ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТР Советский патент 1971 года по МПК G01L21/30 

В известных иониз-ационных манометрах, действующих по принципу измерения ио-нного тока часто происходит явление, называемое электролиой десорбцией. Это явление состоИт в том, что электронный: ток вызывает ионизацию газов, сорбированных на поверхности анода. Это может привести к ошибкам измерения, причем эти ошибки увеличиваются по мере понижения давления, так как ионный ток, образующийся в пространстве датчика манометр1а, уменьшается быстрее, чем TOiK поверхностных ионов.

Для устранения этого недостатка предложенный ионизационный манометр Имеет два анода с различными потенциалами (положительными относительно катода). Второй анод расположен внутри пространства, ограниченного витками основного анода. Витки второго анода расположены между витками основного анода и образуют в совокупности с последними общую поверхность анодной системы.

Эти отличия позволяют устранить указанный недостаток.

Аноды выполнены в виде концентрических сетчатых клеток. Электроны, эмиттируемые катодом, расположенным снаружи анодов, входят в пространство сетки, где они ионязиг руют остаточные газы и образуют ионы, которые затем собираются коллектором, имеющим отрицательный потенциал.

Для того чтобы ионы, образованные при бомбардировке электронами поверхности анодных пластин, не шли на коллектор, внутренний анод имеет более низкий потенциал, чем внешний. Таким образом, ток этих ионов значительно уменьшается. Нон-изация на нластинах внутренней сетки значительно слабее,

так как ток на этой сетке слабее, чем на внешнем аноде, имеющем более высоки потенциал. При помощи соответствующего выбора расстояний, н-аклона и толщины пластины, образующих сетку, можно добиться резкого

уменьшения числа ионов, образующихся при поверхностной ионизации и текущих по направлению к аноду, но сравнению с числом таких ИОНОВ в ионизационном манометре с одним анодом.

Па фиг. 1 показано продольное сечение датчика ионизационного манометра с уменьшенной электронной десорбцией; на фиг. 2 - конструктивная модификация анодов манометра.

Предложенный датчик ионизационного манометра содержит катод /, два концентрических анода 2 и 3, выполненных в виде цилиндрических сетчатых клеток, и ионный коллектор 4, расположенный внутри или снаруказано на фиг. 2. Аноды, изображенные на фиг. 2, образую) сетчатую клетку, которая состоит из двух частей, электрически изолиРованных одна от другой, хотя они и образуют общий цилиндр, а их торцы расположены в общей пл-оскости. На фиг. 2 один а|НОД изобрал ен точками, - кружками. Система электродов датчика расгголожена в стеклянной или. металлической колбе 5.

Предмет изобретения

1. Ионизационный манометр, содержащий катод, сетчатый анод и коллектор йодов, огличающийся тем, что, с целью снижения электронной десорбции, манометр имеет второй сетчатый анод.

2.Манометр ло п. 1, атличающийся тем, что второй анод расположен внутри пространства, ограниченного витками основного анода.

3.Манометр по п. 1, отличающийся тем, что витки второго анода расположены между Битками ословного анода и образуют в совокупности с последними общую поверхность анодной системъ.

J2,

о о «о оо о о

оо

о

оо

.

J 2

оо

,/

оо

оо

«д

Риг г

fu2 2