0, который, поступая на вход управляемого сопротивления 26, изменяет его до значения Ryo (фиг.

3). При ЭТОМ R + Ryo Ro.

В интервале Тр действия импульсов Up уровень усиления определяется величиной выходного тока ЦАП 31, который через открытый в этом интервале ключ 29 поступает 5 на вход преобразователя 30.

Предположим, что исходный ток ЦАП 31 равен lo, и поэтому усиление в интервале Тр равно также единице. Также предположим, что в исходном состоянии R3 Rp и U3 Up.

0 В этом случае выходное напряжение компенсирующего повторителя 25 поступает на вход усилителя-ограничителя 32 снизу. После ограничения снизу на неизменном, максимально допустимом для конкретных

5 условий, уровне и усиления импульсы Us и Up подаются на вход мостового переключателя 33 выхода. Мостовой переключатель выхода представляет собой четырехплечий, собранный на электронных ключах с проти0 воположными каналами проводимости, выпрямитель, который используется для инверсии сигналов Us и Up. Так как эти сигналы поступают в интервалы Тэ и Тр, то для управления мостовым переключателем вы5 хода используется выходное напряжение UT Т-триггера 27.

Выходное напряжение мостового переключателя выхода после прохождения фазо- инверсного каскада 34, представляющего

0 собой повторитель с переключающимся в интервалы времени Тэ и Тр входным напряжением, подается на информационный вход АЦП 8. В качестве АЦП двойного интегрирования используется микросхема 1107 ПВ2.

5 АЦП измеряет разность сигналов U3 и Up в интервале интегрирования Ти. В рассматриваемом случае U3 Up, и поэтому выходной код на третьем выходе АЦП равен нулю. Так как в используемом АЦП на выход микросхе0 мы выводится только код для управления семисегментными световыми индикаторами, то этот код в преобразователе 35 кода преобразуется в двоичный и после этого с выхода преобразователя подается на кас5 кад сумматора 36 и детектора 37 нуля.

В сумматоре 36 перед этим измерением был записан код N0, который, поступая на вход ЦАП 31, приводит к появлению на его выходе тока 0. Так как в этом случае выход0 ной код преобразователя 35 кода равен нулю, то срабатывает детектор 37 нуля и его сигнал поступает в АЛУ 38, в котором регистрируется выходной код сумматора N0. Значение кода N0 и является условным ну5 лем измерителя, который хранится в памяти АЛУ.

Рассмотрим, как осуществляется процесс измерения при R3 RP (U3 & Up). Определим то значение Д Ry измерения величины управляемого сопротивления 26, которое при заданном значении Rp необходимо для обеспечения компенсации, т.е. выравнивания импульсов U3 и Up по амплитуде.

С учетом (1) и (2) при коэффициенте передачи 1)э, равном единице, и увеличении коэффициента передачи компенсирующего повторителя при усилении импульсов Up от единицы до значения (R0 + A Ry)/Ro получим

Ro + A Ry ,

иэ ир

RC

РфуК(ФРР+Фш) + ишК(Р0 + ARy)/R0

Кфу К (Рэф + Фш) + иш К(3)

или

Рф у Ф R0(R3 - RP) - Rp A Ry Rф} Фш ARy + Uuj ARy.(4)

Проанализируем полученные результаты. Если R3 Rp, то U3 Up и из (3) следует, что A Ry О, В этом случае, как следует из (4), влияние фоновых полей Фш и напряжения дрейфа нуля иш полностью исключается. Это чрезвычайно важно, так как именно в начале процесса анодного окисления чувствительность способа должна быть максимальной. Из (4) следует, что так как значения Фш и иш очень малы, а значение рабочего потока Ф очень велико, то при ARy 0 правая часть этого выражения будет с высокой степенью приближения также равной нулю (оба члена правой части выражения (4) содержат произведения двух малых чисел, поэтому в сравнении с членами левой части этого выражения являются малыми числами второго порядка).

Это возможно только при

Ro(R3-RP)-RP ARy 0. (5) Из (5) при учете Rs - Rp A R получим, что относительное изменение коэффициента отражения и относительный коэффициент отражения рабочего электрода определяются из выражений соответственно

AR ARytK.

