СПОСОБ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1969 года по МПК H01S3/02 

Изобретение относится к способам обработки материалов с помощью оптического квантового генератора и может быть применено, например, при производстве деталей микроэлектроники.

Известен способ обработки материалов с помощью оптического квантового генератора, при котором в качестве элемента, фокусирующего излучение мощного лазера ,на обрабатываемом .материале, используют голограмму. Наличие излучения, прощедщего через голограмму и не испытавшего дифракции, приводит к потерям энергии при фокусировании излучения.

Потери энергии при фокусировании можно уменьшить, используя фазовые голограммы и их металлические копии, для чего предлагается помещать голограмму в резонатор лазера. Оба зеркала резонатора могут быть глухими или же в качестве одного из зеркал МОЖНО использовать металлизированную голограмму. Вывод энергии из резонатора осуществляется за счет дифракции на апертуре голограммы.

Предложенный способ иллюстрируется фиг. 1 и 2.

В случае амплитудных голограмм (см. фиг. 1) зеркала 1 и 2 образуют резонатор. Активное вещество 3 приводит при соответствующей накачке к отрицательному коэффициенту поглощения. Р1ногда желательно использовать оптическую систему, например телескопическую из линз 4 и 5, расширяющую пучок до размеров голограммы. Плотность энергии на голограмме 6 при этом уменьшается. При многократном прохол дении излучения лазера через голограмму повышается концептрацпя энергии в действительных изображениях 7 и 8, которые проектируются на обрабатываемую поверхность детали.

Голограмма может быть как амплитудной (при гакой мало плотности, чтобы потери в ней не ограНичивали усиления лазера), помещепной в ячейку 9 с иммерсионной Лхидкостью, так и фазовой. Фазовая голограм а может быть также помещена в ячейку с иммерсионной л идкостью с показателем преломления, несколько отличающпмся от показателя преломления эмульсии. Иногда целесообразно регулировать показатель преломления жидкости (например, разбавлением или нагреванием) для выбора оптимальиого рржима работы лазера.

Можно также использовать и зеркальную

гологра 1му, например металлическую копию

(см. фиг. 2), при этом голограмму помещают

составляющих деталь сложной конфигурации, в том числе и непласкую.

Предмет изобретения

Способ обработки материалов -излучением оптического ква нтового генератора с использованием для формирования изображения голограммы, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности обработки, голограмму или ее .металлическую копию помещают внутрь резонатора.

иг 2 7