ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ Советский патент 1969 года по МПК G01L9/08 

Изобретение относится к те.чнике измерения давлений.

Известные пьезоэлектрические датчики давления, содержащие установленный в корпусе пьезоэлемент с нанесенными на его активные поверхности проводяш,ими покрытиями и электрические выводы, недостаточно точны при измерении медленно меняющихся давлений.

Предлагаемый датчик отличается тем, что в нем на пьезоэлемент нанесены пленки полупроводника с металлическими контактами, которые образуют омические сопротивления, изменяющиеся в зависимости от электрической поляризации пьезоэлемента под действием давления. Это позволяет применять датчик для измерения медленно меняющихся и статических давлений, а также использовать регистрирующую аппаратуру с малым входным сопротивлением.

Па фиг. 1 изображен пьезоэлектрический приемник давления; на фиг. 2 представлена электрическая схема соединения в полумост сопротивлений, образованных тонкими полупроводниковыми пленками, нанесенными на поверхности пьезоэлементов.

Приемник состоит из корпуса 1 с двумя соосными цилиндрическими выемками, разделенными перемычкой. В выемки вставлены и прикреплены к дну выемок слоем 2 клея или эпоксидной смолы два одинаковых пьезоэлемента 3 1 4. В данном случае пьезоэлемеиты выполнены в виде круглых таблет, 1аиример, из пьезокера.мики, иоляризоваииой в направлеиии, иараллельном оси. На каждую торцевую поверхность пьезоэлементов нанесен тонкий слой полупроводника с металлическими контактами, который образует на поверхности пьезоэлемента омическое сопротивление. Например, на верхней поверхности пьезоэлемента 3 нанесен слой полупроводника 5 с металлическими коитактами 6. Такова же конфигурация тонких слоев полупроводника и контактов на нижней поверхности пьезоэлемента 3 и на обеих торцевых поверхностях пьезоэлемента 4.

К металлическим контактам ирипаяиы тонкие металлические проводники и выведены через отверстия 7 в корпусе /, отверстия залиты эпоксидиой смолой для герметизации.

Оставщиеся полости 8 п 9 выемок в корпусе приемника заполнены каучуком или резиной так, чтобы торцевые поверхности пьезозлементов были покрыты тонким изолирующим слоем.

Выемка с пьезоэлементо:.г 3 закрыта шайбой W с отверстием так, что шайба илотно прилегает к изолирующему покрытию п озоэлемента и герметически соединена с корпусом кольцевым слоем 11 эпоксидной смолы. Выем