ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТРВСЕСОЮЗНАЯnATEHTHO-TEXHliHECKAJl БИБЛИОТЕКА Советский патент 1972 года по МПК G01L21/12 

Изобретение относится к теплоэлектрнческнм манометрам, в частности к тенлоэлектрическим Манометрам с нолунроводниковым чувствительным элементом, и может быть использовано при измерении давления в вакуумных системах. Верхний предел измерения этих манометров ограничен 10-30 Л1М рт. ст. и связан с независимостью тенлопроводност газа от давления нри более высоких давлениях.

В предлагаемом устройстве расширение верхнего предела измерений достигается тем, что манометр снабжен мембраной, разделяющей корпус на две нолости, - рабочую и компенсационную, в первой из которых размещепа полупроводниковая нить, прикрепленная одним концом к мембране, и другим - к электрическому контакту, а во второй - нружпппый элемент, закрепленный одним концом с мембраной, а другим - со вторым электрпческим коптактом.

На чертеже приведена принциниальная схема устройства.

Манометр содержит корпус /, который разделен мембраной 2 на две нолости - рабочую 3 и комненсационную 4, откачанную до сравнительного давления, полупроводпиковую нить 5, токопроводящий пружинный элемент 6 и два электрических контакта - 7 и 5.

Нить ирпкреплепа одпим концом к мембране, другим - к электрическому коптакту 7. Пр}жппный эле.мент закреплен однпм концом с мембраной, а другнм - с электрпческнм контактом 8.

В диапазоне давленпй мм рт. ст. манометр работает как обычный манометр сопротивления: прн новышенпп давления увеличивается тенлоироводность газового промежутка между пптью и корпусом, и ири постоянпой мощностп электрпческого тока, выделяемой в пнти, ее тe- ПIepaтypa пачинает уменьшаться, что фиксирует мостовая измерительная схема по изменению сонротивлення

нити.

Прн более высоких давлениях, когда теилонроводпость газа ие зависит от давления и темнература ннтн не меняется, используется

тензорезпстивный эффект полупроводниковых материалов нити. В этом случае нить растягивается под действпем разпости давлений - постояппого сравнптельного в полостп 4 и переменного измеряемого - в полостп 3. Измепение растягивающих напряженнй в пнти сопровождается пзменепием ее сопротивления, что аналогично изменению те.мнературы и фиксируется той же мостовой измерительной схемой. Такой манометр нозволяет нзмерять

Предмет изобретения

Теплоэлектрический манометр, содержащий корпус, термочувствительный элемент, выполненный в виде нолупроводниковой нити, и электрические контакты, отличающийся тем, что, с целью расширения верхнего предела измерений, он снабжен мембраной, разделяющей корпус на две полости, - рабочую и компенсационную, в первой из которых размещена нить, прикрепленная одним концом к мембране, и другим - к электрическому контакту, а во второй - токопроводящий пружинный элемент, закрепленный одним концом с мембраной, а другим - со вторым электрическим контактом.

BWWWWV