Модулятор оптического излучения Советский патент 1993 года по МПК G03G16/00 

Изобретение относится к модуляторам оптического излучения электронным или оптическим же модулирующим излучением.

Известен модулятор оптического излучения, включающий размещенные на под- ложке первый управляющий электрод, деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные через чувствительный к модулирующему излучению слой со вторым управляющим электродом (а.с. № 1607029, МКИ5 G 03 G 16/00, 1985г).

Если модулирующее излучение содержит фоновую составляющую, то она будет присутствовать и в воспроизводимом изо- бражении,

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем устранения этого недостатка.

Указанная цель достигается тем, что в модулятор, содержащий размещенный на подложке первый электрод, деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные со вторым управляющим электродом через фо- торезистивный слой, введены последовательно расположенные с противоположной от первого управляющего электрода стороны примыкающий к деформируемым элементам диэлектрический слой и третий управляющий электрод.

Изобретение поясняется чертежом.

Модулятор оптического излучения включает в себя размещенные на подложке 1 деформируемые, выполненные из прово- дящего материала зеркальные элементы 2 и первый управляющий электрод 3. В варианте на фиг. 1 зеркальные элементы 2 через чувствительный к модулирующему излучению слой 4 соединены со вторым управляю- щим электродом 5. С противоположной от первого управляющего электрода 3 стороны к зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управляющий электрод 7. Слой 6 и электрод 7 прозрачны.

Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучения прикрыты зеркальными участками, а их проводящие участки соединяют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4. Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга.

Устройство работает следующим образом.

Модулирующее излучение в слое 4 наводит проводимость, на зеркальных элементах 2 устанавливается электрический потенциал, соответствующий таковому управляющего электрода 5, что вызывает электростатическую деформацию зеркальных элементов 2 и рассеивание ими оптических лучей, регистрируемое считывающей шли- рен-оптикой как полезный сигнал.

Если на дополнительный электрод 7 подать соответствующий потенциал, стремящийся деформировать зеркальные элементы 3 в противоположную сторону, то совместное действие приведет к тому, что модулирующее излучение низкой интенсивности не сможет деформировать элементы 3. Таким образом можно отфильтровать фоновую составляющую модулирующего излучения.

Формула изобретения

Модулятор оптического излучения, включающий размещенные на подложке первый управляющий электрод, деформируемые, выполненные из проводящего материала зеркальные элементы, соединенные через фоторезистивкый слой с вторым управляющим электродом, отличающий- с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем устранения фоновой составляющей модулирующего излучения, в него введены последовательно расположенные с противоположной от первого управляющего электрода стороны примыкающий к деформируемым элементам диэлектрический слой и третий управляющий электрод.

Использование: для модуляции оптического излучения электронным или оптическим модулирующим излучением. Сущность изобретения заключается в том, что модулятор включает в себя размещенные на подложке 1 деформируемые выполненные из проводящего материала зеркальные элементы 2 и первый управляющий электрод 3. С противоположной от первого управляющего электрода 3 стороны к зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управляющий электрод 7. Слой 6 и электрод 7 прозрачны. Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучения прикрыты зеркальными участками, а их проводящие участки соединяют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4. Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга. 1 ил.