УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОДВИЖНОСТИ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛАХ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/66 

Устройство относится к измерительной технике и может быть применено на предприятиях полупроводниковой промышленности.

Известны устройства для измерения подвижности носителей тока в полупроводниковых материалах, содержащие турникетный мост, питаемый энергией от СВЧ генератора с низкочастотной (НЧ) .модуляцией, магнитную систему, внешний волноводный мост, состоящий из двух переменных аттенюаторов, фазевращателя, двойного волноводного тройника и элементов СВЧ тракта, и регистрирующую систему.

Цель изобретения - повысить чувствительность устройства и расширить его диапазон измерения. Это достигается тем, что в устройство введен внутренний волповодный мост, состоящий из переменного аттенюатора, фазовращателя, двойного волноводпого тройника, направленного ответвителя и элементов СВЧ тракта, сигнал с которого подан через дополнительный фазовращатель в двойной волноводный тройник для суммирования с сигналом, поступающим с двойного волново.дного тройнИКа внешнего моста, с последующим измереHj-ieM его в регистрирующей системе.

Принципиальная электрическая схема предлагаемого устройства приведена на чертеже.

нератора 6 через вентиль /, низкочастотный модулятор 8 и направленный ответвитель 9 низкочастотного генератора 10 для НЧ модуляции; прибор 11 для контроля уровня мощности, магнитную систему 12 с источником 13 питания и внещний волноводный мост, образованный от плеча 4 к плечу 2 переменным аттенюатором 14, фазовращателем 15, двойным волноводиым тройником 16. переменным аттенюатором 17, направленным ответвителем 18 и элементами СВЧ тракта. Кроме того, устройство имеет внутренний волноводный мост, образованный от плеча 3 к плечу 2 неременным аттенюатором 19, фазовращателем 20, двойным волноводным тройником 21, направленным ответвителем 18 и элементами СВЧ тракта; тракт суммирования сигнала, образованный от плеча 22 двойного волноводного тройника 21 к плечу 23 двойного волноводного тройника 16 фазовращателем 24, двойным волноводным тройником 25 и детекторной секцией 26. присоединенной к плечу 27 двойного волповодного тройника 25; и регистрирующее устройство 28.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

СВЧ сигнал от генератора 6 через вентиль 7 поступает на плечо / турникетного моста. Уровень СВЧ сигнала, модулируемого в модуляторе 8 низкой частотгой от генератора 10, из