Известны конденсационные вакуумные насосы для откачки газов путем их вымораживания, включающие сборник для водорода с ожижителем, расположенным в вакуумной камере, соединенной с масляным диффузионным и форвакуумным насосами. Такие насосы нельзя использовать для откачки трудноконденсирующихся газов, например водорода, неона и других.
В предлагаемом вакуумном насосе в вакуумную камеру вмонтирован гелиевый ожижитель со сборником для гелия, что позволяет откачивать, например, водород при скорости откачки до 100000 л/сек по водороду и при давлении до мм рт. ст. С целью получения температуры поверхности сборника для гелия около 3°К к сборнику для гелия присоединен форвакуумный насос.
На чертеже показан предлагаемый насос, вертикальный разрез.
Основным элементом конденсационного вакуумного насоса является сборник для гелия, представляющий собой полированный медный бачок. Поступает гелий в сборник из гелиевого ожижителя 2, состоящего из ряда противоточных теплообменников, в которых гелий высокого давления охлаждается парами отходящего гелия и жидким водородом, кипящими при пониженном давлении, и парами отходящего водорода. Водород поступает
из сборника 5, который питается водородным ожижителем из сборника 4.
Для защиты сборников У и 5 от теплового излучения внутри вакуумной камеры 5 установлены кольцевые азотные экраны 6, охлаждаемые азотом. С торцов вакуумная камера защищена экранами 7 и S. Для создания предварительного вакуума служит масляный диффузионный насос 9, который запускается 0 с помощью форвакуумного насоса 10.
К рабочему объему конденсационный вакуумный насос присоединен фланцем 11. Все устройство смонтировано на раме 12.
Запуск конденсационного вакуумного насоса осуществляется в следующем порядке.
Включается насос 10 и создается разрежение до мм рт. ст., затем включается насос 9, который обеспечивает давление до мм рт. ст. После накопления жидкого водорода в сборнике 3 запускается гелиевый ожижитель 2. После появления в сборнике / жидкого гелия включается соединенный со сборником вакуумный насос, который поддерживает в сборнике давление 180 мм рт. ст.
Предмет изобретения
ре, соединенной с масляным диффузионным и форвакуумным насосами, отличающийся тем, что, с целью откачки трудноконденсирующихся газов, нанрнмер водорода, при скорости откачки до 100000 л/сек но водороду и давлении до мм рт. ст., в вакуумную камеру между сборником для водорода
и масляным диффузионным насосом вмонтирован гелиевый ожижитель со сборником для гелия.
2. Насос по н. 1, отличающийся тем, что, с целью создания тем:пературы поверхности сборника для гелия около 3°К, к сборнику для гелия присоединен форвакуумный насос.
