ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1971 года по МПК F04B37/08 

Известны иопно-сорбционные насосы с радиальным электростатическим нолем, содержащие охлаждаемый корпус (катод), центральный высоковольтный анодный электрод, на котором укренлен геттерный материал, один или несколько источников электронов для их инжекции в пространство между катодом II центральным электродом.

Известные насосы имеют корпус с фланцевым присоединением к откачиваемому объему, поэтому при встраивании их непосредственно в объем вблизи источника газовыделепия возникают затруднения, так как оболочка (катод) должна быть коицентрична с анодом с целью создания электростатического ноля цилиндрического конденсатора н тндательной экранировки реципиеита от распыляемого сорбирующего материала. Корпус насоса и экранировка от заиыления умеиьшают скорость откачки известных насосов при встраивании их внутрь откачиваемого объема.

Цель изобретения является увеличение эффективной скорости откачки насоса.

Для этого в нредложенном насосе катод выполнен составным в виде охлаждаемых пластин, расположенных по окружности со взаимным перекрытием, так что соседними пластинами имеется зазор реципиеита от сублимирующего материала и свободный доступ молекул откачиваемых газов к сорбирующим поверхностям. Благодаря этому обеспечивается экранировка.

На фиг. 1 схематично изображен предложенный насос; па фиг. 2 - схема расноложеиия электродов.

Насос состоит из корпуса / и электродного блока, собраииого на отражательиой пластине 2. Электродный блок содержит анод 3, укренленный на высоковольтном изоляторе 4 с помон 1ыо эксцентрикового зажима 5 и эмиттеров 6 электронов с токоподводами. Блок электрически изолирован от корнуса керамическнмн изоляторамн 7. из токоподводов 1 является экраном, препятствующим прямому попаданию электронов на анод. На аноде укреплены равномерно расположенные но его длине цилиндры 9 из сорбирующего материала. Внутри корпуса смонтирован также третий электрод-сетка 10, имеющий отдельные токонодводы, благодаря чему он используется в качестве ирямонакального нагревателя при обезгаживанни электродов иасоса.

Корпус iiacoca состоит из экранов, которые образуют боковую поверхность цилиидра, выполняющую роль катода. Такая конструкция катода не нарушает симметрии радиального электростатического ноля, увеличивает нроизводителыюсть насоса при откачивании газов и является одновременно оптически плотной для сублимирующего материала. Экранировка

по торцам обеспечивается торцовыми экранами И и отражательной пластиной 2. Катод ох.таждается средой, подаваемой по трубкам 12, припаянным к отформованным пластинам.

Насос крепится в откачиваемом объеме при помощи вакуумно-плотного разъема 13, который одновременно является водяным коллектором системы охлаждения.

При работе насоса электроны, инжектируемые эмиттером в электростатическое поле цилиндрического конденсатора, образованного заземленным катодом и положительным высоковольтным анодом, двигаются по эллиптическим (круговым) орбитам вокруг анода с большой длиной свободного пробега, ионизируют молекулы остаточного газа и, достигая анода, поддерживают температуру сублимации сорбирующего материала за счет электронной бомбардировки. Активные газы непрерывно сорбируются на охлаждаемых стенках корпуса насоса, а инертные газы ионизируются электронами, ускоряются сеткой и «замуровываются на катоде свеженапылепной пленкой распыляемого материала.

Сетка снижает потенциал межэлектродного пространства, и ионы, образовавщиеся внутри анодно-сеточного промежутка, ускоряются и внедряются в катод, в результате чего повышается скорость откачки по инертным газам.

Предмет изобретения

1.Ионно-сорбционный пасос, содержащий цилиндрический катод, соосный с ним анод с

запасом сорбирующего материала и источник электронов, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективной скорости откачки насоса, катод выполнен составным в виде ряда

пластин, расположенных по окружности со взаимным -перекрытием так, что между каждыми двумя Соседними пластинами имеется щелевой зазор, а совокупность пластин образует оптически пепрозрачную систему для молекулярного потока испаряющегося с анода сорбирующего материала.

2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что каждая катодная пластина закреплена на полой трубке, служащей для охлаждения нластины.

S