Устройство для измерения параметров вибрации Советский патент 1992 года по МПК G01H17/00 

Изобретение относится к виброизмерительной технике и может быть использовано для измерения параметров вибрации любых объектов.

Известны устройства для измерения параметров вибрации с использованием пози- ционно-чувствительных фотоприемников. Первый аналог содержит источник излучения ОКГ, отражающую пластину, оптическую систему, позиционно-чувствительный фотоприемник и схему обработки. Сфокусированный луч ОКГ попадает на отражающую пластину, расположенную на исследуемом объекте, отражается от нее и через оптическую систему попадает на фотокатод приемного устройства. За счет вибрационного

движения отражающего зеркала происходит периодическое с частотой вибрации перемещение луча в пространстве. Сигнал, снимаемый с позиционно-чувствительного датчика, оказывается промодулированным по амплитуде с частотой вибрации объекта, а глубина модуляции определяется гмпли- тудой вибрации объекта. Сигнал усиливается, детектируется и измеряется двумя измерительными приборами: частотомером и пиковым вольтметром. Устройство дает информацию о перемещениях по двум взаимно перпендикулярным направлениям. Недостатками аналога являются: отсутствие информации о вибрации в третьей плоскости, недостаточная разрешающая способность из-за низкой чувствительности

х| оо со

Сд

- 00

датчика, схема виброметра без частотомера и пикового вольтметра не работоспособна.

За прототип принято устройство для измерения параметров вибрации, содержащее источник излучения ОКГ, отражающую пластину, две оптические системы, полупрозрачное зеркало, жестко соединенное с отражающей пластиной и перпендикулярное к ней, фотоприемник в составе координатного датчича и блока преобразования, Луч ОКГ отражаетсяГо Т пластины и от полупрозрачного зеркала и через свои оптические системы поступает на координатный датчик, вырабатывающий сигналы, пропорциональные вертикальной и горизонтальной координатам, которые поступают для обработки в блок преобразования. Прототип выполняет измерение частоты вибрации и линейные перемещения в плоскости X, Z. Недостатки прототипа: не производит измерений по третьей координате Y, недостаточная разрешающая способность, не работоспособен без частотомера и пикового вольтметра, не способен выдавать измерения в реальном масштабе времени, что не позволяет использовать его в автоматических системах регулирования,

Цель изобретения - измерение параметров вибрации одновременно в трех взаимно перпендикулярных плоскостях и повышение разрешающей способности измерений.

Сущность изобретения и его отличительные признаки состоят в том, что устройство для измерений параметров вибрации, содержащее источник излучения, отражающую пластину и координатный датчик двух координат, снабжено измерителем перемещений, содержащем объектив и последовательно соединенные линейку световодов, блок фотоприемников, сдвиговый регистр, триггер, ключ и счетчик, координатный датчик двух координат выполнен в виде объектива, последовательно соединенных генератора тактовых импульсов, первого делителя частоты, блока спиральной развертки, передающей телевизионной трубки и импульсного усилителя, последовательно соединенных первого ключа и первого распределителя импульсов. Первый вход ключа подключен к выходу генератора тактовых импульсов, второй вход - к первому выходу первого делителя частоты, первого и второго блоков элементов И, первые входы которых подключены параллельно к первому выходу импульсного усилителей, вторые входы - к соответствующим выходам первого распределителя импульсов, первого и второго блоков числовых значений, каждый из

которых содержит последовательно соединенные дешифратор и шифратор, последовательно соединенных второго делителя частоты, счетчика витков спиралей и схемы

обнуления, Вход второго делителя частоты подключен к первому выходу первого распределителя импульсов, первый вход счетчика подключен к выходу второго делителя частоты, второй вход подключен к выходу

0 схемы обнуления, а выходы счетчика подключены к соответствующим входам дешифраторов первого и второго блоков числовых значений, последовательно соединенных второго ключа, триггера, элемен5 та задержки и третьего ключа, первый вход второго ключа подключен ко второму выходу импульсного усилителя, второй вход второго ключа - к четвертому выходу делителя частоты, управляемый вход триггера под0 ключей к пятому выходу делителя частоты, второй выход триггера - к второму входу третьего ключа, пятого и седьмого ключей, первые входы четвертого и пятого ключей подключены к выходу дешифратора первого

5 блока числовых значений, первые входы шестого и седьмого ключей - к выходу шифратора второго блока числовых значений, вторые входы четвертого и шестого ключей подключены к выходу третьего ключа пяти

