ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ РЕЛЕ Советский патент 1972 года по МПК H03K17/52 

Изобретение относится к электронной технике н может быть использовано для создания электростатически управляемых реле, предназначенных для переключения цепей неременного тока.

Известны пленочные электростатические реле, предназначенные для управления цепями переменного н постояпного тока. Ири подаче напряжения между мембраной и электродами электростатические силы заставляют мембрану иритянуться к этим электродам н замкнуться с контактом. Если коитактирование нроисходит с подачей иапряжения контактом н мембраной, возникает электрическая эрозия поверхностн этих электродов, ограничивающая количество возможных переключений. Иричииой эрозии может явиться зиачительная концентрация электрического ноля на микронеодпородностях поверхностей контактирующих электродов при их сближении и возникающий при этом микропробой, сопровождающийся выбросом материала.

Отличием предлагаемого реле является то, что контактный электрод покрыт изоляционным слоем из материала с высокой диэлектрической нроницаемостью. Слой диэлектрика предотвращает омический контакт мембраны с контактным электродом и сглаживает раснределеиие электрического иоля в зазоре между этими электрода.ми, нредотвращая тем самым пробой н эрозию электродов.

Конструкция нредлагаемого прибора изображена на чертеже. Здесь:

1 - изоляциоииое основанне; 2 - неиодвижиые управляющие электроды; 3 - нодвнжная

гибкая мембрана; 4 - неподвижный контактный электрод; 5 - изолирующий слой из матерна.та с высокой диэлектрической нроннцаемостью.

В момент коптакта мембрана прижата к

слою диэлектрика на контактном электроде. При величине диэлектрнческой нр01И1цаемости Ю , толщине слоя диэлектрика 10 см, площади контакта 300X300 мкм-л К)- смемкость меладу мембраной и контактным

электродом может составлять 10+ пф.

Если в разомкнутом состояинн зазор между .мембраной н новерхностью изоляцноииого слоя па контактном электроде равен 1 мкм, то емкость мел-еду электродамн при этом составляет 1 пф.

Отношение емкостей контакта в замкнутом и разомкнутом состояниях, равное в нриведенном выше прнмере 10+, доказывает возмон ность исиользоваиия предлагаемого нрнбора в электрошюй технике для переключеиия цепей неременного тока, т. е. для вынолнення функций реле.

Воз.можны и другие нримененпя нрнбора, обусловленные возможностью значительного

(инерционность пленочного электростатического реле). Например, реально изготовление бездрейфового уенлнтеля постоянного тока, умножнтеля частоты и др.

Предмет изобретения

Электростатическое реле, содержащее подвижную нластину, выполненную в виде топкой гибкой мембраны, неиодви/кный управляющий электрод и контактный электрод, укрепле1П ые на изоляционпом основании, отличающееся тем, что, с целью уменьшения электрической эрозии коитактируемых новерхиостей, контактный электрод покрыт тонким изоляционным слоем из материала с высокой диэлектрической проннцаемостью.