RT R0+ ARy w

RpRO,j

R3 Ro +ARy ()

г,

Изменение управляемого сопротивления на величину ARy в интервале Тр может быть обеспечено только за счет подачи на вход ЦАП 31 изменения кода на величину А N. При этом на выходе преобразователя 30 ток-напряжение при чувствительности ЦАП У м чувствительности/ преобразователя 30 будет получено изменение управляющего напряжения Uy на величину

AUy ANi/0.(8)

10

15

20

25

30

35

40

45

Как следует из фиг. 3, значению A Uy из (8) соответствует изменение управляемого сопротивления

ARy AUytga AN qfiiga, (9) где tg а- экспериментально определяемая чувствительность управляемого сопротивления по напряжению.

С учетом (9) значения A R/R3 и RP/R3 из (6) и (7) определяются как

AR fffftggANКо AN

R3 Ro 7/ftggAN

50

55

Rp R3

R

Ro -f ;/3tgaAN

Ro +K0AN (Ю) Ro

Ro + KcTAN

(11)

При предельном значении коэффициента отражения рабочего электрода Rp Rpn ARn A Ryn,10

Ro+ARyn (12)

где A Ryn - предельное значение изменения управляемого сопротивления Ry. Из (12) определим

.(13)

Пренебрегая в соответствии с полученными результатами значениями фонового потока Фш излучения и напряжения иш дрейфа нуля, определим величину изменения управ- ляенмого сопротивления ARy, которая обеспечивается за счет действия обратной связи при Rp R3.

Напряжения Us и Up от эталонного и рабочего электродов на выходе фазоинвер- сного каскада 34 соответственно равны

иэ РэФуРф ККоу ;(14)

ир РрФуРфККоУ,(15)

где К0у - коэффициент передачи усилителя- ограничителя.

В выражениях (14) и (15) коэффициент передачи компенсирующего повторителя 25 принят равным 1, так как значение кода N0, поступающего на вход ЦАП, при этом не изменилось.

Считая время прямого цикла интегрирования АЦП 8 равным Ти, при заданном значении чувствительности АиМИн измерения напряжения рассогласования цепи обратной связи (цепи компенсации), значении шага квантования АЦП AUuj и постоянной времени ти интегратора АЦП получим Аиш АиМинТи/ги .

Для заданного с позиции подавления основных помех значения Ти можно определить постоянную времени

. UMMH 1ц

Ги Аиш

Отраженные от эталонного и рабочего электродов потоки регистрируют в таких двух

симметрично расположенных областях фотокатода, что при развертке изображения фотокатода получается непрерывная последовательность равноудаленных друг от друга импульсов. Последнее условие из-за неточной установки потоков выполняется приближенно, и поэтому, как следует из полученных экспериментальных результатов, для исключения сбоев в работе каждый импульс при длительности развертки по строке Тс может быть расширен УВХ до значения т ТСКР, где Кр т/Тс - коэффициент расширения импульсов УВХ. При этом значение Кр должно находиться в пределах 0,15.

С учетом этого, если за ремя Ти будет зарегистрировано Np импульсов от каждого из электродов, то измеренная интегратором разность средних значений входных напряжений будет равной

AUcp Np(U3-Up)TcKp/rH. Выходное напряжение интегратора в конце такта интегрирования определится соответственно как

АиИнт ДиСрТи/Ти ,

и количество зарегистрированных на выходе интегратора квантов д Диинт Np(U3-Up)TcKp . }

AN ЩТйиГнТи 1bj

Код Л N с выхода преобразователя 35 кода поступает в сумматор 36. С четвертого выхода АЦП информация о знаке измеренной разности средних значений напряжений поступает в каскад 39 знака рассогласования, выходной сигнал которого дальше поступает в сумматор 36 и управляет его работой на сложение или вычитание записанного в нем исходного кода N0 с вновь поступающим. В рассматриваемом случае для увеличения напряжения 1)р до уровня U3 к коду No добавляется значение Д N и это значение кода подается на вход ЦАП 31.

Как уже было показано, при этом величина управляемого сопротивления Ry изменится на значение Д Ry, определяемое (9).

Таким образом, с учетом (9), (14), (15), (16) для рассматриваемых условий Д Ry Tc Kptga Np ФуКф К Коу х х ( Вэ - RP ) / Д Умин Ти .(17)

Очевидно, значение предельного изменения Д Ryn величины управляемого сопротивления Ry припредельном значении коэффициента Rpn отражения рабочего электрода с учетом Rp Rpn определится из (17).

