Е--ТО- т,-, ^Ж^Ш-Ц:^ ^^ ^bJ^-vGTZuA Советский патент 1970 года по МПК H01J3/14 

Данное изобретение относится к электронно-оптическим ириборам, исиользуемым для формирования изображений с иомошью унравляемых иуЧКОв заряжениы.х частиц.

Известные приборы, например, типа электронно- или ионнооитических ироекторов для отображения поверхностей перфорироваиных шаблонов не позволяют воспроизводить изображение Б измененном масштабе с высоким разрешением по всему полю изображения.

В Предложенном устройстве для повышения разрешаюш,ей способности его по всему полю изображения перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадает с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленный в главной плоскости линзовой системы на общей оси симметрии шаблона и линзы.

На фиг. 1, 2 представлена принципиальная схема устройства.

Оно содержит источник заряженных частиц определенной массы и энергии (на черт, не показан), систему /, формируюш.ую сходяш.иеся цучки, перфорированный шаблон 2, стиг.матор 3, магнитную или электрическую лиязу 4 (систему линз), диафрагму 5 и субстрат 6.

которая придает потоку коническую форму. В той части, в которой этот сходящийся конический поток частиц имеет большое свечение, установлен перфорированный шаблон 2, выполненный в виде сферического слоя. Главные лучи всех пучкОВ, исходящих из выходной поверхности шаблона, сходятся в одну точку, которая совпадает с главной плоскостью уменьшающей линзы 4 (или системы линз) и расположена -на общей оси симметрии щаблона и линзы. В этой же плоскости расположена апертурная диафрагма 5, отверстия которой находится также на общей оси симметрии шаблона и линзовой системы. Апертурная диафрагма ограничивает одновременно все пучки, исходящие от шаблона и позволяет этим сформировать четкое уменьшенное изображение перфораций шаблона 2. Стигматор 3 устраняет астигматизм изображающей системы. То, что апертурная диафрагма установлена в центре сферической поверхности шаблона и в главной плоскости линзовой уменьшающей системы, дает возможность получить хорощее разрешение по всему полю изображения шаблона, а облучение потоком заряженных частиц одновременно всей поверхности шаблона - возможность обеспечить ток большой плотности. Для создания потока заряженных частиц определенной массы можно использовать термокатод или ионный источник,

составной частью которого является магнитный сепаратор.

Система формирования сходящегося иотока зарял енных частиц может быть реализована, например, в виде конденсорной линзы (фиг. 2). В качестве источника электронов можно использовать нротяженный термокатод сферической формы, концентричный и соосный шаблону 2. В этом случае катод и шаблон, между которыми приложено ускоряющее напряжение, образуют систему формирования сходящегося пучка.

Предлагаемое устройство может быть использовано для нанесения информации на субстрат, введения примесей в полупроводники, для получения химических соединений на поверхности субстрата и т. д.

Предмет изобретения

Корпускулярно-оптический проектор для отображения больщих поверхностей перфорированных шаблонов, содер кащий источник заряженных частиц определенной массы и энергии, систему для формирования сходящегося пучка заряженных , перфорированный щаблон, линзовую систему, стигматор и субстрат, на котором воспроизводится отображаемая поверхность шаблона, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности устройства по всему нолю изображения, перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадает с центром отверстия апертурпой диафрагмы, установленной в главной плоскости линзовой системы на общей оси симметрии шаблона и лннзы.