СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО ПЕРЕХОДНОГО Советский патент 1969 года по МПК G01R27/02 

Предлагаемый способ относится к области электроизмерений.

Известен четырехзондовый способ измерения переходного удельного сопротивления полупроводниковых материалов путем подключения источника постоянного тока к торцам образца материала, измерения тока в цепи образца и падения напряжения на всем образце и между подсоединенными к нему зондами.

Отличие описываемого способа заключается в том, что наносят на полупроводник контакты в количестве не менее четырех, измеряют падение напряжения между двумя внутренними контактами при подключении внешних к источнику питания и при подключении одного внутреннего и одного внешнего контактов к источнику питания, а затем по известной формуле вычисляют удельное переходное сопротивление.

Такое отличие позволяет значительно повысить точность измерения и упростить способ, сделав его независимым от величины плош,ади, контактов и расстояния между ними.

На чертеже представлена схема устройства, которая поясняет описываемый способ, где /d и /(2 - ключи; 1 и 2 - позиции ключей; 3, 4, 5 6 - контакты определенной площади, нанесенные на поверхность полупроводника.

Пропуская постоянный ток заданной величины / через два внешних контакта 3 и 6, определяют падение напряжения на двух внутренних контактах 4 и 5.

, где - сопротивление полупроводника между контактами 4 5. В этом случае ключи К} и /Со находятся в позиции /. Затем измеряют переходное сопротивление контакта и сопротивление материала между контакта: 1и 4 и 5.

L /(/ n-|-/ к): где величину падения напряжения на соответствующем переходном контактном сопротивлении В этом случае ключ К переключается в позицию 2 для контакта 4 и соответственно затем для контакта 5, ключ Да переключается в позицию 2, а ключ К возвращается в позицию /.

Зная величину и площадь контакта S определяют величину удельного переходного контактного сопротивления 5 (o.u-c.ijs).

Предмет изобретения

Способ определения удельного переходного сопротивления между полупроводником и нанесенными на его поверхность контактами известной площади, основанный на четырехзондовом методе, отличающийся тем, что, с целью повыпления точности измерения, наносят на полупроводник контакты в количестве не ме3 ,

между двумя внутренними контактами при подключении внешних к источнику питания и при подключении одного внутреннего и одного

внешнего контактов к источнику питания, а затем по известной формуле вычисляют удельное переходное сопротивление.