УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ КАТОДНЫХ УЗЛОВ МАГНЕТРОНОВ Советский патент 1970 года по МПК H01J9/48 

Изобретение относится к области производства электровакуумных п-риборов, в частности приборов СВЧ.

Известна установка для вакуумной .обработки и проверки эмиссионпых свойств катодных узлов магнетронов, содержащ-ая рабочую камеру, камеру предварительного разряжения, загрузочный бокс и перемещаемый из загрузочного бокса в рабочую камеру стол для установки изделий.

Известная установка не обеспечивает проверки термоэлектронных и вторично-эмиссионных свойств катода в условиях сверхвысокого вакуума.

Целью данного изобретения является разработка такой конструкции установки, которая позволила бы проводить такую проверку. Эта цель достигается за счет того, что установка снабжена -находящимся на рабочел столе измерительных устройством, выполненным в виде закрепленных на изоляторах цилиндрического анода с кольцевой щелью посредине и расположенного с внешней стороны анода на уров-не кольцевой щели кольцевого вольфрамового катода, причем внутренняя новерхиость Нмода служит коллекюром вторичных и отраженных электронов контролируемых 14атодов. Для увеличения производительности установки рабочий стол выполнен многопознциониым.

Фиг. 1 изобралчает общий вид установки, фиг. 2 - измерительное устройство, фиг. 3 - рабочий стол с измерительными иозиция.ми. Установка состоит из рабочей камеры /, камеры 2 предварительного разряжения, герметичного загрузочного бокса 3 и рабочего стола 4 с приводом 5 перемещения стола из загрузочного бокса 3 в камеру предваритель«ого разряжения 2 и далее в рабочую камеру 1. Полости рабочей камеры и «амеры иредварительного разряжения разделения заслонкой 6. На столе установлепы коаксиальный высоковольтный ввод 7, обрабатываемые катоды S, контактная группа накала 9 л устройство 10 для проверки термоэлектронной и вторично электронной эмиссии катодов, состоящее из кольцевого вольфрамового катода //, укрепленного на двух изоляторах 12 и промежуточного анода }3, выполненного в виде

полого цилиндра с кольцевой щелью посредине и расположенного между проверяемым катодом S и катодом // измерительного устройства.

Стол постоянно электрически связан с пультом питання посредством э.пектрических вакуумных вводов, c toнтнpoвaнныx на панели М камеры предварительного разряжения 2.

контактам стол перемещают вручную из загрузочного бокса 3 в камеру предварительного разряжения 2. Производят откачку этой камеры до задапного давления, по достижении Которого стол автоматически за счет привода 5 поднимается по направляющим вверх и :измерительное устройсгво 10 вместе с обрабатываемыми катодами 8 входи г в рабочую камеру 1. При этом за счет уплотнения, имеющегося на столе, производится гепметизация рабочей камеры, которую после этого откачивают до заданного давления. Далее производят обезгаживание и активировку катодов по задаЫ:НОй программе, после чего подают соответствующие напряжения на катод // и анод 13 и измеряют термоэлектронную « вторично-электронную эмиссии поочередно на каждом обрабатываемом катоде. Резз тьтаты измерений фиксируются приборами на пульте управления. Затем стол возвращается в загрузочный бокс, катодные узлы оператором снимаются и передаются на

следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Установка для вакуумной обработки катодных узлов магнетронои, содержащая рабочую камеру, камеру предварительного разряжения, загрузочный бокс и перемещаемый из загрузочного бокса в рабочую камеру стол для установки изделий с saкуумными электрическими вводами, отличающаяся тем, что, с целью проверки термоэлектронных и вторично-эмиссионных свойств катода, она снабжена установленным на рабо-1ем столе измерительным

устройством, вьшолненныл в виде закрепленных на изоляторах цилиндрического анода с кольцевой щелью посредине и расположенного с внещней стороны анода на уровне кольцевой щели кольцевого вольфрамового

катода, причем внутренняя поверхность а«ода служит коллектором вторичных и отраженных электронов контролируемых катодов.