Изобретение относится к фотоэлектрическим датчикам линейных перемещений, иснользующим эффект образования муаровых полос для определения величины линейного перемещения. Датчики линейных перемещений используются в лрецизионном оборудовании с ручным или протраммным управлением.
Известен датчик линейных перемещений, содержащий источник света с конденсором, объектив, прозрачную и отражательную дифракционные решетки, входную диафрагму, расположенную в фокальной плоскости объектива, выходную диафрагму, выделяющую автоколлимационное изображение входной диафрагмы, построенное объективом из лучей, подвергщихся дифракции иинтерференции в системе из прозрачной (И отражательной дифракционных рещеток, и блок фотоприемников.
Недостатком известного датчика является низкий контраст муаровой картины в плоскости изображения входной диафрагмы, высокие требования к подбору комплекта решеток и к установке и сохранению их взаимной параллельности, что усложняет юстировку датчика и снижает надежность его работы.
Предлагаемый датчик отличается от известного тем, что, с целью повышения надежности работы датчика, входная диафрагма
смещена с фокальной плоскости объектива так, что объектив совместно с дифракционными решетками сгроит три изображения входной диафрагмы, одно из которых образовано
лучами, создающими яостоянный фон, а два других - лучами, образующими соответственно две системы муаровых пoлocJ а выходная диафрагма расположена в плоскости построения объективом трех изображений входной
диафрагмы и пропускает лучи, образующие только одну систему муаровых полос.
На фиг. 1 изобрал ена прнципиальная схема предлагаемого датчика; на фиг. 2 - разрез по А-Л на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез по
Б-Б на фиг. 2; на фиг. 4 - три изобрал ения отверстия входной диафрагмы в плоскости выходной диафрагмы.
Датчик содержит источник света / с -конденсором 2, входную диафрагму 3, зеркало 4,
объектив 5, прозрачную 6 и отражательную 7 дифракционные решетки, выходную диафрагму 8, зеркало 9, блок призмы 10, блок световодов 11 и блок фотоприемников 12, состоящий из четырех фотоприемников.
Датчик линейных перемещений работает следующим образом.
Овет от источника света / проецируется конденсором 2 в отверстие входной диафрагмы 3, смещенной с фокальной плоскости объ
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
5:--БЛИОТ | 1973 |
|
SU369391A1 |
ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1973 |
|
SU371422A1 |
СПОСОБ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СИСТЕМА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2002 |
|
RU2263279C2 |
Устройство для измерения линейных перемещений | 1987 |
|
SU1499111A1 |
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК УГЛА | 1971 |
|
SU289382A1 |
СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ | 2002 |
|
RU2264595C2 |
Дифракционный интерферометр | 1989 |
|
SU1818547A1 |
СОЛНЕЧНЫЙ ВЕКТОР-МАГНИТОГРАФ | 2009 |
|
RU2406982C1 |
АВТОКОЛЛИМАЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ НЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1972 |
|
SU349972A1 |
Датчик линейных перемещений | 1980 |
|
SU968603A1 |
Авторы
Даты
1971-01-01—Публикация