ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЛАМПА Советский патент 1970 года по МПК H01J61/90 

Изобретение относится к газоразрядным приборам, в частности к газоразрядным лампам, нредназначенным для получения многократных световых вспышек и используемым главным образом для осуществления фотохимических реакций в фотолитографии, либо для создания локальных температурных полей в технологии производства тонкопленочпых схем и интегральных микроузлов.

Для этих целей обычно используются ртутные шаровые лампы с короткой дугой, хотя лампы и имеют сравнительно высокую яркость и новышенную. долю ультрафиолета в излучении.

Однако в применении к процессам фотолитографии им присущ ряд недостатков. В частности, поскольку они эксплуатируются только в режиме постоянного горения, то требуют применения автоматических затворов для установки экспозиции облучаемого объекта.

Известны ксеноновые газоразрядные лампы с дугой, стабилизированной стенками колбы, выполненные в виде трубки, свернутой в цилиндрическую пространственную спираль, витки которой соприкасаются между собой.

позволяет значительно повысить подводимую к разряду энергию.

Однако лампа имеет существенные недостатки, которые заключаются в том, что тело

свечения ее имеет форму полого цилиндра, что затрудняет получение направленного пучка света без применения специальных отражателей, понижающих к.п.д. использования излучения, а также усложняющих светооптическое устройство, и что лампа имеет большую собственную индуктивность.

Эти недостатки не позволяют эффективно использовать указанную лампу для фотоэксполирования фоторезистивиых слоев.

Целью изобретения является создание импульсного источника света с плоской излучающей поверхностью, удобного для монтажа в пароболическом отражателе и получения направленного светового потока. Этот прибор отличается низкой собственной индуктивностью, высоким нанряжением самопробоя, равномерным радиальным распределением плотности излучения по большой площади и

повыщеиным сроком службы.

Эта цель достигается тем, что газоразрядная лампа выполнена в виде изогнутой в архимедову спираль разрядной трубки, витки которой примыкают один к другому и распо