0 буферных регистров, первый вход первого буферного регистра подключен к выходу четвертого ключа, первый вход второго буферного регистра - к выходу пятого ключа, первый вход третьего буферного регистра

5 подключен к выходу шестого ключа, первый вход четвертого буферного регистра - к выходу седьмого ключа, вход пятого буферног о регистра подключен к выходу счетчика измерителя перемещений, второго распреде0 лителя импульсов, вход которого подключен к первому выходу первого распределителя импульсов, а выходы подключены - первый - ко вторым входам первого и второго буферных регистров, второй - к третьим вхо5 дам первого и второго буферных регистров и ко вторым входам третьего и четвертого буферных регистров, третий выход подключен к третьим входам третьего и четвертого буферных регистров, и пяти шифраторов.

0 входы которых и четвертые входы первого, второго, третьего, четвертого буферных регистров и второй вход пятого буферного регистра подключены к выходу схемы обнуления, а отражающая пластина микро5 отражателя выполнена с двумя микроотражателями, причем диаметр первого .в два раза меньше диаметра второго микроотра- жателя,

Функциональная схема устройстоа представлена на фиг. 1, отражающая пластина с микроотражателями - на фиг. 2, принцип получения координат X, Z - на фиг.

3,входной торец квантующей линейки световодов - на фиг. 4 устройство содержит отражающую пластину 1 с микроотражате- лями А и В, координатный датчик 2 двух координат X, Z в составе генератора 3 тактовых импульсов, первого делителя частоты

4,блока спиральной резвертки 5, источника

6 светового излучения, передающей телеви- зионной трубки 7, объектива 8, первого ключа 9, первого распределителя 10 импульсов, импульсного усилителя 11, второго делителя частоты 12, счетчика 13 витков спиралей, два блока 14 и 15 элементов И, схемы 16 обнуления, первый 17 и второй 18 блоки числовых значений, каждый из которых включает дешифратор 19 и шифратор 20, второй ключ 21, триггер 22, элемент задержки 23, третий ключ 24, четвертый ключ 25, пятый ключ 26, шестой ключ 27, седьмой ключ 28, пять буферных регистров 29, 30, 31, 32, 33, пять шифраторов 34, 35. 36, 37, 38 и второй распределитель 39 импульсов, формирующий сигнал знака минус координат X и Z.

Устройство содержит измеритель 40 перемещений nt третьей координате Y в составе обьектива 41, линейки 42 световодов, блока 43 фотоприемников, сдвигового регистра 44, триггера 45, ключа 46 и счетчика 47 импульсов.

Кординатный датчик 2 измеряет и представляет в дво.ичном Коде мгновенные значения координат мякроотражателей А и В. изменяющиеся под воздействием вибрации в плоскости XOZ, а измеритель 40 перемещений измеряет координату Y. Обработкой цифровой информации координат X, Z, Y микроотражателей А и В в ЭВМ по соответствующему алгоритму получаются значения всех параметров линейной вибрации иссле- , дуемого объектива:

-перемещения Sx, Sy, Sz ,

-скорости Vx, Vy, Vz;

-ускорения ах ay, аг;

-резкости их, Uy. U2;

-частоты fx, fy. fz; общей частоты вибрации f,

Устройство работает следующим образом.

Перед проведением измерений на объект прикрепляется пластина 1, представляющая собой кварцевую пластину с низким коэффициентом линейного расширения, длиной 7 мм, шириной 3 мм и имеющую с тыльной стороны магнит, которым она держится на металлических объектах. Крепление на других объектах может производиться при помощи воска или клея. Диаметр первого микроотражателя А - 0,01

мм, диаметр второго микроотражателя В - 0,02 мм. Разница в диаметрах обеспечивает их распознавание координатором 2. Вес пластины от 2 до 4 г, что исключает ее влияние на характер вибрации объекта, С включением питания генератор 3 генерирует тактовые импульсы частотой 64 МГц. Делитель частоты 4 производит деление частоты импульсов для блока спиральной развертки 5 на первом выходе 64000:1/1000 Гц/, на втором выходе 128:1/0,5 МГц/, на третьем выходе для измерителя 40 перемещений 4:1 /16 МГц/, на четвертом выходе для второго ключа 21 2:1/32 МГц/, на пятом выходе для триггера 22 8:1 /8 МГц/. Блок 5 формирует в передающей трубке 7 развертывающуюся от центра спираль в 500 витков.

