Устройство для измерения угловых перемещений объекта Советский патент 1991 года по МПК G01B11/26 

Изобретение относится к устройствам для решения задач в области высокоточных измерений перемещений.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем измерения также и линейных координат.

На чертеже представлено устройство, общий вид.

Устройство содержит источник 1 когерентного излучения, отражатель 2 и двух- зеркальныйинтерференционный

угломерный блок 3, две пары идентично выполненных интерференционных фильтров 4 и 5, каждый из которых в паре имеет отличные полосы пропускания излучения и установлен между отражателем 2 и соответствующим зеркалом угломерного блока 3, источник 1 излучения выполнен в виде излучателя с двумя длинами волн, соответствующими полосам пропускания интерференционных фильтров 4 и 5, отражатель 2 выполнен двугранным и с дихроичным покрытием на гипотенузной грани, обращенной к источнику 1 излучения, и ориентирован таким образом, что его вершина расположена на оптической оси устройства, и блок 5 анализа

Устройство работает следующим образом

Лазерное излучение от источника 1, имеющее в своем составе две спектральные составляющие на длинах волн АДа, падает на отражатель 2, имеющий дихроичное покрытие, которое пропускает практически без потерь излучение одной длины волны AI и отражает излучение другой Xi Отражен- нсе излучение возвращается к блоку 5 ана- лм,.-а, перед которым расположены две пары интерференционных фильтров 4 и 5. Интерференционный угломерный блок 3 выделяет для каждой длины волны АЛ два разнесенных на некоторое расстояние участка волнового фронта, которые после него совмещаются и образуют две интерференционные картины, анализируемые блоком 5.

При повороте отражателя 2 относительно оси волновой фронт отражен ного излучения с длиной волны AI наклоняется на угол

О

ю о

00

ел

XS

, что фиксируется через фильтр 4 с максимальным пропусканием для данной длины волны, В то же время излучение с длиной волны Лг, пройдя отражатель 2, выйдет в том же направлении без поворота фронта, а сигнала на длине аолны Яг не будет. По изменению ширины интерференционной полосы определяется смещение отражателя 2, а следовательно, и объекта.

Формула изобретения Устройство для измерения угловых перемещений объекта, содержащее источник когерентного излучения, отражатель, двух- зеркальный интерференционный угломерный блок и б по1.: анализа, отличаю щ е е- с я тем, что, с целью расширения функцио0

5

нальных возможностей путем измерения также и линейных координат, оно снабжено двумя парами идентично выполненных интерференционных фильтров, каждый из которых в паре имеет отличные полосы пропускания излучения и установлен между отражателем и соответствующим зеркалом угломерного блока, источник излучения выполнен в виде излучателя с двумя длинами волн, соответствующими полосам пропускания интерференционных фильтров, отражатель выполнен двугранным и с дихроичкым покрытием на гипотенузной грачи, обращенной к источнику излучения, и ориентирован таким образом, что его вершина расположена на оптической оси устройства.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых и линейных координат удаленных объектов. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем измерения также и линейных координат Устройство содержит источник когерентного излучения с двумя длинами волн, двугранный отражатель с дихроичным покрытием на гипотенузной грани, обращенной к источнику и ориентированныйтак, что его вершина расположена на оптической оси устройства, двухзеркальный интерференционный угломерный блок, две пары интерференционных фильтров, каждый из которых в паре имеет отличные полосы пропускания излучения 1 ил