Для обеспечения оптимальных условий компенсации (максимального быстродействия при минимальном количестве уравновешивающих тактов) значение ДВуп,

0

5

0

5

0

5

0

5

0

5

(19)

определяемое из (13), должно быть равным значению из (17), т.е.

Ro/n

1 -Уп Тс Кр tg a rjfi Np (R3 - Rpn) Фу Вф К К0у

Д имин Ти

(18)

Определим количество регистрируемых за время интегрирования Ти импульсов Np. При длительности Т0 процесса окисления и допустимой динамической погрешности измерения д время Ти одного цикла измерения будет примерно равным Г0 д . При приведенных условиях сканирования изображения и регистрации по одному импульсу от каждого электрода за один ход развертки по строке количество регистрируемых импульсов от каждого электрода за время Ти будет равным Np То д /Тс Ти/Тс.

С учетом значения Np из (18) определяется рекомендуемое для обеспечения оптимальных условий работы значение входного сопротивления компенсирующего повторителя

в Ко Ф У Рф К Кр Коу Rpn

Ro --AUUH

где К0 //3 tg a const.

Значение предельного коэффициента отражения рабочего электрода при этом

Rpn Rs(1 УП).

При Т0 100 с; д 0,0001; Тс 20 мкс будет зарегистрировано Np 500 импульсов от каждого электрода.

Таким образом, для конкретных условий сначала из (19) определяют оптимальное значение Ro, после чего из (13) определяют

Д Ryn Уп R0/(1 - УП),

по величине которого выбираются тип регулируемого полевого транзистора и конкретные значения

Ryo ( R KQ.

Если значение R0 выбрано в соответствии с (19), то по цепи обратной связи поступит такой уравновешивающий сигнал, при котором импульсы Up от рабочего электрода будут усилены так, что в следующем такте измерения на третьем выходе АЦП будет зарегистрирован нуль, В этом случае сигнал детектора 37 нуля поступает в АЛУ 38, и выходной код сумматора 36 N0 + AN считывается в АЛУ.

В АЛУ по значению N0, зарегистрированному при Rp R3 в начале процесса, и значению N0 + Д N определяют Д N и в соответствии с выражениями (10) и (11) определяют значения ДР/РЭ и RP/R3.

Практически из-за влияния различных нестабильностей и неточности расчета полное уравновешивание за один измерительный такт не достигается. За каждый такт только уменьшается степень рассогласования, а процесс измерения также заканчивается при срабатывании детектора нуля. Но в рассмотренном случае при многократном измерении зарегистрированный в сумматоре 36 результат будет являться результатом статистического осреднения многократных измерений одной и той же величины. Таким образом, в этом случае осуществляется дальнейшее (после уменьшения в УВХ и в интервале Ти интегратора) уменьшение влияния случайных погрешностей: нескомпенсированные погрешности при усреднении в коротких интервалах времени компенсируются в более продолжительных. Это увеличивает чувствительность и точность измерения.

Особенности работы описанного устройства следующие.

Сигналы от изделия и эталона однопо- лярны и так как ослабленный (при Rp R3) сигнал от изделия усиливается до уровня эталонного, то это позволяет осуществлять ограничение сигнала на неизменном уровне с последующим усилением, уменьшает нелинейные искажения, увеличивает и стабилизирует чувствительность по всему рабочему диапазону.

Влияние фоновых потоков, темнового тока диссектора и шума предусилителя при предложенной структуре обработки информации на базе диссектора может не учитываться. Это приводит к увеличению надежности и уровня автоматизации, так как исключает необходимость применения модуляторов потока излучения и вращающихся зеркал.

Увеличение чувствительности и ее стабилизация по диапазону, работа при больших потоках излучения и разработка электронной схемы компенсации, практически не требующей мощности для управления, позволили осуществлять работу без применения электромеханических узлов для компенсации и исключили необходимость автоматической регулировки ширины щели.

Увеличение надежности и уровня автоматизации достигается также за счет применения цифровой регистрации и обработки информации.

Увеличение чувствительности и точности измерения обусловлено также за счет ограничения мощности шума посредством открывания усилительного тракта только на время выборки сигнала; за счет расширения импульсов с помощью УВХ, преобразующего реальные сигналы в квазистатические и увеличивающего среднее значение сигнала

за счет применения ограничения - усиления сигнала снизу; за счет последовательного интегрирования шума в накопительной емкости УВХ, интегрирования в течение времени Ти АЦП и применения метода статистического осреднения при электронном уравновешивании; за счет применения одноканальной схемы обработки и компенсации сигнала; за счет применения спосо0 ба компенсации, не требующего большой управляющей мощности; за счет высокого быстродействия электронной схемы компенсации (уменьшения динамической погрешности); за счет работы при больших

5 значениях потока излучения; за счет слабого влияния фоновых полей.