В момент начала кадра спиральной развертки передним фронтом импульса с первого выхода первого делителя 4 частоты открывается первый ключ 9, который остается открытым в течение длительности импульса. В открытом состоянии первый ключ 9 пропускает на вход первого распределителя 10 импульсов тактовые импульсы генератора 3. С выходов распределителя 10 последовательно во времени на вторые входы элементов И блоков 14 и 15 поступают 32 импульса. С приходом в блок 6 переднего фронта импульса с первого делителя 4 источник излучения выдает импульс излучения в ИК-диапазоне в сторону А и В. Длительность импульса излучения не превышает 2 мкс. В качестве источника излучения принят диод АЛ119Б с временем нарастания импульса 0,35 мкс. В момент излучения светодиодом импульса объектив 8 формирует на фотокатоде трубки 7 изображение обоих микроотражателей. Для повышения точности измерений объектив 8 производит двукратное увеличение изображаемого поля зрения. Передающая трубка 7 представляет собой м-злоинерционную трубку, обеспечивающую 1000 кадр/с с диаметром фотокатода не менее 20 мм, изокон ЛИ801 с рабочей площадью 24 х 32 мм. В процессе спиральной развертки луч сканирует изображения обоих микроотражателей на фотокатоде. Два импульсных сигнала с трубки 7 поступают в импульсный усипитель 11, который после усиления выдает их с первого и второю выходов. Импульс с первого выхода равен по длительности импульсу с распределителя 10 и поступает параллельно на первые входы 32 элементов И блока 14 и 32 элементов И блока 15. Число элементов И соответствует угловой разрешающей способности в витке спирали. На вторые входы элементов 1/1 последовательно поступают импульсы с блока 10. С выходов блока

10 за виток спирали выходят 128 импульсов, которые осуществляют собой дискретность поворота луча в 2,81°. Выходы элементов И подключены к соответствующим входам дешифраторов 19 блоков 17 и 18. Одновременно на вход дешифратора поступают сигнал с одного элемента И и девятиразрядный код номера витка спирали со счетчика 13, Дешифратор выполнен по схеме прямоугольного дешифратора. Выходы дешифратора подключены к соответствующим входам шифратора 20, выполненного по схеме двухступенчатого шифратора. С приходом на входы дешифратора кода номера спирали со счетчика 13 и импульса с элемента И возбуждается соответствующий выход. Дешифратор 19 имеег1б 000 выходов. Шифратор преобразует входной сигнал с дешифратора в двоичный код, соответствующий определенной координате X и Z. За кадр шифратор максимально формирует 16000 координат X и Z. Величины координат разных четвертей круга фотокатода трубки 7, но од- нихтл тех же углов одинаковы и различаются лишь знаками. Поэтому блок 10 имеет 32 выхода на одну четверть круга, которые за время одной спирали повторяются четыре раза. Счетчик 13 ведет счет спиралей по импульсам с первого выхода распределителя 10. За время витка появляются четыре импульса, они поступают на вход счетчика через второй делитель 12 частоты /4:1/. Счетчик 13 имеет девять разрядов для представления в двоичном коде чисел от 1 до 500 /111110100/. По истечении 500 витков счетчик обнуляется схемой 16 обнуления. При наличии в счетчике числа 500 на выходе схемы 16 появляется импульс U0, обнуляющий разряды счетчика 13. Этот же сигнал используется для выдачи содержимого из блоков буферных регистров 29, 30, 31, 32, 33 и шифраторов 34. 35, 36, 37, 38. Получение координат микроотражателей А, В поясняется фиг. 3, где обозначено: R - радиус единичной окружности; R sin а- проекция на вертикальную линию перекрестия, координата Z; - R cos a - проекция на горизонтальную линию перекрестия, координата X;

а - центральный угол поворота луча в витке спирали.

Величина проекции определяется моментом совпадения переднего фронта импульса с блока 11с тактовым импульсом с распределителя 10. т.е. числом витков спиралей, укладывающихся в проекции. Величина проекции равна числу витков спиралей, умноженных на диаметр луча в плоскости фотокатода трубки 7. Координаты

X первой четверти, выдаваемые шифратором 20, представлены в табл. 1.

Координаты Z, выдаваемые шифратором 20, представлены в табл. 2.

