ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР Советский патент 1970 года по МПК G01L21/10 

Изобретение относится к вакуумной манометрии, в частности, к теплоэлектрическим манометрам и может быть использовано в вакуумной технике для измерения давленияразреженных газов В пределах от 760- мм рт. ст.

Известны различные типы теплоэлектрических манометров, содержащие активный или пассивный термочувствительный элемент, измерительную схему, блок питания и регистриpvющий прибор.

Однако в ряде случаев их чувствительность оказывается недостаточной.

Целью настоящего изобретения является увеличение чувствительности теплоэлектричегких манометров.

Это достигается тем, что в предлагаемом лтанометре в качестве активного или пассивного термочувствительного элемента использован термоконденсатор.

На фиг. 1 изображена блок-схема описываемого манометра с -пассивным термочувствительным элементом; на фиг. 2 - блок-схема манометра с одним активным термочувствительным элементом; на фиг. 3 - блок-схема манометра. работающ.его в конвективном режиме, -с двумя активными термочувствительными элементами.

тор /, размещенный в вакуумном баллоне и включенный в плечо мостовой измерительной схемы 2, блок -питания 3 и регистрирующее устройство 4, включенное в диагональ моста. Для увеличения чувствительности и исключения влияния температуры внещней среды в плечи моста включены дополнительные термоконденсаторы 5, 5 и 7.

Мостовая схема 2 питается от генератора 8

высокой частоты, который подключен к выпрямителю и стабилизатору 9. Регистрирующее устройство 4 выполнено в виде высокоомного указателя 10 равновесия, выход которого подключен через синхронный детектор 11 к

указателю 12.

Синхронизирующее напряжение на детектор // подается с выхода генератора 8. Все электрическое питание схемы обеспечивается от общего выпрямителя и стабилизатора Р,

питаемого от сети переменного тока.

Принцип действия теялоэлектрических манометров основан на зависимости теплопередачи через разреженный газ от давления. В данном случае в качестве нагреваемого элемента использован термоконденсатор /, изготовленный из специальной сегнетокерамики, ел1кость которой зависит от температуры. Мерой измерения давления является степень разбаланса моста. Использование термоконденсамента позволяет включать их в частотнозависимые измерительные схемы. Манометр (фиг. 2) содержит нагреватель 13, температура которого замеряется активным термочувствительный элементом - термоконденсатором 14, подключенным к мостовой измерительной схеме 15, регистрирующий прибор 16 и блок питания 17. Нагреватель 13 и термоконде-нсатор 14 размещены в вакуумном баллоне 18. В режиме переменной температуры нагревателя 13 (при постоянном токе накала его) мерой вакуума является ток разбаланса мостовой схемы 15. В режиме постоянной температуры нагревателя 13 величина измеряемого давления определяется по значению тока канала нагревателя. Манометр, работающий в конвективном режиме (фиг. 3), содержит нагреватель 19, два термоконденсатора 20 и 21, включеные в смежные плечи мостовой измерительной схемы 22, в другие плечи которой включены сопротивления R и RZ, блок питания 23 и регистрирующий прибор 24, включенный в диагональ мостовой схемы 22. Нагреватель 19 и два термоконденсатора 20 и 21 помещены в вакуумный баллон 25, причем термоконденсаторы расположены снизу и сверху нагревателя 19, за счет чего осуществляется измерение разности температур над нагревателем 19 и под ним. За счет конвекционной передачи тепла равновесная температура термоконденсаторов 20 и 21 будет зависеть от давления газа. При постоянном токе накала нагревателя 19 мерой вакуума является ток разбаланса мостовой схемы 22. Предмет изобретения Теплоэлектрический манометр, содержащий активный или пассивный термочувствительный элемент, включенный в измерительную схему, блок питания и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, в качестве активного или пассивного термочувствительного элемента использован термоконденсатор. IJ Фи 3