Сорбционно-ионный насос Советский патент 1975 года по МПК F04B37/00 

Изобретение относится-к вакуумной техиике, в частности к сорбционно-иониым насосам с термическим исиареиием активного вещества.

В известных насосах с испарительным узлом в виде штабика активного вещества иснарение активного вещества ироисходнт при нагреве с помощью интенсивного электропиого пучка.

Однако для создания и фокусировки интенсивпого электронного пучка требуется значительное количество сложных деталей и узлов. Накаленные элементы конструкции при аварийном новышении давления выходят из строя. Кроме того, система электропитания и испарения имеет низкий к. п. д.

Цель изобретеиия - улучшение техникоэкономических характеристик. Это достигается тем, что для испарения активного вещества используют иитенсивные фотонные пучки, создаваемые кваитовым генератором, причем штабик активного вещества размещают по оптической оси квантового генератора.

На чертеже показана схема предлагаемого насоса.

ратора 4 с держателем 5, окно б и фигурный экран 7. Соосио с оптической осью квантового генератора на опорном диске 8 закреплены сменный щтабик 9 из активного материала (гетера) и экрап 10. Полость в патрубке 3 с внешней стороны закрыта защитным диском 11 с вводами для энергопитания и охлаждения квантового генератора (не показаны).

Насос действует следующпм образом.

Излучаемый квантовым генератором пучок фотонов, падая на поверхность штабнка из активного материала, вызывает испарения последнего. Исиарившиеся атомы гетера конденсируются на внутренней поверхности охлаждаемого корпуса п сорбируют остаточные газы. Пучок фотонов и вакуумный объем вводится через окно, выполненное из прозрачного для электромагнитного излучения в рабочем диапазоне частот квантового генератора материала и герметично соединенное с патрубком. Фигурный экран 7 с малым центральным отверстием предотвращает запыление окпа атомами гетера. Дополнительное защитное

действие оказывает сам пучок фотонов, создающий значительное световое давление, препятствующее пролету ато.мов гетера сквозь отверстие фигурного экрана. Экран 10 защищает откачиваемый объем от попадания атомов геВ случае необходимости для повышения удельной мощности фотонного пучка может быть применена . система оптической фокусировки, устанавливаемая между квантовым генератором и окном. Для уменьшения габаритов в качестве квантового генератора целесообразно использовать твердотельные, например полупроводниковые лазеры. Энергетически эффективным является импульсный режим испарения.

Предмет изобретения

Сорбционно-ионный насос, содержащий корпус с испарительным узлом в виде штабика активного вещества, отличающийся тем, что, с целью улучшения технико-экономических характеристик, в корпус введен квантовый генератор, например, полупроводниковый, а штабик активного вещества размещен по оптической оси квантового генератора.