УСТРОЙСТВО для ОРИЕНТАЦИИ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙСИСТЕМЫ Советский патент 1970 года по МПК H05H7/00 H01J3/00 

Известно устройство для ориентации монокристаллической иластииы, в котором используется эффект каналирования, наблюдаемый при прохождении протонов через монокристаллическую пластину, например кремния.

Для автоматизации ориентации электроппооптической системы в предложенном устройстве юстирующие и фокусирующие элементы жестко соединены с монокристаллической пластиной.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство состоит из фокусирующих / и юстирующих 2 элементов и ориентируемой электронно-оптической системы 5. В последней жестко укреплена монокристаллическая пластина 4 таким образом, что ее кристаллографическая ось, например (100), совпадает с оптической осью хх системы. За монокристаллической пластиной установлен детектор излучения 5.

Пучок заряженных частиц, например протонов, фокусируется с помощью фокусирующего элемента 1 на монокристаллическую пластину 4. Вследствие эффекта каиалирования протонов при прохождении через монокристаллическую мпщень наибольщее число частиц будет зарегистрировано детектором 5 при совпадеьпп направления падающего пучка протонов с кристаллографической осью.

Поворачивая электронно-оптическую систему 3 с жестко закрепленной в ней монокристаллической пластиной 4 при помощи юстирующих элементов 2 вокруг оси ijy и наклоняя систему относительно осп хх, добиваются максимального эффекта каналирования.

Предмет изобретения

Устройство для ориентации электроииооитпческой системы отиосптельно оси потока заряженных частиц с использованием эффекта каналироваипя в монокристаллпческой пластине, содержащее юстирующпе и фокусирующие элементы, моиокристаллическую пластииу, отличающееся тем, что, с целью автоматизации ориентации системы, элементы электронно-оптической системы жестко соединены с монокрпсталлической пластиной.