УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПО МУАРОВЫМ ПОЛОСАМ Советский патент 1971 года по МПК G01B11/02 

,1

Изобретение относится к оптико-механической промышленности, а именно к делительным машинам для нарезания дифракционных решеток с фотоэлектрическим контролем процесса деления. Оно может быть также licнользовано в метрологии и автоматике.

Известно устройство для измерения линейных переменхений но муаровы.м полосам, содержащее источник света, подвижную дифракционную отражательную решетку, установленную на пути светового иучка, и отсчетный узел, например коллиматор. Однако известное устройство позволяет получать муаровые полосы, подбирая параметры прозрачной полосы и отражательной решеток с ценой полосы до 0,4 мкм. При дальнейшем уменьшении цены полосы контраст полос и их яркость резко уменьшается, что приводит к снижению чувствительности известного устройства.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что, с целью новышения чувствительности измерения, оно снабжено двумя неподвижными дифракционными отражательными решетками, установленными перед подвижной отражательной решеткой на нути светового пучка и но разные стороны от него.

Устройство содержит источник света 1, новоротную призму 2, коллиматор, имеющий объектив 5 и выходное отверстие 4, подвижную отражательную решетку 5, связанную с движущимся объектом, и две ненодвижные отражательные решетки 6 и 7.

Предлагаемое устройство работает следующим образом. Свет от источника света направляется поворотной призмой 2 на объектив коллиматора. Параллельный пучок света, падающий иа решетку 5, делится ею на два ярких пучка, попадающих соответственно на решетки 6 и 7. Отраженные этими решетками лучки света вновь диафрагмируют на решетке5, образуя интерференционные муаровые нолосы. Выходящий из системы решеток световой пучок фокусируется на выходном отверстии 4, через которое производится наблюдение, регистрация или счет полос. При перемещении решетки 5 относительно рещеток 6 и 7 в поле зрения прибора происходит соответствующее движение муаровых полос, являющееся .мерой ее перемещения.

25

Предмет изобретения

Устройство для измерения лпнейны.х перемещений по муаровым полосам, содержащее источник света, подвижную дифракционную 30 отражательную решетку, установленную пй

3

пути светового пучка, и отсчетный узел, например коллиматор, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности измерения, оно снабжено двумя неподвижными дифракционными отражательными решетками, установленными перед подвижной отражательной решеткой на пути светового пучка и по разные стороны от него.