Изобретение относится к электронной технике, в частности к электроннолучевым нриборам.
В ряде приборов данного класса, например в электроннолучевых трубках, в последние годы широкое применение находят магнитные квадрупольные линзы для фокусировки н повышения чувствительности отклонения элек-, тронного пучка.
В связи с тем, что одиночная квадрупольная линза фокусирует нучок только в одном направлении, обычно нримен-яютнеоколькор-асположенных на одной оси и на определенном расстоянии друг от друга квадрупольных линз. Плоскости фокусировки каждой из линз при этом должны с высокой точностью (В пределах 1°) совпадать с плоскостями дефокусировки соседних линз. В противном случае имеют место существенные искажения изображения на экране (мишени) и потеря разрешающей способности прибора.
Техническое выполнение данного требования -представляет собой серьезную проблему: ука занные несовпадения плоскостей возникают как при неточном взаимном расположении линз, так и из-за неточностей сборки любой из лииз. Причиной данного явления :может быть также наличие в области линз рассеянных магнитных полей, создаваемых самими линзами или работающими поблизости другими приборами. В связи с этим на практике обычно применяются различные схемы корректировки и компенсации неточностей расположения линз.
Известный метод коррекции неточностей совмещения характерных плоскостей линз заключается в применении дополнительной юстирующей квадрупольной линзы, расположенной перед фокусирующей системой и повернутой относительно ее квадрупольных линз на 45°.
Подача напряжения на юстирующую линзу позволяет предварительно деформировать пучок электропов таким образом, чтобы скомпенсировать неточности фокусировки, стоящей за ней квадрупольной линзы.
Данная конструкция, однако, не позволяет скорректировать неточности расположения и сборки одновременно всех линз фокусирующей системы, в связи с чем качество фокусировки остается часто невысоким. Применение дополнительной линзы, помимо этого, усложняет конструкцию прибора, увеличивает его размеры. В некоторых случаях данный метод коррекции вообще неприемлем вдз-за .невозмолчности размещения дополнительной линзы.
Цель изобретения - увеличение разрещающей способности фокусирующей системы магнитной квадрупольной линзы.
Новая квадрупольная магнитная линза, изображенная на чертеже, содержит четыре элекфромапнита t, состоящих из сердечников 2, соединенных Общим .магнИтОПроводом 3, полюсов 4 и обмоток 5. В отличие от известных линз полюса новой линзы изолированы (например, с помощью изоляторов 6) от остальных элементов линзы И имеют выводы 7 для подсоед1ияения ж источнику J o;ppeктиlpyющeгo напряжения. Такая конструкция обеспечивает подачу на указанную пару полюсов постоянных напряжений, образующих электростатическую квадрупольную линзу, повернутую относительно магнитной на 45° и в связи с этим оказывающую на электроны пучка вращательное действие. Меняя полярность и величину напряжений, можно скорректировать любые искажения
изображения на экране (мишени), вызванные разворотом пучка электронов. Полюса линзы могут и не быть соединены попарно, как показано на чертеже, а иметь отдельные выводы. В этом случае на них может быть подано напряжение смещения, используемое для коррекции неточност1И центр|0вюи линз.
Предмет изобретения
Квадрупольная магнитная лииза, содержащая четыре электрО1магнита с сердечником и таолюсами, отличающаяся тем, что, с целью увеличения разрещающей способности фокусирующей системы, полюса изолированы от остальных элементов линзы и н од со единены к источнику корректирующего напряжения.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Магнитная фокусирующая система | 1976 |
|
SU619984A1 |
Способ юстировки квадрупольного дублета | 1981 |
|
SU997133A1 |
Электронная ахроматическая линза | 1982 |
|
SU1075329A1 |
КОРПУСКУЛЯРНОЕ УСТРОЙСТВО для ФОКУСИРОВКИ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦI; | 1972 |
|
SU355667A1 |
Магнитное электроннооптическое устройство со скорректированной сферической аберрацией | 1981 |
|
SU1008816A1 |
Электронная астигматичная трубчатая линза | 1981 |
|
SU999124A1 |
Электронно-лучевой прибор | 1989 |
|
SU1732392A1 |
Способ корпускулярного облучения подложки и устройство для его осуществления | 1980 |
|
SU1211825A1 |
Способ коррекции астигматизма в электроннолучевой трубке | 1978 |
|
SU681478A1 |
Электроннолучевая трубка | 1973 |
|
SU568406A3 |
„ Напряжение коррекции
« +
Напряжение квааруполл
Q es
Авторы
Даты
1971-01-01—Публикация