Формула изобретения Устройство для контроля процесса нанесения покрытий, содержащее оптически

0 связанные источник излучения и расщепитель потока излучения на два равных, фотоприемник, предназначенный для установки по ходу отраженных от эталона и контролируемого изделия потоков излу5 чения, последовательно соединенные предварительный усилитель и систему автоматической электронной компенсации оптической асимметрии рабочего и эталонного каналов, отличающееся тем,

0 что, с целью повышения точности и надежности, фотоприемник выполнен в виде приемника с электронным сканированием изображения фо токатода, система автоматической электронной компенсации оптиче5 ской асимметрии - в виде соединенных последовательно управляемого делителя, узла выборки-хранения, компенсирующего повторителя с регистром на входе, мостового переключателя с двумя выходами, фазо0 инверсного каскада, аналого-цифрового преобразователя, параллельно включеных двух электронных ключей с разными каналами проводимости, реверсивного счетчика строчной развертки и формирователя

5 строчной развертки, два выхода которого подключены к первой паре входов фотоприемника, соединенных последовательно первой схемы сравнения кода, реверсивного счетчика кадровой развертки и формиро0 вателя кадровой развертки, два выхода которого подключены к второй паре входов фотоприемника, второй схемы сравнения кода и каскада управления кадровой разверткой, входы которого соединены с дву5 мя выходами второй схемы сравнения, а выход-с вторым входом реверсивного счетчика кадровой развертки; каскада управления строчной разверткой, два входа которого подключены к двум выходам первой схемы сравнения, а выход - к второму

входу реверсивного счетчика строчной развертки, дифференцирующего каскада, включенного между вторым выходом аналого-цифрового преобразователя и управляющими входами электронных ключей, преобразователя кода, входом соединенного с четвертым выходом аналого-цифрового преобразователя, сумматора и детектора нуля, вход которого и первый вход сумматора объединены и подключены к выходу преоб- разователя кода, каскада знака рассогпа- сования, включенного между третьим выходом аналого-цифрового преобразователя и вторым входом сумматора, арифметико-логическо о узла и циф- роаналогового преобразователя, входы которых объединены и подключены к выходу сумматора, второй вход арифметико-логического узла соединен с выходом детектора нуля, двух токовых ключей с разными каналами проводимости, Т-триггера, преобразователя ток - напряжение и управляемого сопротивления с резистором, включенного параллельно компенси- рующему повторителю, выход цифроа- налогового преобразователя связан с входом одного из двух токовых ключей

с разными каналами проводимости, выход которого подсоединен к одному из двух входов преобразователя ток - напряжение, а управляющий вход - к управляющему входу другого токового ключа с разными каналами проводимости, второму входу мостового переключателя и выходу Т-триггера. вход которого связан с третьим выходом первой схемы сравнения кода, вход второго токового ключа с разными каналами проводимости предназначен для подключения к источнику тока уровня 0. а его выход - к второму входу преобразователя ток - напряжение, выход которого связан с управляющим входом управляемого сопротивления, формирователя интервала выборки и формирователя интервала хранения, первый вход которого соединен с первым выходом аналого-цифрового преобразователя, второй вход-с вторым входом управляемого делителя и подключен к выходу формирователя интервала выборки, вход которого соединен с первым входом управляемого делителя и подключен к выходу предварительного усилителя, выход формирователя интервала хранения соединен с вторым входом узла выборки- хранения.

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности и надежности за счет отсутствия механических элементов, применения электронного сканирования и автоматизации процесса измерения. При измерении поток источника излучения делят на два равных потока, которые после взаимодействия с эталоном и изделием (например, рабочим электродом) регистрируют общим приемником с электронным сканированием. Разность средних значений сравниваемых сигналов измеряют методом двойного интегрирования со статистическим осреднением. Компенсацию осуществляют за счет увеличения усиления сигнала от рабочего электрода до уровня сигнала от эталона, а измерение значения относительного коэффициента отражения проводят в момент достижения компенсации в цифровой форме. 3 ил. сл

J

tf

fft #/

ft

пППппППппППппПОппОПппП,

r- nffff ff.