Интерферометр для измерения перемещений объекта Советский патент 1992 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано для точного измерения линейных перемещений объектов в метрологии, машиностроении и других областях техники. Целью изобретения является повышение точности измерений за счет повышения термической устойчивости интерферометра. Для этого интерферометр снабжен оптическим клином 9, размещенным в опорном канале 5 и установленным на каретке 8 совместно с оптическим отражателем 7, расположенным в измерительном канале 4 интерферометра. Пучок излучения в опорном канале 5 попадает на оптический клин 9 и падает в процессе перемещения каретки 8 поочередно на неподвижные от- ражзтели 10.11 и 12. Каждый из неподвижных отражателей возвращает пучок на светоделитель 3 с которого опорный и измерительный пучки попадают на выход интерферометра, создавая интерференционную картину. Эта картина регистрируется через диафрагмы 14,15 на детекторах 16 и 17, установленных в фокальной плоскости цилиндрической линзы 13. 1 ил. СЛ С