АНАЛИЗАТОР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ПО КИНЕТИЧЕСКИМ ЭНЕРГИЯМ Советский патент 1965 года по МПК H01J47/00 H01J49/44 

Известпы анализаторы для определения энергетического состава пучков заряженных частиц но кинетическим энергиям, выполненные в виде двух параллельных пластин, между которыми создано однородное электрическое поле.

В предложенном анализаторе электроды выполнены в виде двух коаксиальных цилиндров, внешний из которых заряжен одноименно с зарядом частиц, а внутреппий имеет две кольцевые щели, расположенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, расположены па оси цилиндров, b результате чувствительность анализатора значительно новысилась.

ria чертеже изображена схема прибора.

Анализатор состоит из двух коаксиальных цилиндрических электродов , между которыми создается тормозящее заряженные частицы поле. Внутренний электрод имеет две кольцевые щели i и 4, расположенные на некотором расстоянии одна от другой по оси прибора.

Источник заряженных частиц 5 размещается на оси прибора. Он так же, как и впутрепний электрод, находится под нулевым потенциалом. Взаимное расположение источника и кольцевых щелей выбирается таким образом, чтобы центральный луч ионного пучка, попадающий от источпика через щель 3 в область между цилиндрическими электродами, образовал с осью Z прибора угол а 42°20.

Внещнему электроду сообщается потенциал и, абсолютная величина которого должна VI siii:i

оыть не менее, чем(где q - заряд

ч

частицы, W - кинематическая энергия частиц) , а знак должен совпадать со знаком анализируемых частиц. Таким образом, между

цилиндрическими электродамп создается тормозящее заряженные частицы поле, обладающее свойствами электростатического зеркала. Отразивщись от поля, пучок моноэнергетических ионов проходит через кольцевую щель 4

и возвращается в область пулевого потенциала, создавая в точке А изображение источника.

В плоскости изображения располагается диафрагма 6 с малым круглым отверстием,

центр которого находится на оси прибора. За диафрагмой помещается детектор зарял енных частиц 7, в качестве которого может быть использован фарадеев цилиндр.

25

Предмет изобретения

повышения чувствительности, электроды выполнены в виде двух коаксиальных цилиндров, внешний из которых заряжен одноимеино С зарядом частиц, а внутренний имеет две

кольцевые ш,ели, расположенные между источником частиц и приемником, которые, в свою очередь, расположены на оси цилиндров.