5Цена младшего разряда в мкм с учетом

кратности объектива 2х равна диаметру апертуры луча и составляет 12 мкм. Погрешность измерения 12 мкм х 0,5 ± 6 мкм. Распознавание координат по принад0 лежности к микроотражателям выполняет второй ключ 21, триггер 22, элемент задержки 23 и ключи 24, 25, 26, 27, 28. Признаком для распознавания служит разница диаметров микроотражетелей Аи В. Со второго

5 выхода усилителя 11 импульсы пыходят разной длительности соответственно диаметром микроотражателей. При сканировании изображения отражателя А импульс в два раза короче по длительности, чем при ска0 нировании изображения В.

Ключ 21 открывается на время длительности импульса с выхода блока 11. За время длительности импульса от изображения А через ключ 21 проходит один тактовый им5 пульс с четвертого выхода первого делителя 4 частоты, Он поступает в триггер 22, с первого выхбда которого через элемент 23 задержки поступает на вход третьего клгана 24, который находится постоянно в откры0 том состоянии. Если второго импульса на вход триггера 22 не последовало, ключ 24 остается открытым, а импульс, прошедший ключ, открывает на время своей длительности ключи 25 и 27, через вторые координаты

5 с шифраторов 20 поступают через четвертый ключ 25 в буферный регистр 29, через шестой ключ 27 в буферный регистр 31. Если же сканируется изображение отражателя В, то через ключ 21 проходит два тактовых

0 импульса с первого делителя 4. При этом пока с первого выхода триггера 22 импульс проходит элемент 23 задержки, со второго выхода триггера 22 импульс закроет ключ 24. И с первого выхода триггера 22 импульс

5 не пройдет на ключи 25 и 27. А импульс со второго выхода триггера 22 откроет на время своей длительности пятый ключ 26, через который пройдет код координаты X в буферный регистр 30, и седьмой ключ 28, через

0 который пройдет код координаты Z в буферный регистр 32. Длительность задержки импульса элементом 23 соответствует времени появления сигнала на втором выходе триггера 22 при сканировании изображения В,

5 Обнуляется триггер 22 сигналом Uo с пятого выхода блока 4, следующего с частотой 8 МГц (в четыре раза реже, чем частота счетных импульсов для триггера 22). Длительность прохождения сигнала с первого выхода импульсного усилителя 11 через элемент И, дешифратор 19 и шифратор 20 соответствует длительности прохождения сигнала с четвертого выхода блока 4 через ключ 21, триггер 22, элемент 23 задержки и ключ 24, К концу кадра в буферных регистрах 29, 31, 30, 32 сосредоточатся коды координат отражателей А /Хд,7.А/ и В /Хв,2в/ соответственно, Блок 39 представляет второй распределитель импульсов на четыре выхода и формирует знак минус для координат во второй, третьей и четвертой четвертях круга. Счетные импульсы на его вход поступают с первого выхода первого распределителя 10 импульсов. За один виток приходят четыре импульса, в каждую четверть по одному. Первый выход блока 39 не используется, в первой четверти обе координаты положительны, Со второго выхода сшнал используется как сигнал минус для координаты X в буферных регистрах 29 и 30, с третьего выхода сигнал используется как сигнал минус для координат X и Z в буферных регист pax 29, 30, 31, 32, с четвертого выхода сигнал используется как минус для координаты Z в буферных регистрах 31, 32.

Формирование третьего параметра вибрации - перемещения по координате Y (дальность до пластины 1) синхронно с получением координат X и Z осуществляет измеритель 40. Измерение дальности до пластины 1 осуществляется по базе между центрами отражателей А и В по соотношению между предметом и изображением о плоскости входных зрачков линейки 42 световодов

B-f

где I - дальность до пластины 1, мм;

Б - длина измерительной базы, равная 5,000 мм+ 0,001 мм;

ч - длина изображения измерительной базы в мм;

f- фокусное расстояние обьектива 41, равное 20 мм.

Размер базы и фокусное расстояние обьектива 41 подобрано для получения погрешности измерения, близкой к погрешности получения координат X, Z. Разрешающая способность определяется шириной входного торна световода линейки 42, принятой 0,005 мм. Погрешность измерения координаты Y равна 0,5 квантования и не превысит ±3,5 мкм (табл. 3). Для облегчения наведения отраженного изображения во входной торец линейки 42 она выполнена из световодов шириной 5 мкм и высотой 3

мм. Линейка 42 состоит из 834 световодов в двух частях по 417 штук в каждой. Внутреннее расстояние между частями 8,330 мм + 0,001 мм.

