ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ КОМПАРАТОР Советский патент 1968 года по МПК G01B9/02 

Известны интерферометры, выполненные по лучевой схеме.

Известный интерферометр содержит осветительную систему, разделяющую пластину, компенсатор, выполненный в виде плоскопараллельной пластины, зеркало и систему для наблюдения за интерференционными полосами.

Предлагаемый компаратор отличается тем, что он выполнен в виде герметичной пневматической камеры, составленной из четырех плоскопараллельных стеклянных пластин (стенок), установленной в одной из ветвей компаратора, а в другой его ветви между зеркалом и компенсирующей пластиной установлена дополнительная компенсирующая пластина. Это позволяет повысить точность измерения.

Кроме того, пневматическая камера соединена трубопроводом с насосом и манометром, шкала которого градуирована в долях интерференционной полосы. Эти отличия позволяют повысить точность измерения.

На фиг. 1 изображена схема описываемого компаратора; на фиг. 2 - схема соединения компенсатора с насосом и манометром.

Описываемый интерференционный компаратор содержит осветительную систему 1 с дисперсной призмой 2, разделяющую пластину 3, пневматический компенсатор 4, вспомогательную пластину 5, которая притирается к поверяемой мере 6, компенсирующую пластину 7, дополнительную компенсирующую пластину 8 и относительное зеркало 9.

Компенсатор 4 и вспомогательная пластина 5 составляют одну ветвь интерферометра, а другую ветвь составляют компенсирующая пластина 7, дополнительная компенсирующая пластина 8 и относительное зеркало 9 - другую. Компаратор содержит также систему для наблюдения за интерференционными полосами.

Пневматический компенсатор 4 состоит из герметичной камеры четырехугольной формы, установленной в одной из ветвей компаратора и выполненной из стеклянных плоскопараллельных пластин, две из которых тонкие и толщина их не должна превосходить 1 мм. Камера компенсатора соединена трубопроводом 10 с насосом 11 и манометром 12, шкала которого градуирована в долях интерференционных полос. В другой ветви между относительным зеркалом и компенсирующей пластиной 7 установлена пластина 8.

Работает компаратор следующим образом.

Параллельный пучок света от системы 1 падает на дисперсионную призму 2 с постоянным углом отклонения 90°, после этого пучок попадает на поверхность пластины 3, где он разделяется на два пучка. Один пучок света отражается от пластины 3, проходит через пластину 7. Дополнительную компенсирующую пластину 8, падает по нормали на относительное зеркало 9 и, отражаясь от зеркала, проходит в обратном направлении. Второй пучок света, проходящий черев пластину, падает на компенсатор 4 и проходит через него. Отразившись от поверхностей меры 6 и вспомогательной пластины 5, этот пучок встречается на поверхности пластины 3 с первым пучком и интерферирует с ним. Оба пучка лучей поступают в наблюдательную систему.

Компенсация разности хода лучей осуществляется путем изменения давления воздуха в камере компенсатора, установленной в одно из плеч интерферометра. Разность хода лучей, вносимая пластинами камеры компенсатора 4, компенсируется прозрачной плоскопараллельной пластиной, введенной в другое плечо интерферометра. Компенсатор устроен так, что делит поле зрения на три части, причем средняя герметичная часть расположена над плоскостью измеряемой меры. Изменение давления в средней части камеры приводит к движению полос только на мере.

Изменяя давление в камере, можно добиться такого положения, при котором интерференционные полосы на поверхности концевой меры 6 совпадут с полосами на пластине 5. Измеряя величину изменения давления на манометре 12, определяют дробную часть порядка интерференции.

1. Интерференционный компаратор, содержащий осветительную систему с дисперсионной призмой, разделяющую пластину, компенсатор, вспомогательную пластину, притираемую к поверяемой мере, компенсирующую пластину, относительное зеркало, систему для наблюдения за интерференционными полосами, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, компенсатор выполнен в виде герметичной пневматической камеры, составленной из четырех плоскопараллельных пластин (стенок) и установленной в одной из ветвей компаратора, а в другой ветви компаратора, между зеркалом и компенсирующей пластиной, установлена дополнительная компенсирующая пластина.

2. Компаратор по п. 1, отличающийся тем, что пневматическая камера соединена с помощью трубопровода с насосом и манометром, шкала которого градуирована в долях интерференционной полосы.