УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ толщины ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХПОКРЫТИЙ Советский патент 1972 года по МПК G01B7/06 

1

Изобрете-иие относитея к колтрольно-измеРительной технике.

Известно устройство для контроля диэл ектр-ических покрытий, содержащее жестко связа-нные датчики токоэихревой и потока «злучения, электронный индикатор сигналов, один вход которого связан с токовихревым датчиком, а другой - с датчиком потока излучения, и стрелочный индикатор сигналов, подключенный к выходу электронного индикатора сигналов.

Однако точность, нроизвод.ительность и надел :ность кОсПтроля локрытий этим устройством ледостаточны, так как информация, нолученная от датчика .потока излучения, используется только для автоматической регулировки усиления В .индНКаторе сигналов токовихреБого датчика.

Целью изобретения является повышение точности контроля. Для этого в предлагаемом устройстве датчик лото,ка излучения выполнен в 1виде фотоэлектрического датчика линейных интерв-алов, состоящего из источника направленного на покрытие потока света, объектива, воспринимающего отраженный от покрытия поток света, « дифференциального фотоэлектрического преобразователя иитенсивиости этого потока -в электрический ситнал.

Для повыщеиня .производительности и надежности конт1роля устройство снабжено механизмом для .возвратно-поступательного перемещения датчиков по направлению, совпадающему с нормалью ,к иоверхности покрытия, а электронный индикатор сигналов датчиков

вылолпен :в .виде схемы совпадения.

На чертеже локазана схема предлагаемого устройства.

Оло содерл ит жестко связанные датчики 1 Н 2 токовихревой и .потока .излучения, расположенные лад контролируемым локрытием 3, источник 4 направленного -на по-крытие потока света, объектив 5, установленный в потоке отраженного от покрытия света, дифференциальный фотоэлектрический преобразователь 6

интенсивности этого потока и стрелочный инди.катор 7, .подключенный к выходу сх-емы 8 сов.падения. О.дил вход схемы совпадения связан с лреобразователем 6, а другой-с токовихревым датчиком.

Устройство функционирует следующим образом.

Датчики 1 и 2 совершают возвр атно-поступательное движение по нормали к покрытию 3. Датчик потока излучения фиксирует опр-еделенный линейный .интервал по изображению светового «пятна на преобразователе 6 и выдает сигнал на оди« из входов схемы совпадения. При этом ла другой вход схемы поступает сигнал от токовихревого датчика, который

токоПроводящей основой 9. Сигнал, 11о„1ученный .на выходе совпадения, является функцией .разности за;ф:Иксированного линейного -интервала -и расстояния У до основы Я т. €. функцией толщины диэлектрического нок|рытия 3. Индикатор, лролрадуированный в соответствующем масштабе, указывает -контролируемую толщ-ияу покрытия.

iO р е д м е т и з о б р е т е н и я

1. УстроЙ1Ство для контроля толщ.ины диэлектр.ИЧеских П0iкpыт.ий, содержащее жестко связанные датч.и,ки токовихревой и потока излучения, электронный и.ндикатор сигналов, оД|И:н .вход Которого связан с то.ковихр,евым датчиком, а другой - с датчиков потока излучения, и ст реЛОчный индикатор сигналов, Подключенный к выходу электронного индикатора

сигналов, отличающееся тем, что, с целью повЫ|Шен;ия точности контроля, датчик .потока излучения .выполнен в вИДе фотоэ лектр-ичес-кого датчи,ка .лиией.ных интерВалов, состоящего из

источника |На.правл.е.нного .на покрытие пото-ка света, объектива, восЛриНИмающего отраженный от покрытия поток света, и дифференциального фотоэлектрического п-реобразоват-еля интенсиВНОСТ|И этого потока.

2. Устройство по-п. 1, отличающееся тем, что, с делью .повыщ-ения лро.изводительности контроля, оно снабжено механизмом для .возврат1но-поступатель.ного -паремещбния датч иков .по направлению, совпадающему с «ормалью ,к поверхности покрытия.

3. Устройство по ни. 1 :И 2, отличающееся тем, что, с целью .по-вышения .надежности -конт.рОля, электронный индикатор сигналов датчиков вь полнен В -виде схемы совпадения.

у 2