5 В устройстве диапазон измерений перемещений по координате Y составляет + 2 мм. Это соответствует изменению дальности в диапазоне от 8 до 12 мм, т.е. 10 ± 2 мм. Участок линейки ± 4,165 мм от ее центра

0 является нерабочим, поэтому линейка 42 составлена из двух частей. Выходные торцы световодов оптически связаны с фотоэлектрическими приемниками блока 43. В качестве фотоприемников применены фотодиоды

5 ЛФД, изготовленные методом микроэлектронной технологии на выходных торцах световодов. Выход каждого фотоприемника подключен к соответствующему разрядному входу сдвигового регистра 44. При облу0 чении пластины 1 излучателем 6, свет, отраженный от отражателей А, В, попадает па входные торцы соответствующих световодов в зависимости от дальности. Световые импульсыпреобразуются

5 фотоприемниками в электрические, они заполняют соответствующие разряды сдвигового регистра 44. Между разрядаг и с импульсами образуется интервал незаполненных разрядов, пропорциональный даль0 мости до тастины 1. Число разрядов в регистре включает две секции по 417 разрядов, между которыми включена линия задержки, задерживающая сдвиговый импульс на время, равное длительности

5 прохождения сдвиговым импульсом 1666 разрядов регистра 44, Сдвиговый импульс, поступает на управляющий вход регистра 44 с третьего выхода делителя 4 частоты Число разрядов 1666 соответствует рассто0 япию между частями линейки 42. Число разрядов D секции регистра 44 соответствует (12,500 мм - 8,330 мм): 2: 0,005 мм 417 шт.. где 12,500 мм - полная длина линейки 42; 8,330 мм -длина неиспользуемой части

5 линейки;

2 - число секций разрядов; 0,005 мм - ширина входного торца световода. Импульсы сдвига на управляемый вход ре0 гистра 44 приходят с третьего выхода делителя 4 (16 МГц), которые сдвигают содержимые в регистре два импульса на вход в триггер 45, Первый импульс вызывает появление импульса на первом выходе триг5 гера 45, который открывает ключ 46, через который в счетчи 47 проходят счетные импульсы с выхода делителя 4 частоты Второй импульс с выхода регистра 44 вызывает появление сигнала па втором выходе триггера 43, который закрывает ключ 46 и счетчик 47

прекращает счет импульсов. Одновременно сигнал со второго выхода триггера выдает содержимое счетчика 47 в буферный регистр 33. В буферных регистрах 29, 30, 31, 32, 33 сосредотачиваются по три координаты микроотражателей А и В.

Для использования полученных параметров вибрации в обработке с целью получениях всех параметров линейной вибрации введены признаки опознавания координат микроотражателей. Признаки определяются трехразрядным двоичным кодом, которые формируются шифраторами 34, 35, 36, 37, 38. Признак кода координаты X отражателя А представляется кодом 111 и формируется шифратором 34, признак координаты Z отражателя А представляется кодом 101 и формируется шифратором 36, признак координаты X отражателя В представлен кодом 110 и формируется шифратором 35. Признак координаты Z отражателя В представлен кодом 100 и формируется шифратором 37. Признак координаты Y, одинаковый для обоих отражателей, представлен кодом 010 и формируется шифратором 38. Код признака координаты формируется шифраторами по приходу сигнала выдачи со схемы 16 обнуления. Полный код координаты представляется кодом признака из шифраторов (34, 35, 36, 37, 38) и десятиразрядным кодом из буферного регистра (29, 30, 31, 32, 33), старший разряд представляет знак координаты (нуль-знак плюс, 1 -знак минус). Координата Y знака минус не имеет. При отсутствии вибрации по Y она не меняется по величине, идет одно и то же значение. Частота выдачи измеренных координат 1000 Гц.

Технико-экономический эффект состоит в бесконтактном получении параметров вибрации одновременно и синхронно в трех взаимно перпендикулярных плоскостях, в повышении разрешающей способности и выдаче их в реальном масштабе времени (в темпе измерений).

