ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА МИКРОСКОПА Советский патент 1969 года по МПК G02B21/00 G02B15/14 G02B27/40 

Изобретение относится к области микроскопического анализа различных материалов, в частности к системам, обеспечивающим микроскопическое наблюдение за образцами, подвергаемыми электронпой бомбардировке.

Известные оцтические системы микроскопов, в которых между объективом и приемником излучения, наиример окуляром, размещены дополнительные трехкомпопентные системы, требуют значительпого увеличения габаритов для передачи переменного масштаба изображения, так как дополнительная оптическая система в них представляет собой систему Галилея, а значит увеличивает и без того большие световые диаметры следующих за ней оптических элементов.

Предлагаемая оптическая система микроскопа отличается от известных тем, что пер- вые два компонента дополнительной системы, образующие телескопическую систему с телецентрическим ходом лучей, положительные, а третий компонент, также положительный, расположен перед приемником излучения.

Систему переменного увеличения целесообразио размещать -непосредственно за телескопической системой с телецептрическим ходом лучей.

На чертеже изображена принципиальная схема оптической системы микроскопа в случае его сочетания с микрозондовой установкой.

Исследуемый образец У находится в передней фокальной плоскости зеркального объектива 2, расположенного в вакууме, и изображается этим объективом на бесконечность. С помощью полупрозрачного зеркала 3 световые лучи отклоняются на защитное вакуумное стекло 4 и затем направляются в тубус микроскопа. В тубусе размещена дополнительная система из трех компонентов 5, 6 и 7.

Первые два из этих положительных компонентов образуют телескопическую систему с телецентрическим ходом лучей, непосредствеппо за которой после отклоняющего зеркала 8 может находиться система 9 переменного увеличения. Положительный компонент 7 дополнительной системы располагается перед приемником излучения, в качестве которого может быть применен, например, тринокуляр 10. Осветительная система может быть выполнена, например, в виде блока 11 по Келлеру с отражающим зеркалом 12. Как в известпых электрозондовых установках размещена электроннолучевая трубка 13.

Предмет изобретения

1. Оптическая система микроскопа, например, для электронных микрозондовых установок, содерл ащая размещенную между объективом микроскоиа и приемником излучения, например окуляром, трехкомпонентную систему, два компонента которой образуют телескопическую систему, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения передачи переменного масштаба изображения предмета на приемник излучения без увеличения габаритов системы, первые два компонента дополнительной системы, образующие телескопическую систему с телецентрическим ходом лучей, положительные, а третий, компонент, также положительный, расположен перед приемником излучения.

2. Оптическая система микроскопа по п. 1,

отличающаяся тем, что непосредственно за

телескопической системой с телецентрическим

ходом лучей размещена система переменного

увеличения.