ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ Советский патент 1970 года по МПК G01B9/02 

Известен интерференционный прибор для измерения малых неремеш,еннй, содержащий коллиматор, состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, зеркала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, интерферометр, состоящий из зеркал и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок.

Предлагаемый нрибор отличается от известного тем, что он снабжен дополнительным зеркалом, выполненным в виде посеребренной нластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и установленным в ходе световых лучей между объективом и диафрагмой коллиматора иод таким углом, чтобы онтическая ось коллиматора ироходила через срез нластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой многолучевой интерферометр.

Это новыщает точность измерений.

Па чертеже изображена схема описываемого прибора.

Интерференционный нрибор содержит коллиматор, состоящий из источника света /, конденсора 2, диафрагмы 3 и объектива 4, а также зеркала 5, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива 6 и зеркала 7, интерферометр, состоящий из зеркал 8 и 9 и установленный в ходе световых лучей объективами коллиматора и устройства для возвращения световых лучей, фотоэлектрическое устройство, включающее фотопреобразователь 10, пьезоэлемент 11, блоки 12 и 13 иитания пьезоэлемента, цифровой вольтметр 14, индикатор 15, и электронный блок 16.

Дополнительное зеркало 5 выполнено в виде посеребренной пластинки, одна из короткнх граней которой срезана под острым углом по отнощению к ее посеребренной стороне. Зеркало установлено в ходе световых лучей между объективом 4 и диафрагмой 3 коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез нластинки. В качестве интерферометра используется клиновой многолучевой интерферометр (8 и 9).

При подаче напряжения от блока 12 ньезоэлемент 11 нрнводится в колебательное состояние с амплитудой, составляющей небольшую долю длины волны света. Подавая на пьезоэлемент // напряжение постоянного тока от блока 13, можно осуществлять смещение зеркала 9. Сигнал фотопреобразователя 10 принимается блоком 16, на выходе которого производится регистрация сигнала индикатором. При перемещении зеркала 8 на расстояния, кратные половине длины волны света, происходит переход стрелки индикатора через «нуль.

Перед началом измерения выставляется нулевое состояние интерферометра. Затем при движении зеркала 8 наблюдатель считает число переходов через «нуль. После прекращений движения зеркала 8 зеркало 9 перемеща1бг к зеркалу 8 до первого перехода стрелки индикатора через «нуль. Величину этого перемещения считывают со шкалы вольтметраИзмеряемое перемещение получают, перемножив число переходов через «нуль на четверть длины волны света и прибавив . показание вольтметра.

Предмет изобретения

Интерференционный прибор для измерения малых перемещений, содержащий коллиматор.

состоящий из источника света, конденсора, диафрагмы и объектива, зеркала, оптическое устройство для возвращения лучей, состоящее из объектива и зеркала, интерферометр, состоящий из зеркал и установленный в ходе световых лучей между объективами коллиматора и устройства для возвращения лучей, фотоэлектрическое устройство и электронный блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен дополнительным зеркалом, выполненным в виде посеребренной пластинки, одна из коротких граней которой срезана под острым углом по отношению к ее посеребренной стороне, и установлениым в ходе световых лучей между объективом и диафрагмой коллиматора под таким углом, чтобы оптическая ось коллиматора проходила через срез пластинки, а в качестве интерферометра использован клиновой многолучевой интерферометр.

/5