Емкостный датчик давления Советский патент 1993 года по МПК G01L9/12 

Описание патента на изобретение SU1820249A1

;-. . Мирная cfapxa 4bf.f

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения давления датчиками, изготавливаемыми с применением тонкопленочной микроэлектррнной технологии.

Целью изобретения является повышение точности измерений за счет снижения погрешности преобразования от непараллельности электродов.

Цель достигается тем, что в емкостном датчике давления рабочий и опорный конденсаторы выполнены с равными начальными зазорами и емкостями, а их электроды разделены, каждый, на два изолированных коаксиально расположенных электрода при условии равенства их начальных емкостей и следующих соотношениях размеров электродов:. ;-: . ;. . , ; ; . ;,-:;-, у; -. - у-;.

R2 R-1 + А; Ra г0; R4 R; RG RS + А ; Ri4 + R24 - Ra4 0; Rs4 - R44 + Re4 - 0: Ri2 + Ra2 - Ra2 + R42 - Rs2;- Re2 + 0,

где R- радиус мембраны; r0 - радиус жесткого центра мембраны; А- ширина дорожки между электродами; Ri - радиус кругового электрода первого рабочего конденсатора; RZ --внутренний радиус кольцевого электрода второго рабочего конденсатора; Ra- наружный радиус кольцевого электрода второго рабочего конденсатора; R4 - внутренний радиус кольцевого электрода первого опорного конденсатора: RS - наружный радиус кольцевого электрода первого опорного конденсатора; Re - внутренний радиус кольцевого электрода второго опорного конденсатора; наружный радиус кольцевого электрода второго опорного конденсатора. ;

На фиг. 1 показан емкостный датчик давления; на фиг. 2 -схема положения электродов конденсатора..

Емкостный датчик давления (фиг. 1) содержит корпус 1 с утолщен ной недеформируемой торцевой частью, мембрану 2 с жестким центром 3-й пластину4, где, соответственно, размещены электроды опорного 5. 6 и рабочего 7, 8 конденсаторов. Рабочие электроды 7, 8 размещены на жестком центре 3 мембраны 2, а опорные электроды 5, 6 - на торцевой недеформи- руемОй части корпуса. После выставки зазора за счет полосок вкладышей толщиной d0. производят сварку пластины 4 с корпусом 1.

, Емкостный датчик давления работает следующим образом. При подаче давления

Р в полость датчика, мембрана 2 прогибается. При .этом, изменяется зазор и емкость рабочего конденсатора, а емкость опорного конденсатора остается неизменной, Электроды каждого конденсатора разделены на два изолированных коэксиально расположенных электрода: электроды рабочего конденсатора - на круговой, радиусом Ri, и кольцевой, с радиусами Ra, Ra, и размещены

на жестком центре мембраны, причем RS г0. а электроды опорного конденсатора - на два кольцевых, с радиусами Ro, R5 и Re, ; R-7 i и размещены на утолщенной недеформируемой части корпуса датчика, при4eMR4-R. - Выходным параметром датчика является разность емкостей разделенных электродов, как рабочего, так опорного конденсаторов.

Функция преобразования емкостного датчика давления, при выполнении указанных выше условий для радиусов электродов, линейна при любом угле параллельности электродов и не зависит от него. При этом,

как аддитивная, так и мультипликативная составляющие погрешности описанного датчика равны нулю.

Преимуществом описанного емкостного датчика давления является повышение точности измерений, т.к. датчик нечувствителен к непараллельности электродов, благодаря чему также значительно упрощается технология изготовления такого датчика.

Формула изобретения

Емкостный датчик давления, содержащий корпус с мембраной и неподвижным . диском, на которых расположены электроды рабочего и опорного конденсаторов, о тл и ч а ю щи йся тем, что. с целью повыщения точности измерений за счет снижения погрешности преобразования от непараллельности электродов, рабочий и опорный конденсаторы выполнены с равными начальными зазорами и емкостями, а их электроды разделены, каждый на два изолированных коаксиально-расположеи- ных электрода Ъри условии равенства их начальных емкостей и следующих соотношениях размеров электродов:

A; R3-r0;

R4 R; RS + A;

R + R2f-R3 0:

R54-R4 + R64-R74 0;

Ri2 + R22 - Ra2 + R42 - Rs2 - Re2

+ .

