название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
МОЩНЫЙ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ | 2015 |
|
RU2598142C2 |
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 2007 |
|
RU2334325C1 |
УСТРОЙСТВО НАКАЧКИ МОЩНОГО ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА | 1998 |
|
RU2141708C1 |
ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 2011 |
|
RU2446530C1 |
РАЗРЯДНАЯ СИСТЕМА ЛАЗЕРА С ЧАСТИЧНО ПРОЗРАЧНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ | 2013 |
|
RU2559172C2 |
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 2012 |
|
RU2519867C2 |
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР | 2012 |
|
RU2503104C1 |
РАЗРЯДНАЯ СИСТЕМА ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА | 2013 |
|
RU2559029C2 |
ЭКСИМЕРНАЯ ЛАЗЕРНАЯ СИСТЕМА И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ | 2012 |
|
RU2519869C2 |
ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ | 2012 |
|
RU2510109C1 |
Устройство для создания ультрафиолетового излучения, содержащее заполненный рабочей средой с инертным газом герметичный корпус из электроизоляционного материала, внутри которого установлены два охлаждаемых электрода с параллельными рабочими поверхностями и предыонизатор, и блок питания с высоковольтным конденсатором, соединенным с указанными электродами, отличающееся тем, что, с целью повышения его эффективности, корпус выполнен в виде параллелепипеда из непрозрачного для ультрафиолетового излучения материала, снабжен съемной крышкой и расположенным напротив него окном, прозрачным для ультрафиолетового излучения, электроды установлены в одной паре параллельных стенок корпуса с возможностью перемещения навстречу друг другу и выполнены в виде пластин с двумя рядами параллельных им внутренних камер, одни из которых предназначены для охлаждения и расположены с тыльной стороны пластин, а другие предназначены для подачи рабочей среды, в состав рабочей среды введены галогениды водорода, рабочие поверхности пластин зеркализованы и перфорированы, конденсатор расположен на тыльной стороне одной из указанных пластин, предыонизатор установлен со стороны крышки вне зоны расположения пластин, а между крышкой и торцами пластин установлен рефлектор.
Авторы
Даты
2005-11-20—Публикация
1990-05-18—Подача