Устройство наклона столика растрового электронного микроскопа Советский патент 1992 года по МПК H01J37/20 

Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для перемещения объектов в растровых электронных микроскопах (РЭМ), и может найти применение в автономно работающих в вакууме устройствах

Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций в его приводе.

На фиг.1 показан столик РЭМ в исходном, горизонтальном состоянии; на фиг.2 - то же, в наклоненном на 90° положении.

Устройство включает основание предметного столика, размещаемого в вакууми- руемом объеме, ограниченном стенками

корпуса 2 РЭМ. Основание 1 закреплено на кронштейне 3, на концах которого установлены симметрично относительно средней плоскости его поворота две соосные полые втулки 4 и 5, образующие приводной вал. Привод вращения образован двумя пластинками б и 7 из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри втулок вдоль их осей. Внутренние концы пластины входят в направляющие пазы 8 кронштейна 3 по скользящей посадке, внешние концы пластин выходят через уплотнитель за пределы корпуса 2 и контактируют с термобатареями 9 и 10, Одна из пластин имеет в нагретом состоянии (помнит) скрученную вдоль

00

го

XI

продольной оси форму, другая - плоскую форму. При этом в каждой из пластин может осуществляться только прямой фазовый переход мартенсит - аустенит.

При реализации изобретения размеры пластин составляли 10x1,5x80 мм, материал - нитинол. Для уплотнения были использованы поворотные трубки, а термобатареи выбраны типа Селен.

Устройство работает следующим обра- зом.

В исходном состоянии, когда столик занимает горизонтальное положение, обе пластины имеют плоскую форму. Для поворота столика прогревают первую пластину б, например, прямым пропусканием через нее импульсов электрического тока (50 В, до 100 А). Прогрев осуществляют до температуры достижения ею области фазового перехода и начала процесса скручивания, угол которого регулируют уровнем прогрева. Эта пластина, скручиваясь, развивает достаточное усилие и скручивает вторую холодную пластину 7 в области пластической деформации. Уменьшение длины скручивающих- ся пластин компенсируется при этом перемещением свободного конца пластин в направляющих пазах 8 кронштейна 3. Для возврата столика в исходные положения охлаждают с помощью термобатареи 9 пер- вую пластину 6 и прогревают аналогичным образом вторую пластину 7. При этом вторая пластина 7 начинает раскручиваться и пластически деформирует первую пластину 6 так, что обе пластины снова принимают плоскую форму. Затем с помощью термобатареи 10 охлаждают вторую пластину 7, и цикл наклона может быть повторен снова.

При наклоне столика и возврате в исходное положение прогреваемые пластины преодолевают сопротивление только пластической деформации соответствующих противоположных пластин, благодаря чему влияние каких-либо упругих деформаций исключается.

Использование привода с взаимодействующими пластинами из материала с термомеханической памятью кроме повышения точности позиционирования позволяет уп- ростить конструкцию устройства наклона в целом и повысить надежность его работы.

Формула изобретения Устройство наклона столика растрового электронного микроскопа, содержащее основание, закрепленное на кронштейне, который жестко соединен с приводным валом установленным в корпусе и соединенным с приводом вращения отличающееся тем, что, с целью повышения точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций, приводной вал выполнен в виде двух соосных вращающихся полых втулок, симметрично расположенных относительно средней плоскости поворота кронштейна, а привод вращения образован двумя пластинами из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри втулок вдоль их осей, при этом одна из пластин имеет в нагретом состоянии скрученную вдоль продольной оси форму, другая - плоскую форму, их внутренние концы размещены в направляющих пазах кронштейна по скользящей посадке, а внешние концы соединены с термобатареями

Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для наклона столиков объектов в растровых электронных микроскопах. Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций его составных элементов. Для этого в устройстве наклона привод вращения кронштейна, на котором закреплен столик, образован двумя пластинами из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри соосных втулок, установленных на концах кронштейна. Одна из пластин имеет в нагретом состоянии скрученную вдоль оси форму, другая - плоскую форму. Внутренние концы пластины размещены в направляющих пазах кронштейна по скользящей посадке, а внешние соединены с термобатареями. При нагреве одной из пластин развиваемое ею усилие фазового перехода скручивает или раскручивает другую холодную пластину только в области пластической деформации. 2 ил.

to. 7

В

Фиг 2