Способ исследования маломодовых планарных оптических волноводов Советский патент 1992 года по МПК G02B6/12 

Изобретение относится к оптическим испытаниям и может быть использовано, в частности, для исследований тонких диэлектрических слоев.

Известен способ маломодовых планар- ных оптических во л поводов (МП О В), заключающийся в измерении относительно изменения дифракционной эффективности поверхностной фазовой решетки при смене прилегающей к ней среды.

Однако такой способ имеет высокую трудоемкость и связан с разрушением исследуемого волновода.:

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ исследования МПОВ, включающий формирование на поверхности исследуемого волновода дополнительного многомодового волновода, возбуждение волноводной системы излучением посредством применения элемента связи, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волноводную систему и вычисление по угловому распределению параметров волновода. Однако этот способ характеризуется высокой трудоемкостью, связанной с необходимостью формирования дополнительного волновода на каждом исследуемом МПОВ, кроме того, этот способ вносит неконтролируемые изменения в состав и структуру исследуемого МПОВ, связанные прежде всего с неконтролируемой взаимодиффузией материалов дополнительного волновода, и МПОВ, что приводит к .повреждению последнего.

Цель изобретения - повышение производительности труда и предотвращение повреждения исследуемого волновода.

Дополнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной

VJ

ю о

g

подложке, предпочтительно имеющей показатель преломления, равный показателю преломления подложки с исследуемым волноводом, причем дополнительный волновод размещают параллельно исследуемому вол- поводу таким образом, что расстояние между их свободными поверхностями меньше длины волны используемого излучения.

Для осуществления предложенного способа дополнительный многомодовый волновод (пленка NdAIOs толщиной 1,5 мкм), формируют на одной грани призмен- но го (LINbOaj элемента связи, причем между призменным элементом связи и многомодо- вым волноводом имеется слой SI02 толщи- ной 0.5 мкм для подавления излучающих мод. После определения характеристик дополнительного многомодового волновода призму со сформированным на ее грани дополнительным волноводом размещают на поверхности исследуемого волновода таким образом, чтобы воздушный зазор между их свободными поверхностями был меньше длины волны (6328,2 А, лазера ЛГ-52), после чего измеряют угловое рас- пределение интенсивности прошедшего через волноводную систему излучения и вычисляют по угловому распределению характеристики исследуемого маломодового волновода с учетом того, что характеристи-

ки дополнительного волновода известны. В качестве основного волновода на кварцевую подложку осаждают пленку NdAlOa толщиной 0,3 мкм.

Таким образом, данный способ характеризуется простотой и не приводит к разрушению исследуемого волновода.

Формула изобретения Способ исследования маломодовых пленарных оптических волноводов, включающий формирование дополнительного к исследуемому многомодового волновода с известными параметрами, возбуждение полученной волноводной системы излучением с помощью применения элемента связи, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волноводную систему, и вычисление по угловому распределению параметров волновода, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности труда и предотвращения повреждения исследуемого волноводадополнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной подложке, причем дополнительный волновод размещают параллельно исследуемому волноводу с зазором между ними, меньшим длины волны используемого излучения.

Изобретение относится к оптическим испытаниям и может быть использовано для исследования тонких диэлектрических пленок. Цель изобретения - повышение производительности труда и предотвращение повреждения исследуемого волновода. Способ включает формирование дополнительного волновода к исследуемому, возбуждение волноводной системы излучением посредством применения элемента связи, измерение углового распределения излучения, прошедшего через волноводную систему, и вычисление по угловому распределению параметров исследуемого волновода; при этом до- полнительный волновод с известными параметрами формируют на отдельной подложке.