УСТРОЙСТВО для РАЗБРАКОВКИ ТРАНЗИСТОРОВ Советский патент 1971 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

Изобретение относится к области электро-нной техники т может быть при:менено для рассортировки на группы ло модулю коэффициента усиления маломощны.х высокочастотных транзисторов тври их iMaccoBOiM просизводстве.

Известны устройства разбраковки Т|ранзисторов по :модулю коэффициента усиления, содержащие генератор, усилитель и измерительный прибор для визуального отсчета величины модуля коэффициента усиления.

Однако такие устройства характеризуются небольшой точностью измерений вследствие визуального отсчета показаний по стрелочным приборам.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что Б .нем введено несколько, по числу групп разбраковки, переменных высокочастотных аттенюаторов, миогокаиального высокочастотного ком мутатора, включенных между генератором и усил1ителем, а также .последовательно соединенных фазового детектора и пересчетной схемы. Выходы переменных аттенюаторов вместе ,с .выходом измеряе.мого ггранзистора подключены к высокочастотным входам многоканального «О:м.мутатора, а выходы пересчетпой схемы - к его управляющим входам. Это позволяет автоматизировать процесс разбраковки, иовьюить точность из-мерения и стабильность работы устройства.

На чертеже изображена блок-схема устройства для разбраковки транзлюторов по модулю коэффициента усиления.

Устройство работает следующим образом.

Выход генератора 1 одновременно подключен ко входу измеряемого транзистора 2 и ко входам п, ПО числу групп разбраковки, высокочастотных аттенюаторов 3. Каждый атте;поатор 1может плавно изменять вел.ичииу ослаблеиия и -имеет шкалу, проградуированную в величинах модуля коэффициента усиленп :. Выходы аттенюаторов подключены к многоканальному высокочастотному коммутатору 4, каждый из ка.налов которого имеет высокочастотные вход и выход и управляющий вход, осуществляющими включение и выключевие канала. Выход каждого аттенюатора иодключен к высокочастотному входу соответствующего канала, а к высокочастотному входу д-ь1 канала подключен выход измеряемого транзистора 2. Высокочастотные выходы всех каналов объединены в одну точку, подключенную ко входу усилительного тракта 5.

Выход усилителя 5 подключен к входу фазового детектора 6, а его выход к в.ходу neipeсчетной управляющей схемы 7. Пересчетная схема aiMeeT последовательный ряд /г-Ь 1 низкочастотных ключей, подсоединенных соответственно к управляющим входам высокочастотного коммутатора 4.

С выхода задающего генератора .оирнал подается одновремевио 1на -вход иэмеряемого траНЗИстора w входы вы.сокоч.астотных аттеHKurropoB. Величины ослаблений аттенюаторов в соответетвкн е калибровочной шкалой установлены на граничные значении групн рассартировки по модулю коэффИцлеита усилбНИЙ, в лорядке 1юз.р.астаНИя его величины. Эти калиброванные сигналы, а также сигнал, пропорциональный .модулю коэффициента уоилепия, снимаемый с выхода измеряемого транзистора, подаются и а соответствующие входы высокочастотного коммутаторз Порядок включения и вьключ&.шя каналов «оммутатора 4 определяется шересчетной управляющей схелгой 7, выходы которой соеди|1- ень с управляющими входай и вгясокочаСтотпого .коммутатора.

В (первый М.омепт производится поочеред1иое включен:ие двух .капалов ко.млгутатор.ов, па В.ходы которых подаются 1ИЗмеряемый л калпб|ровавиый от первого аттенюатора. В результате поочередного прохождения этпгх опгналов через коммутатор iHa общей выходной точке образуется высокочастотное, .модулировапное по ал-шлитуде напряжение, причем глубпна и фаза модулядиа зависят от соотпошепия ампл1итуд сигналов. Высокочастотный йюдуЛНровапный сигнал додается на вход усилителя 5 для дальнейшего усиления и преобразования. С выхода уоилителя 5 сиги ал поступает ,па вход фазового детектора 6.

В качестве опорпого ,иа фазовый детектор подается «апряжение .коммутащи И, обеспечивающее лоочередное включепие каналов коммутатора. В зависимостп от фазы ианрял ен1ия, огибающей три его cpaiBneHa-nn с опорным напряжением, ina выходе фазового детектора фО|р.м-ируется оипнал, увравляющий работой 11е зесчетной схе.мы, которая, в свою очередь, управляет включением капалов коммутатора. Если амплитуда измеряемого «апряжепия 1ме/ньще калиброванного сигнала первого аттенюатора, то фаза огибающей высокочастотного ;0ишала будет такой, что при сравнении ее с фазой опорного напряжения, на фазовом детекторе фсьрмируется управляющщй силпал, способствующий переключению пересчетнон схемы на следующий такт.

В Следующий такт работы также производится поочередное включение каналов коммутатора, на 1ВХОДЫ которых иодаются измеряемое напряжение и кали|брованный сигнал со второго аттенюатора. Происходит сравнен ие напряжения, ироиорционального коэффИциенту усиления, со вторым калиброванным уровнем. ЕсЛИ фаза огибающей суммарного высокочастотного сигнала не изменилась, то с выхода фазового детектора подается команда на переключение нересчетной управляющей схемы 7 иа следующий такт работы И производится сравнение измеряемого напряжения с 3, 4,5-Ъ1м и так далее калиброванными наи1)яж1ииями до тех пор, «пока амплитуда калиб:рованного сигнала iie окажется меньше амплитуды измеряемого. В этом случае фаза огибающей суММ.арНого сигнала изменится .на обратную, п на выходе ф азового детектора 6

будет сфор.мирован сигнал, заирещающий дальнейшее нереключение нересчетиой cxe.. В 3TOiM состоянии нересчетная схема фиксируется и опре.деляется номер грунпы измеряемого транзистора, формируются Напряжения

для системы а-1ндикании номера груггиы -и управления Механизмом автоматической рассортировки.

Устройство может быть -использовано в полуироводниковой промытиленностп для автоматического контроля и классификации транзисторов по параметрам, что значител1 ;10 увеличит производительность.

П р е д .м е т (И з о б р е т е Н п я

Устройство для разбраковки тра нзисторов, содержащее генератор и усилитель, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса разбраковки и повышения точности измерения, выход геиер.атдра соединен со входами переменных аттенюаторов, число которых равно числу групп разбраковки, выходы переменных аттенюаторов через последовательно соединенные коммутатор, усилитель и фазовый детектор соединены со входом пересчетной схемы, выходы которой являются уп равляющими входами коммутатора.