МИКРОРЕФЛЕКТОМЕТР Советский патент 1966 года по МПК G01B11/30 G01N15/02 

Известпые устройства, используемые в качестве бесконтактных оптических щупов (перфлектометр Лейтна) в приборах для определения размеров изделий, ограниченных полированными, отражающими свет поверхностями различной формы, содерлсат визирные микроскопы, осветители с маркой и непрозрачные зеркала. Однако эти устройства не позволяют получить изображения марки в фокальной плоскости визириого микроскопа над зеркалом.

Предложенное устройство отличается от известных тем, что марка установлена на оптической оси объектива микроскопа (в случае, если осветитель не имеет собствениого объектива) или на оптической оси объектива осветителя и пересекает эту ось в точке, не совпадающей с фокусом объектива. Кроме того, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси микрорефлектометра. Все это позволяет получить изображение марки в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом, а таклсе использовать прибор для наведения и отсчета при измерении размеров без от юсительного перемещения микроскопа и объекта измерения.

ного объектива; на фиг. 2 - оптическая схема микрорефлектометра с осветителем, имеющим собствеииый объектив.

Микрорефлектометр содержит непрозрачное зеркало /, установленное позади измеряемой детали 2, объектив 3, миру 4, полупрозрачное зеркало 5, окуляр 6, конденсор 7 и источник 8 излучения. Осветитель может быть снабжен также собственным объективом 9. Основными частями микрорефлектометра являются осветительная система, визирный микроскоп и расположенное перпендикулярно оптической оси -прибора плоское зеркало.

Осветительная система (см. фиг. 1) состоит из источника 8 излучения, конденсора 7, полупрозрачного зеркала 5 и миры 4, на которой нанесена марка. Объектив 3, который в рассматриваемой схеме относится как к осветительной системе, так и к визирному микроскопу, дает изображение марки в плоскости А. Установленное в соответствующем месте на пути лучей плоское зеркало У изменяет их направление на противоположное и дает изображение марки в плоскости А, которая совпадает с фокальной плоскостью визирного микроскопа. Таким образом изображение марки может иаблюдаться с помощью визирного микроскопа, состоящего из объектива 3 и окуСхема, приведенная на фиг. 2, принципиально ничем не отличаясь от схемы па фиг. 1, предусматривает применение двух объективов 3 и 9 отдельно для осветительной снстемы и визирного микроскопа. Такая схема с пристроенным осветителем позволяет использовать в качестве микрорефлектолштра обычный измерительный микроскоп. Применение микрорефлектометра в качестве оптического щупа заключается в следующем. При приближении детали 2 к отраженному от зеркала / изображению марки можно наблюдать второе изображение марки, отраженное от зеркальной поверхности Q. При перемещении детали второе изобрал ение будет перемещаться в ту же сторону, что и деталь. Указанный эффект может быть использован при паведении микрорефлектометра на зеркальную поверхность, расположенную параллельно или с небольщим наклоном к оптической оси прибора. Принцип может быть успещно иснользовап для измерения отверстий, в частности глухих. Расстояние М от плоскости А до зеркала Л которое в основном ограничивает высоту поверяемой детали, может быть определено из следующего соотношения: 2Р(К + Р) главное фокусное расстояние объектива микроскопа (осветителя); К - расстояние между плоскостями В и С, т. е. расстояние от марки до главного фокуса Og окуляра; Р - расстояние от марки до главного фокуса О объектива. Предмет изобретения 1. Микрорефлектометр, предпазначенпый для использовапия в качестве бесконтактного оптического щупа в приборах для измереиия размеров деталей, ограниченных полированными плоскими, цилиндрическими и коническими поверхностями, содержащий визирный микроскоп, осветитель с маркой и расположенное перпендикулярно осн микроскопа непрозрачное зеркало, отличающийся тем, что, с целью получения изображения марки, используемого для пазедепия на объект измерения, в фокальной плоскости визирного микроскопа над зеркалом, марка установлена па оптической оси объектива микроскопа или осветителя и пересекает эту ось в точке, не совпадающей с фокусом объектива. 2. Микрорефлектометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью использования прибора для наведения и отсчета при измерении размеров без относительного перемещения микроскопа и объекта измерения, непрозрачное зеркало установлено с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси микрорефлектометра.

fU2.2