МИКРОКОНТАКТНЫЙ ДАТЧИК ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ и ПЛЕНОК Советский патент 1972 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к неразрушаюп.1,ему контролю материалов и изделий и может быть использовано для измерения толщины тонких пленок.

Известен микроконтактный датчик для контроля толщины тонких покрытий и пленок, содержащий корпус из диэлектрика, микроэлектроды, жестко закрепленные на нем. Однако разрешающая способность этого датчика недостаточная, так как его электроды выполнены в виде двух коаксиально закрепленных цилиндров с зазором около 1 мм. Кроме того, технологичность конструкции известного датчика «изкая ввиду того, что для его изготовления в микроминиатюрном исполнении требуется относительно большая затрата средств.

С целью повышения разрешающей способности корпус предлагаемого датчика выполнен из капролактана с полусферическим торцом, а м.икроэлектроды выполнены в виде -четырех изолированных секторов, напыленных «а полусферический торец.

Применение предлагаемого датчика позволяет значительно уменьшить расстояние между потенциальными и измерительными контактами и соответственно уменьшить диапазон контролируемых толщин металла.

Датчик состоит .из капролонового стержня 1, который свободно передвигается вдоль оси в капролоновой головке 2. Взаимно перпендикулярные канавки 3 образуют четыре омедненные контактные площадки 4. Пружина 5 обеспечивает равномерное прижатие контактной головки к контролируемой поверхности металла. Провода 6 служат для подачи измеренного сигнала от электродов на схему регистрации толщины.

Электроконтактный датчик работает следующим образом.

Стержень / приводится в соприкосновение

с металлом в исследуемой точке. После нажатия головки 2 вниз контактные площадки 4 медных электродов и торец головки 2 будут находиться в одной горизонтальной плоскости, что обеспечивает равносильное прижатие всех

четырех электродов-контактов к металлу по нормали. Измерительная пара контактов фиксирует при этом падение напряжения на исследуемом участке металла в зависимости от его толщины, и через провода 6 сигнал подается на схему регистрации толщины металла.

жащий корпус из диэлектрика, микроэлектроды, жестко закрепленные на нем, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности датчика, корпус выполнен

из капролактана с полусферическим торцом, а микроэлектроды выполнены в виде четырех изолированных секторов, напыленных на полусферический торец.