где R - радиус мембраны;

r0 - радиус жесткого центра мембраны;

Л- ширина дорожки между электродами;

RI - радиус кругового электрода первого рабочего конденсатора;

R2 - внутренний радиус кольцевого электрода второго рабочего конденсате ра; . .,:. . .. V. . . . .

Рз - наружный радиус кольцевого электрода второго рабочего конденсатора;

-

R4 - внутренний радиус кольцевого электрода первого опорного конденсатора;

RS - наружный радиус кольцевого электрода первого опорного конденсатора; 5 Re -1- внутренний радиус кольцевого электрода второго опорного конденсатора;

R -наружный радиус кольцевого электрода второго опорного конденсатора.

Похожие патенты SU1820249A1

название год авторы номер документа
Емкостный датчик давления 1991
  • Белозубов Евгений Михайлович
SU1796932A1
Дифференциальный емкостной преобразователь углового перемещения 1990
  • Павленко Владимир Александрович
  • Тросман Вячеслав Борисович
SU1768954A1
Дифференциальный емкостный преобразователь углового перемещения 1990
  • Павленко Владимир Александрович
  • Тросман Вячеслав Борисович
SU1838755A3
Интегральный преобразователь давления 1989
  • Ульянов Владислав Викторович
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Михайлов Петр Григорьевич
SU1749731A1
Емкостный датчик давления 1991
  • Белозубов Евгений Михайлович
SU1778577A1
Активный RC-фильтр нижних частот 1989
  • Гришин Сергей Валентинович
  • Крутчинский Сергей Георгиевич
  • Хоруженко Евгений Леонидович
SU1688388A1
Интегральный датчик давления 1991
  • Зеленцов Юрий Аркадьевич
SU1796929A1
Устройство для измерения температуры 1990
  • Лобачевский Георгий Степанович
  • Мамаев Валерий Николаевич
SU1739212A2
Дифференциальный емкостной преобразователь углового перемещения 1990
  • Павленко Владимир Александрович
  • Тросман Вячеслав Борисович
SU1775037A3
Датчик загазованности воздуха галогенами 1990
  • Орлов Валерий Дмитриевич
  • Удовицкий Виктор Григорьевич
  • Колос Надежда Николаевна
SU1770877A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 820 249 A1

Реферат патента 1993 года Емкостный датчик давления

Емкостный датчик давления относится к приборостроению и позволяет повысить оЧность измерений за счет снижения по- грешности преобразования от непараллель- иости электродов. Сущность Изобретения: ёмкостный датчик давления содержит корпус 1 с мембраной 2 и неподвижным диском 4v са которых расположены электроды рабочего 8 И рпорногд 5, 6 конденсаторов. Отличительной особенностью датчика является выполнение рабочего и опорного конденсаторов с равными начальными зазорами и емкостями, причем их электроды разделены каждый на два изолирован S ных коаксиально расположенных электрода при условии равенства их начальных емкостей и следующих соотношениях размеров электродов: Rz Ri + А; Рз r9; R4- R; R6 R5 + Д; Ri4 + R/ - Яз4 0; R54 + R44 + Re4 0; Ri2 + R2 -- Ra2 tR42-R52-Re2 t- 0. где R - радиус мембраны; r0 - радиус жесткого центра мембраны; А- ширина до- . рожки между электродами ; RI - ;радиус кругового электрода первого рабочего конденсатора; Rz - внутренний радиус кольцевогр электрода второго рабочего конденсатора; R3-наружный радиус кольцевого электрода второго рабочего конденсатора; R4, Rs, Re, R - соответствующие радиусы (в порядке возрастания) электродов первого и второго опорных конденсаторов. Выходным параметром датчика является разность емкостей разделённых электродов, как рабочего, так и опорного конденсаторов. Положительный эффект: повышается точность измерений, т.к. датчик нечувствителен к непараллеяьно- рти электродов, упрощается технология из- готовления такого датчика. 2 ил.: ел с 00 hO О hO 4 О

Формула изобретения SU 1 820 249 A1

f fi t fi

Фиг. 2

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1993 года SU1820249A1

Патент ША № 4562742, ъКл.ётр9/12,198& Авторское свидетельство СССР ;№Ш2788, WI.GOVL 9/12; 1991
EMKpCTHbi ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

SU 1 820 249 A1

Авторы

Лебедев Дисан Васильевич

Степанов Петр Петрович

Разудалова Галина Николаевна

Даты

1993-06-07Публикация

1990-08-24Подача