Формула изобретения

Устройство для измерения параметров вибрации, содержащее источник излучения, отражающую пластину и координатный датчик двух координат, отличающееся тем, что, с целью измерения параметров вибрации одновременно в трех взаимно перпен- дикулярных плоскостях и повышения разрешающей способности измерений, оно снабжено измерителем перемещений, содержащим объектов и последовательно соединенные линейку световодов, блок фотоприемников, сдвиговый регистр, триггер, ключ и счетчик, координатный датчик двух координат выполнен в виде объектива,

последовательно соединенных генератора тактовых импульсов, первого делителя частоты, блока спиральной развертки, передающей телевизионной трубки и импульсного

усилителя, последовательно соединенных первого ключа и первого распределителя импульсов, первый вход ключа подключен к выходу генератора тактовых импульсов, второй вход - к первому выходу первого

0 делителя частоты, первого и второго блоков элементов И, первые входы которых подключены параллельно к первому выходу импульсного усилителя, вторые входы - к соответствующим выходам первого распре5 делителя импульсов, первого и второго блоков числовых значений, каждый из которых содержит последовательно соединенные дешифратор и шифратор, последовательно соединенных второго делителя частоты,

0 счетчика витков спиралей, и схемы обнуления, вход второго делителя частоты подключен к первому выходу первого распределителя импульсов, первый вход счетчика - к выходу второго делителя часто5 ты, второй оход- к выходу схемы обнуления, а выходы - к соответствующим входам дешифраторов первого и второго блоков числовых значений, последовательно соединенных второго ключа, триггера, эле0 мента задержки и третьего ключа, первый вход второго ключа подключен к второму выходу импульсного усилителя, второй вход - к четвертому выходу делителя частоты, управляемый вход триггера подключен к пя5 тому выходу делителя частоты, второй выход триггера - ко второму входу третьего ключа, пятого и седьмого ключей, первые входы четвертого и пятого ключей подключены к выходу шифратора первого блока

0 числовых значений, первые входы шестого и седьмого ключей - к выходу шифратора второго блока числовых значений, вторые входы четвертого и шестого ключей - к выходу третьего ключа, пяти буферных регист5 ров, первый вход первого буферного регистра подключен к выходу четвертого ключа, первый вход второго буферного регистра - к выходу пятого ключа, первый вход третьего буферного регистра - к выходу ше0 стого ключа, первый вход четвертого буферного регистра - к выходу седьмого ключа, вход пятого буферного регистра - к выходу счетчика измерителя перемещений, второго распределителя импульсов, вход которого

5 подключен к первому выходу первого распределителя импульсов, первый выход - к вторым входам первого и второго буферных регистров, второй выход- к третьим входам первого и второго и к вторым входам третьего и четвертого буферных регистров, третий выход - к третьим входам третьего и четвертого буферных регистров, и пяти шифраторов, входы которых, четвертые входы первого - четвертого буферных регистров и второй вход пятого буферного регистра подключены к выходу схемы обну

жателя.

ления, а отражающая пластина микроотражателя выполнена с двумя микроотражателями, диаметр первого из которых в два раза меньше диаметра второго микроотра

Изобретение относится к виброизмерительной технике и может быть использовано для измерения параметров вибрации. Цель изобретения - измерение параметров вибраций одновременно в трех взаимно перпендикулярных плоскостях и повышение разрешающей способности измерения. Цель достигается тем, что в устройство введен измеритель перемещения объекта в третьей плоскости, а координатный датчик производит измерение перемещений двух микроотражателей в плоскостях X, Z, Y и выдачу трех координат обоих микроотражателей в двоичном коде в реальном масштабе времени с частотой 1000 Гц. Устройство содержит пластину с двумя микроотражателями, координатный датчик двух координат на передающей телевизионной трубке со спиральной разверткой луча и содержащий два блока элементов И, два блока числовых значений, первый и второй распределители импульсов, ключи, счетчик витков спиралей, пять шифраторов, пять буферных регистров и измеритель перемещений по координате Y в составе квантующей линейки световодов, блока фотоприемников, сдвигового регистра, триггера ключа и счетчика. Погрешность измерений виброперемещений го координатам X и 2 ±6 мкм, по координате Y ± 3,5 мкм. 4 ип., 3 табл. сл с

Таблица

Таблица2

ТаблицаЗ

г:

&

Гt-.i- .,...--j Ь- -J -4-J 1.-.. Lflf t

T-U-P T

%г/

Продолжение табл.3

43

М

п

Микроотрвжатель Михроол ражал &М)

Фиг

Фиг.3