МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1972 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к технике получения вакуума.

Известны многоступенчатые турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем роторные и статорны-е диски с рабочими элементами (лопатками, радиальными прорезями) по периферии.

Цель изобретения - повышение степени сжатия и уменьшение обратного потока откачиваемого газа.

Это достигается тем, что диски выполнены с проходным сечением, уменьшающимся в направлении откачки от максимально возможной величины на первой ступени до минимальной, ст ремящейся к нулю - на последней.

На фиг. 1 показан описываемый турбомолекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - четыре (I, II, III, IV) варианта расположения фрезерованных пазов на роторном диске при отношении диаметра корня лопаток (прорезей) к диаметру

D,

корн

0,64 при угле наклона иазов

диска

и толщине фрезы 2 мм; на фиг. 3 - схематически показано повышение давления Ттах при увеличени|И средней окружной скорости VCP вследствие увеличения DKOPH при неизменной угловой скорости; на фи,г. 4 - рабочие характеристики (быстрота откачки

S л/сек IB зависимости от степени повышения давления т) трех роторных дискав при изменении DKOPH и угла наклона пазов:

угол наклона лазов а - соответствует прямой а; при этом

, ,

а - соответствует прямой б; три этом

, ,

а - cooTiBeTicTiByeT прямой в; при этом

.

Насос содержит ротор / с насаженными на него роторными дисками 2, между которыми расположены статорные дИ|Ски 3.

Ротор закреплен в подшипниках 4 и приводится во вращение электродвигателем непосредственно или через редуктор. Откачи)Ваемый газ поступает через фланец 5 корпуса 6 насоса и, разделяясь на два потока, попадает на первые ступени насоса, каждая из

которых должна быть выполнена так, чтобы быстрота откачки была максимально возможной. Последующие дожимающие ступени

полняются согласно выражению по

мере увеличения давления откачиваемого газа.