ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ УПРАВЛЯЕМЫЙ НЕЛИНЕЙНЫЙ КОНДЕНСАТОР (ВАРИКАП) Советский патент 1970 года по МПК H01L29/94 

Изобретеиие относится к радиоэлектронной нромышленности и может быть иснользовано в схемах нараметрических усилителей и умножителей частоты, в системах автоматической подстройки частоты и электронной настройки и в частотных модуляторах.

Известны нолунроводниковые управляемые пелинейные конденсаторы (вариканы) иа /5-д-лереходе и поверхностно барьерные вариканы, являющиеся двухэлектродными приборами, в которых один электрод служит как входным, так и выходным выводом.

С целью создания трехэлектродпого варикана с разделепнымн входом и выходом с повышенными частотными свойствами, в нредлагаемом варикане нрименен управляющий кольцевой электрод и две кольцевые диффузионные снльнолегировапные области нротивоположного но отношению к проводнику типа проводимости. Предлагаемый варикап нредставляет собой структуру металл - диэлектрик -- полупроводник, изготавливаемую но обычной планарной технологии.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого варикапа; на фиг. 2 - его эквивалентная схема; на фиг. 3 - вольт-фарадные характеристики варикапа.

гированную полупроводниковую эпнтаксиальную пленку 2 дырочного (электронного), тнпа проводимости, тонкий слой диэлектрика 3, соответственно внутреннюю и внешнюю кольцевые сильнолегированные области 4 и 5 электронного (дырочного) тина нроводнмости, центральные п управляющие электроды 6 и 7, пижний омический контакт 8.

На эквивалентной схеме введены следующие обозначения: Э и Sz - вводы центрального и управляющего электрода, R - сопротивление канала проводимости, Cg - емкость диэлектрика нод центральным электродом, Сп - емкость пространственного заряда, С - емкость /7-п-нерехода.

Предмет изобретения

Полупроводниковый управляемый нелипейный конденсатор (варикан), основанный на нснользовании поверхностно барьерной емкости структуры металл - диэлектрик - полупроводник, отличающийся тем, что, с целью разделения входа и выхода и повышепия его частотных свойств, нрименен управляющий кольцевой электрод и две кольцевые диффузионные сильнолегированные области нротивоположного но отношению к полупроводнику типа проводимости.