СНОСОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПОТЕНЦИАЛОВ,—- Советский патент 1969 года по МПК H01J37/26 

Изобретение относится к области электронной измерительной техники, а именно, к сиособам измерения электрических нотенциалов на поверхности твердых тел.

Известны сиособы определения поверхностных потенциалов, например, но контрастности изображения в фокальной плоскости электронного эмиссионного микроскопа. Одиако этот сиособ имеет иедостатки: например, для получения данных о потенциальном рельефе на наблюдаемом участке изображения выно;1няют большой объем вычислительных операций.

Значение иотенциала в конкретной точке иоверхности образца невозможно вычислить без обработки данных о контрасте но линии, на которой лежит дапная точка.

Точность измерений посредством вычислений зависит не только от точности снятия даиных о контрасте, а также от степени идеализации математической задачи, результаты решения которой используют при вычислении на машиие.

Известный способ обеспечивает получение ииформации о таком потенциальном рельефе, который дает заметный контраст изображения.

мерения, согласно предлагаемому способу, электроны, эмиттированные с иоверхиости твердых тел, фильтруют по энергиям и регистрируют их значения, ио которым судят об измеряемых величинах.

Для осуществления способа используют элементы электронной эмиссионной онтики с системой фильтрации электоонов по энергиям и телевизионной техники.

Информацию о иотеициальиом рельефе получают нуте: 1 непосредственного отсчета абсолютных значений потенциала в дайной точке поверхпостп образца, а также автоматическим иостроеиием эквипотенциалей с пзмереииым значением на наблюдаемом участке изображения поверх 1ОС1и образца.

На чертеже иредставлена блок-схема измерительиой устаиовки, содержащая образец /, фильтрующий элемент 2, регистратор 3, микроамперметр 4, усилитель 5, электроннолучевую трубку 6, генератор 7 пилообразного тока, отклоняющую систему 8 трубки, отклопяюн,ую систему 9 колонны. Электроны, создаюп;ие изображение новерхности образца У в эмиссиониом икроскопе, с помощью фильтрующего элемента 2, например линзы M511enstedt пли системы типа одииочной лиизы в зеркальном рел-:и.мс, разделяются ио энергиям. Регистратор 3, например

ющих определенную энергию, обусловленную поверхностным потенциалом в данно11 точке образца.

С целью автоматического построеппя эквилотенциалей на изображении поверхности образца создается видеосигнал, например, но принципу диссектора от имеющих определенную энергию электропов. С усилителя 5 сигпал подается на модулятор трубки 6, развертка луча в котором осуществляется с немощью питающейся от генератора 7 пилообразного тока отклоняюгцей системы 8 синхронно со сканированием изображения в колонне микроскопа, осуществляемым отклоняющей системой 9.

- 1 .4

Предмет изобретения

Способ измерения поверхностных потенциалов и энергетических снектров электронов, эмиттированных с поверхности твердого тела с помощью эмиссионного микроскопа, отличающийся тем, что, с целью повышения точност определения измеряемых величин и новышепия разрешающей способпости при упрощении

процесса измерения, электроны, эмиттированные с поверхности образца, фильтруют не эпергпям и регистрируют значения их потоков, но котор1лм судят об.измеряемых величинах.