ШИРОТНО-ИМПУЛЬСНЫЙ МОДУЛЯТОР Советский патент 1971 года по МПК H03K7/08 

Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в установках фотоэкспонирования, необходимых при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов и другого технологического оборудования, в котором требуется скоростная модуляция потока излучения газоразрядных источников.

Известны устройства модуляции потока излучения источников света с применением механического модулятора периодического действия.

Иедостаток известных устройств состоит в том, что они не обеспечивают стабилизации фазы выходных импульсов света.

Целью изобретения является стабилизация фазы выходных импульсов света.

Для этого в предлагаемом широтно-импульсном модуляторе цепь обратной связи выполнена в виде последовательно соединенных фотоэлектрического датчика положения секторов модулирующего диска, включающего в себя источник света, фотоприемник и пороговое устройство, управляемого фазовращателя и преобразователя импульсов. Ири этом вращающийся секторно-радиальный диск модулирует одновременно оба источника света.

Модулятор содержит исгочник излучения /, оптическую проекционную систему 2, секторно-радиальиый модулирующий диск 3 с равными, чередующимися прозрачными п непрозрачными секторами, фотоэлектрический датчик 4 положения секторов модулирующего диска, управляемую фазосдвигающую цепь 5, формирователь импульсов 6 и полупроводниковый ключ 7. Фотоэлектрический датчик 4

положения секторов модулирующего диска состоит из источника света 8, фотоириемника 9 и полупроводникового порогового элемента 10.

Часть потока газоразрядного источника излучения / с помощью оптической проекционной системы 2 образует промежуточное изображение излучающего тела источника в плоскости вращающегося модулирующего диска 3, в результате чего формируется имиульсномодулированный выходной поток излучения. Часть потока излучения источника света 8, также модулируемая диском, попадает на фотоприемник 9 и преобразуется им в пропорциональный электрический сигнал. Этот сигнал

формируется пороговым элементом 10 в прямоугольные импульсы, которые, пройдя управляемую фазосдвигающую цепь 5, сдвигаются по фазе на заданный угол. В результате этого на вход формирователя импульсов 6 поступаторых равна двум при любом сигнале управления, поступающем на фазосдвигающую цепь.

Формирователь увеличивает скважность входного импульсного сигнала на небольшую постоянную величину. Поэтому интервалы времени включения полуироводникового ключа/и газоразрядного источника излучения / оказываются меньше интервала пересечения главной оптической оси проекционной системы одним сектором модулирующего диска. В результате выходной поток излучения либо полностью перекрывается модулирующим диском при заданном угле сдвига по фазе, равном ф, обеспечиваемом управляемой фазосдвигающей цепью, либо полностью пропускается, при угле сдвига, равном ф + 180°. При промежуточном значении угла сдвига по фазе величина выходного потока излучения соотретственно имеет промежуточное значение.

Предмет изобретения

Широтно-импульсный модулятор, содержащий источник питания, газоразрядный источник света, секторно-радиальпый вращающийся диск с равными чередующимися прозрачными и непрозрачными секторами, оптическую проекционную систему и регулируемую цепь обратной связи, выход которой подсоединен к

ключу в цепи питания газоразрядного источника света, отличающийся тем, что, с целью стабилизации фазы выходных илшульсов света, упомянутая цепь обратной связи выполнена в виде последовательно соединенных фотоэлектрического датчика положения секторов модулирующего диска, включающего в себя источник света, фотопрпемник и пороговое устройство, управляемого фазовращателя и преобразователя импульсов, причем вращающийся секторно-радиальпый диск .модулирует одновременно оба источника света.

8ь оЗн01

поток излу -1ения

Сигнал управления

-